一种单晶硅表面蜂巢状结构及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:11628278

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本发明属于光伏技术领域,特别涉及一种单晶硅表面蜂巢状结构及其制备方法。背景技术相对于传统制绒,其单晶硅表面结构均为微米级蠕虫状结构,反射率控制在24%左右,具有很大的提升空间;黑硅技术发现于20世纪90年代末,哈佛大学EricMazur教授等[AppliedPhysicsLetters,1998,73(12):1673~1675]使用飞秒激光技术获得了对近紫外至近红外波段的光(0.25~2.5μm)几乎全部吸收的黑硅。目前光伏技术中制备的“黑硅”,具有良好的陷光作用,能够显著降低硅片表面的反射率...
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