1.一种清洗夹具,其用于清洗MOCVD设备反应室中石英件、石墨件的夹具,其特征在于,所述清洗夹具包括:第一夹板和第二夹板;
所述第一夹板边缘设置有卡扣,所述第二夹板的边缘设置有收容所述卡扣的卡槽,所述第一夹板通过所述卡扣和卡槽的配合实现与所述第二夹板的拆卸式连接,所述第一夹板和第二夹板之间形成所述石英件、石墨件的夹持空间;所述第一夹板和第二夹板的对应位置处开设有定位螺孔,所述定位螺孔中安装有定位螺栓。
2.根据权利要求1所述的清洗夹具,其特征在于,所述第一夹板和第二夹板采用PVC材料。
3.根据权利要求1所述的清洗夹具,其特征在于,所述卡扣自所述第一夹板边缘垂直延而出,所述卡槽自所述第二夹板的边缘水平凹陷而成。
4.根据权利要求3所述的清洗夹具,其特征在于,所述卡扣分布于所述第一夹板的左右两侧及下方的边缘,所述卡槽对应分布于第二夹板的左右两侧及下方的边缘。
5.根据权利要求1所述的清洗夹具,其特征在于,所述第一夹板和第二夹板镂空设置,所述镂空设置包括:正方形镂空结构以及分布于所述正方形镂空结构四周的圆形镂空结构。
6.根据权利要求5所述的清洗夹具,其特征在于,所述正方形镂空结构为四个,四个正方形镂空结构以阵列形式进行排布,所述正方形镂空结构的任一侧设置有三个圆形镂空结构。
7.根据权利要求1所述的清洗夹具,其特征在于,所述定位螺栓采用耐酸碱定位螺栓。
8.根据权利要求1所述的清洗夹具,其特征在于,所述第一夹板和第二夹板的上方边缘处还对应开设有腰形通孔。