一种可直开的泡生法蓝宝石炉的前炉门结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及泡生法蓝宝石晶体生长技术领域，尤其涉及一种可直开的泡生法蓝宝石炉的前炉门结构，同时可适用于其他相似领域。
【背景技术】
[0002]蓝宝石又称白宝石，是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料，由于具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高(2045°C)等优良的物理、机械、化学及红外透光性能，一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料，凭借其极高的强度、硬度、红外透过性能和抗热冲击性能。该材料在光学窗口、半导体照明、微波器件等领域都有广泛的应用，已成为用量仅次于硅单晶的一种功能晶体材料。尤其是光学级大尺寸蓝宝石材料，由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点，成为近年国内外研宄开发和产业化热点。蓝宝石晶体的生长方法很多，但只有泡生法才能获得缺陷和应力少的大尺寸高光学质量的蓝宝石晶体，目前70%的蓝宝石材料是由泡生法制造的。
[0003]泡生法蓝宝石晶体生长设备包括炉体、控制系统、真空系统、水冷系统及动力系统。为保证密封性能，目前的泡生法蓝宝石设备的炉体和炉盖上都有20个左右的螺孔，炉体和炉盖上还有一组密封槽用于安装橡胶密封圈。这20组螺孔在每次安装热场过程中都需要拆装，因此非常繁琐，而且频繁的拆装对于炉体的密封性能影响也很大，因此设计一种不使用螺栓的直开式的前炉门，能有效提高设备的稳定性，减少维护成本。
【发明内容】
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]本实用新型设计了一种可直开的泡生法蓝宝石炉的前炉门结构，炉体与前炉门间直接连接，不再采用螺栓固定，极为简便；同时采用简单的锁扣结构，解决了炉体与前炉门之间的密闭问题，使炉体及热场、原料的安装过程更为简便。
[0006](二)技术方案
[0007]为达到上述目的，本实用新型提供了一种可直开的泡生法蓝宝石炉的前炉门结构，包括方形的炉体及炉体水冷套，前炉门和密封条，所述的前炉门设置为方形，直接放在所述的炉体的正面，所述的前炉门内部设置前炉门水冷套，并在所述的前炉门上设置进水口和出水口与所述的前炉门水冷套连接，所述的前炉门与所述的炉体之间设置密封条，所述的前炉门的四周设置四个锁扣，所述的锁扣与所述的炉体的两侧外延扣牢。
[0008]所述的密封条设置为聚四氟乙烯材质，厚度为2.5mm的方条。
[0009]安装时将前炉门直接放在炉体上，无需使用螺栓固定，前炉门与炉体之间用密封条密封，然后用锁扣固定。
【附图说明】
[0010]图1为炉盖结构的正视图；
[0011]图2为炉盖结构的侧视图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步展开说明，但需要指出的是，本实用新型所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本实用新型所要求保护的范围之内。
[0013]请一并参阅俯图1-2，一种可直开的泡生法蓝宝石炉的前炉门结构，包括方形的炉体I及炉体水冷套，所述的炉体I设置为方形，可用于生长方形的蓝宝石晶体。还包括前炉门2和密封条。
[0014]所述的前炉门2设置为方形，直接放在所述的炉体I的正面。为了防止高温损害，所述的前炉门2内部设置前炉门水冷套，并在所述的前炉门2上设置进水口 4和出水口 5，所述的进水口 4和出水口 5与所述的前炉门水冷套连接，形成冷却水的循环，进而带走热量。
[0015]所述的前炉门2与所述的炉体I之间设置密封条，所述的密封条设置为聚四氟乙稀材质，厚度为2.5mm的方条。
[0016]为了保证密封效果，所述的前炉门2的四周设置四个锁扣3，所述的锁扣3与所述的炉体I的两侧外延扣牢。
[0017]这样，安装时将所述的前炉门2直接放在所述的炉体I的正面，无需使用螺栓固定，所述的前炉门2与炉体I之间用密封条密封，然后用所述的锁扣3扣紧，从而保证了整个系统的真空条件，同时不使用螺栓能有效提高原料及热场的安装效率。
【主权项】
1.一种可直开的泡生法蓝宝石炉的前炉门结构，包括方形的炉体及炉体水冷套，前炉门和密封条，其特征在于:所述的前炉门设置为方形，直接放在所述的炉体的正面，所述的前炉门内部设置前炉门水冷套，并在所述的前炉门上设置进水口和出水口与所述的前炉门水冷套连接，所述的前炉门与所述的炉体之间设置密封条，所述的前炉门的四周设置四个锁扣，所述的锁扣与所述的炉体的两侧外延扣牢。
2.如权利要求1所述的一种可直开的泡生法蓝宝石炉的前炉门结构，其特征在于:所述的密封条设置为聚四氟乙烯材质，厚度为2.5mm的方条。
【专利摘要】本实用新型公开了一种可直开的泡生法蓝宝石炉的前炉门结构，包括方形的炉体及炉体水冷套，前炉门和密封条，所述的前炉门设置为方形，直接放在所述的炉体的正面，所述的前炉门内部设置前炉门水冷套，并在所述的前炉门上设置进水口和出水口与所述的前炉门水冷套连接，所述的前炉门与所述的炉体之间设置密封条，所述的前炉门的四周设置四个锁扣，所述的锁扣与所述的炉体的两侧外延扣牢。所述的密封条设置为聚四氟乙烯材质，厚度为2.5mm的方条。安装时将前炉门直接放在炉体上，无需使用螺栓固定，可以有效提高原料及热场的安装效率。
【IPC分类】C30B29-20, C30B17-00
【公开号】CN204570084
【申请号】CN201520174793
【发明人】刘瑜, 杜慧江, 邢明
【申请人】宁波晶工晶体科技有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年3月26日