技术编号：11694214
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高温超导技术，更具体而言，涉及利用离子束溅射沉积制备高温超导薄膜的方法。背景技术高温超导体是一类不能用传统BCS理论解释的非常规超导体，超导薄膜(SuperconductingThinFilm)通常是指利用蒸发、喷涂等方法沉积的厚度小于1微米的超导材料。以超导薄膜为基础制成数字电路，将比半导体材料做的数字电路具有速度更快、损耗更小、容量更大的特点。实用的超导薄膜分为低温和高温两类。低温超导材料的临界温度是绝对温度十几K以下，需要在液氮中工作，由于液氮及其制冷费用昂贵，其应用受到很大限制...
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