一种蓝宝石长晶设备的制造方法

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一种蓝宝石长晶设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及长晶设备,尤其是一种蓝宝石长晶设备。
【背景技术】
[0002]蓝宝石是三氧化二铝的单晶体,目前主要用于作为LED的基板,高硬度的特性使其在其他领域的应用也日渐收到重视,在现今的蓝宝石长晶工艺中,当长晶完成后预取出晶体时,是由上方开启真空腔体(或称长晶炉),再利用绳索将晶体吊起并取出,但这种做法费时费力,且晶体有较大碰撞受损的风险,目前也有可向下取出晶体的设备,但是提取过程动作复杂,需要多个位移机构,提高了设备的成本,而且设备的高度也增加,体积更为庞大笨重,提高了安装和维修的难度。

【发明内容】

[0003]本实用新型要解决上述现有技术的缺点,提供一种结构简单,体积较小的蓝宝石长晶设备。
[0004]本实用新型解决其技术问题采用的技术方案:这种蓝宝石长晶设备,主要包括真空腔体、垂直动力机构和水平动力机构,真空腔体的底部设有下盖,垂直动力机构的上端与下盖连接固定,下端与水平动力机构连接固定,真空腔体内设有坩祸,坩祸通过其下部的坩祸承载座与下盖相连接。
[0005]所述垂直动力机构为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸。
[0006]所述水平动力机构为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸。
[0007]本实用新型有益的效果是:本实用新型结构通过垂直动力机构及水平动力机构,可便捷得取出或放入晶体,有效得缩小了设备的高度和体积的大小,进而达到大幅简化结构、降低成本及提高安装维修便利性的功效。
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型结构示意图;
[0009]图2是本实用新型垂直位移运动示意图;
[0010]图3是本实用新型水平位移运动示意图。
[0011]附图标记说明:真空腔体1,垂直动力机构2,水平动力机构3,下盖4,坩祸5,坩祸承载座6,滚轮7。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0013]如图所示,这种蓝宝石长晶设备,主要包括真空腔体1、垂直动力机构2和水平动力机构3,真空腔体1的底部设有下盖4,用以在制造过程中与真空腔体1保持密封结合的状态,垂直动力机构2的上端与下盖4连接固定,下端与水平动力机构3连接固定,真空腔体1内设有坩祸5,坩祸5通过其下部的坩祸承载座6与下盖4相连接,坩祸承载座6用来支撑固定坩祸5,真空腔体1的其余机构如真空设备或加热设备等均为现有技术,且不是本实用新型的技术特征,这里就不赘述。
[0014]垂直动力机构2用以带动下盖4、坩祸承载座6及坩祸5升降并移入或移出真空腔体1,垂直动力机构2可为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸等这些结构的单个或组合来实现。
[0015]水平动力机构3用以带动垂直动力机构2、下盖4、坩祸承载座6及坩祸5等部件水平移出或移至真空腔体1下方,水平动力机构3可为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸等这些结构的单个或组合来实现。更具体的,水平动力机构3为滑轨,滑轨的下方设有滚轮7,用以提升动作的顺畅性,。
[0016]本实用新型可方便操作人员将坩祸5内的晶体取出并进行坩祸5的更换操作,实现从下方便捷提取晶体的目的,此过程中真空腔体1完全不需要也不会移动,可大幅简化设备的结构复杂度,并降低组装和制造成本,同时也可有效缩小设备的高度及体积大小,提升了操作和安装维修的便利性,进而达到大幅简化结构,降低成本及提高使用便利性的功效。
[0017]除上述实施例外,本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案,均落在本实用新型要求的保护范围。
【主权项】
1.一种蓝宝石长晶设备,主要包括真空腔体(1)、垂直动力机构(2)和水平动力机构(3),其特征是:真空腔体(1)的底部设有下盖(4),垂直动力机构(2)的上端与下盖(4)连接固定,下端与水平动力机构(3)连接固定,真空腔体(1)内设有坩祸(5),坩祸(5)通过其下部的坩祸承载座(6)与下盖(4)相连接。2.根据权利要求1所述的蓝宝石长晶设备,其特征是:所述垂直动力机构(2)为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸。3.根据权利要求1所述的蓝宝石长晶设备,其特征是:所述水平动力机构(3)为滚珠螺杆、电机、滑轨或气缸。4.根据权利要求1或3所述的蓝宝石长晶设备,其特征是:所述水平动力机构(3)为滑轨,滑轨的下方设有滚轮(7)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种蓝宝石长晶设备,主要包括真空腔体、垂直动力机构和水平动力机构,真空腔体的底部设有下盖,垂直动力机构的上端与下盖连接固定,下端与水平动力机构连接固定,真空腔体内设有坩埚,坩埚通过其下部的坩埚承载座与下盖相连接。本实用新型有益的效果是:本实用新型结构通过垂直动力机构及水平动力机构,可便捷得取出或放入晶体,有效得缩小了设备的高度和体积的大小,进而达到大幅简化结构、降低成本及提高安装维修便利性的功效。
【IPC分类】C30B29/20, C30B35/00
【公开号】CN205024352
【申请号】CN201520623916
【发明人】黄仕彪
【申请人】浙江工商职业技术学院
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年8月18日
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