技术编号：11618206
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于MEMS工艺和传统机械加工工艺相结合的金属材质的微型气体富集器的结构设计及其制备方法。背景技术超低限气体检测一直各种分析仪器面临的巨大挑战，为此提高分析仪器的探测极限是非常必要的，因此富集器对于微量分析系统来说是必不可少的重要组成部分；其通过对待测气体进行吸附、快速解析实现对痕量气体浓度的大幅提高，从而达到检测仪器的检测限。传统的富集器结构为管式，其在吸附管的内壁或者外壁缠绕多圈金属加热丝，管内则填充对应的吸附材料，吸附材料可为薄膜、颗粒等多种形式；待富集气体进入管内经过材料的...
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