技术编号:11685839
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及铁电体材料技术领域,尤其涉及一种硼酸盐铁电薄膜、其制备方法和应用。背景技术铁电体材料是指具有自发极化,且自发极化矢量可以在外加电场作用下转向的一类电介质材料。具有铁电性、且厚度在数十纳米至数微米的薄膜材料,叫铁电薄膜。铁电薄膜是一类重要的功能性薄膜材料,多年来一直是铁电性研究和高技术新材料研究的前沿和热点之一。铁电薄膜材料、集成铁电器件以及与之相关的物理问题,多年来一直是物理学(特别是电介质物理学)、材料科学与工程、微电子与光电子等领域的科学技术人员所关注的重要问题之一。铁电薄膜已获得...
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