本实用新型涉及一种清洗夹具，尤其涉及一种用于清洗MOCVD设备反应室中石英件、石墨件的夹具。
背景技术：
MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此，在进行MOCVD时，需要在MOCVD反应室中进行。其中，MOCVD反应室是由石英管和石墨基座组成。目前，MOCVD设备反应室的石英、石墨配件在使用后需要进行清洗以便再利用，然而，在清洁再利用的过程中，石英、石墨配件容易受到外力作用而损坏。
因此，针对上述问题，有必要提出进一步的解决方案。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种清洗夹具，以克服现有技术中存在的不足。
为实现上述实用新型目的，本实用新型提供一种清洗夹具，其用于清洗MOCVD设备反应室中石英件、石墨件的夹具，所述清洗夹具包括：第一夹板和第二夹板；
所述第一夹板边缘设置有卡扣，所述第二夹板的边缘设置有收容所述卡扣的卡槽，所述第一夹板通过所述卡扣和卡槽的配合实现与所述第二夹板的拆卸式连接，所述第一夹板和第二夹板之间形成所述石英件、石墨件的夹持空间；所述第一夹板和第二夹板的对应位置处开设有定位螺孔，所述定位螺孔中安装有定位螺栓。
作为本实用新型的清洗夹具的改进，所述第一夹板和第二夹板采用PVC材料。
作为本实用新型的清洗夹具的改进，所述卡扣自所述第一夹板边缘垂直延而出，所述卡槽自所述第二夹板的边缘水平凹陷而成。
作为本实用新型的清洗夹具的改进，所述卡扣分布于所述第一夹板的左右两侧及下方的边缘，所述卡槽对应分布于第二夹板的左右两侧及下方的边缘。
作为本实用新型的清洗夹具的改进，所述第一夹板和第二夹板镂空设置，所述镂空设置包括：正方形镂空结构以及分布于所述正方形镂空结构四周的圆形镂空结构。
作为本实用新型的清洗夹具的改进，所述正方形镂空结构为四个，四个正方形镂空结构以阵列形式进行排布，所述正方形镂空结构的任一侧设置有三个圆形镂空结构。
作为本实用新型的清洗夹具的改进，所述定位螺栓采用耐酸碱定位螺栓。
作为本实用新型的清洗夹具的改进，所述第一夹板和第二夹板的上方边缘处还对应开设有腰形通孔。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的清洗夹具能够防止配件损伤、提高材料利用率、降低生产成本，使用本实用新型的清洗夹具时，石英件、石墨件在清洗移动的过程中能更好的得到保护，保证石英、石墨件不受外力挤压，碰撞等，最大限度保护石英件、石墨件的完整性。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为应用本实用新型的清洗夹具一具体实施方式的立体示意图。
具体实施方式
下面结合附图所示的各实施方式对本实用新型进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本实用新型的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本实用新型的保护范围之内。
如图1所示，本实用新型的清洗夹具包括：第一夹板10和第二夹板20。
所述第一夹板10边缘设置有卡扣11，所述第二夹板20的边缘设置有收容所述卡扣11的卡槽21，所述第一夹板10通过所述卡扣11和卡槽21的配合实现与所述第二夹板20的拆卸式连接，同时，所述第一夹板10和第二夹板20之间形成石英件、石墨件的夹持空间。优选地，所述第一夹板10和第二夹板20采用耐酸碱的PVC材料。
具体地，所述卡扣11自所述第一夹板10边缘垂直延而出，所述卡槽21自所述第二夹板20的边缘水平凹陷而成。从而，所述卡扣11可扣合于所述卡槽21中实现所述第一夹板10和第二夹板20安装。优选地，所述卡扣11分布于所述第一夹板10的左右两侧及下方的边缘，所述卡槽21对应分布于第二夹板20的左右两侧及下方的边缘。如此，以方便所述第一夹板10和第二夹板20的打开。
此外，为了方便对所述石英件、石墨件的进行清洗，所述第一夹板10和第二夹板20镂空设置，其中，所述镂空设置包括：正方形镂空结构31以及分布于所述正方形镂空结构31四周的圆形镂空结构32。如此，清洗液可通过镂空结构与所述石英件、石墨件充分接触，实现清洗的目的。优选地，所述正方形镂空结构31为四个，四个正方形镂空结构31以阵列形式进行排布，所述正方形镂空结构31的任一侧设置有三个圆形镂空结构32。
为了进一步对待清洗的石英件、石墨件进行固定，防止其发生移动。所述第一夹板10和第二夹板20的对应位置处开设有定位螺孔40，所述定位螺孔40中安装有定位螺栓(未图示)。所述定位螺孔40开设的位置根据石英件、石墨件在夹持空间中的固定位置而定。优选地，所述定位螺栓采用耐酸碱定位螺栓。
所述第一夹板10和第二夹板20的上方边缘处还对应开设有腰形通孔50。所述腰形通孔50可作为把手使用，从而便于本实用新型的清洗夹具的整体移动。
本实用新型的清洗夹具使用时，先将所述第一夹板10和第二夹板20打开，将石英件或石墨件放置于第一夹板10或第二夹板20上，再将第一夹板10和第二夹板20扣合，并安装定位螺栓，完成石英件或石墨件的定位固定。清洗时，石英件或石墨件始终处于所述夹持空间中，所述第一夹板10和第二夹板20对石英件或石墨件提供持续的保护。如此，保证石英、石墨件在清洗的同时，不受外力挤压，碰撞等，最大限度保护石英件、石墨件的完整性。
综上所述，本实用新型的清洗夹具能够防止配件损伤、提高材料利用率、降低生产成本，使用本实用新型的清洗夹具时，石英件、石墨件在清洗移动的过程中能更好的得到保护，保证石英、石墨件不受外力挤压，碰撞等，最大限度保护石英件、石墨件的完整性。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。