技术编号:11671969
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种清洗夹具,尤其涉及一种用于清洗MOCVD设备反应室中石英件、石墨件的夹具。背景技术MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质,并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此,在进行MOCVD时,需要在MOCVD反应室中进行。其中,MOCVD反应室是由石英管和石墨基座组成。目前,MOCVD设备反应室的石英、石墨配件在使用后需要进行清洗以便再利用,然而,在清洁再利用的过程中,石英、石墨...
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