一种用于长晶炉的支撑结构的制作方法

本实用新型涉及碳化硅制造设备技术领域，具体为一种用于长晶炉的支撑结构。

背景技术：

长晶炉在使用过程中需要经受长时间的高温，这种情况下多次使用后长晶炉的立柱会容易产生变形裂纹等情况，当出现这类情况的时候坩埚就很容易发生翻倒，长晶炉内部的钨托盘有时会需要旋转，通常的坩埚与钨托盘连接方式不够牢固，在钨托盘旋转时可能发生松动，影响产品质量。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于长晶炉的支撑结构，以解决上述背景技术中提出的通常的长晶炉坩埚与钨托盘连接不够牢固，且立柱损坏容易使坩埚发生翻倒等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于长晶炉的支撑结构，包括炉体、坩埚和立柱，述炉体内安装有加热装置，所述坩埚内盛放有晶体溶液，所述坩埚底部设置有卡槽，所述卡槽下方连接有固定轨，所述固定轨下方安装有钨托盘，所述固定轨外侧固定有限位块，所述钨托盘表面设置有横散热片，所述横散热片下方安装有竖散热片，且竖散热片与钨托盘固定连接，所述立柱上固定有套筒，所述套筒外侧固定有支撑架，所述支撑架末端连接有固定螺栓，所述立柱底端两侧安装支撑板，且立柱上方与钨托盘固定连接，所述支撑板下方设置有基座，且基座与立柱相连，所述基座下方固定有底板，且立柱底端与底板相连。

优选的，所述坩埚与固定轨安装后，坩埚底面与钨托盘上端面之间的间隙为3mm。

优选的，所述固定轨设置有四个，且关于钨托盘中垂线对称安装，且其与卡槽大小相同，形状均为“7”字型。

优选的，所述限位块高出钨托盘表面，且不高于固定轨高度。

优选的，所述支撑架通过固定螺栓与钨托盘固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于长晶炉的支撑结构设有固定轨和卡槽，使坩埚能够通过卡槽与固定轨与钨托盘固定，避免了坩埚因为螺纹松动或其他情况产生翻到等情况，坩埚底部与钨托盘的上端面空隙为3mm，能够减少坩埚与钨托盘的接触面积，钨托盘外侧设置有横散热片，其底部固定有竖散热片，能在停止使用后迅速的将钨托盘的热量散发，避免长时间使用后坩埚与钨托盘之间产生粘连，支撑架通过固定螺栓与钨托盘固定连接，且其下方通过套筒与立柱连接，确保立柱在产生损坏时钨托盘不会倾斜，并且减少晃动幅度，立柱底部还固定有支撑板和基座，确保立柱在单独承重的时候不会歪斜折断，增加实用性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型钨托盘结构俯视图；

图3为本实用新型坩埚横截面结构示意图；

图4为本实用新型部分立柱部分结构示意图；

图5为图1中部分结构放大示意图。

图中：1、炉体，2、加热装置，3、坩埚，4、晶体溶液，5、卡槽，6、固定轨，7、钨托盘，8、限位块，9、横散热片，10、竖散热片，11、固定螺栓，12、支撑架，13、立柱，14、套筒，15、支撑板，16、基座，17、底板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种用于长晶炉的支撑结构，包括炉体1、坩埚3和立柱13，述炉体1内安装有加热装置2，坩埚3内盛放有晶体溶液4，坩埚3底部设置有卡槽5，坩埚3与固定轨6安装后，坩埚3底面与钨托盘7上端面之间的间隙为3mm，卡槽5下方连接有固定轨6，固定轨6设置有四个，且关于钨托盘7中垂线对称安装，且其与卡槽5大小相同，形状均为“7”字型，固定轨6下方安装有钨托盘7，固定轨6外侧固定有限位块8，限位块8高出钨托盘7表面，且不高于固定轨6高度，钨托盘7表面设置有横散热片9，横散热片9下方安装有竖散热片10，且竖散热片10与钨托盘7固定连接，立柱13上固定有套筒14，套筒14外侧固定有支撑架12，支撑架12通过固定螺栓11与钨托盘7固定连接，支撑架12末端连接有固定螺栓11，立柱13底端两侧安装支撑板15，且立柱13上方与钨托盘7固定连接，支撑板15下方设置有基座16，且基座16与立柱13相连，基座16下方固定有底板17，且立柱13底端与底板17相连。

工作原理：在使用该用于长晶炉的支撑结构时，将坩埚3下方的卡槽5对准固定轨6，然后将坩埚3推入直至其与限位块8接触即可，接着将晶体溶液4倒入坩埚3内，开启加热装置2即可进行与长晶炉的其他部分开始运转，支撑架12在工作途中确保立柱13与钨托盘7连接处出现损坏时也能保证钨托盘7的平整，避免坩埚3翻倒，同时底部的支撑板15和基座16为立柱提供支撑力，确保立柱13不容易产生歪斜，使用完成后，钨托盘7内的热量分别从横散热片9和竖散热片10散发以此来快速降低钨托盘7的温度，这就是该用于长晶炉的支撑结构的工作原理。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。