技术编号:11634408
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于测量气体混合物中、尤其环境空气中的二氧化碳浓度的传感器。此外,本发明涉及一种用于制造根据本发明的传感器的方法。背景技术气体浓度的测量在消费电子以及建筑安全技术和医学技术领域中变得越来越重要。这尤其适用于联网设备(IoTS)。对开发具有低功耗的小型低成本传感器存在特别的兴趣,所述传感器可以以大的件数集成到现有设备中。对此存在许多不同的方案。在此尤其可以提及:电阻式传感器,所述电阻式传感器的电导率改变根据气体气氛被读取;以及各种类型的场效应晶体管,所述场效应晶体管探测所使用的电极材...
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