技术编号:11695591
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体技术领域,特别涉及一种半导体仪器净化装置。背景技术空气净化系统设计是半导体仪器的一个重要环节。由于半导体芯片的特征尺寸非常小,即使非常小的颗粒污染都可能导致其功能失效,使昂贵费时的制造过程白费。空气中漂浮的颗粒落至芯片上是导致芯片污染的主要原因之一,因此芯片生产、检测过程对环境要求较高,尤其是芯片会长期接触的仪器内部。针对此现状,对芯片生产及中间检测仪器均设有空气净化系统,保证仪器内部,尤其是芯片放置位置附近空气的洁净程度。常见的半导体仪器中空气净化系统是通过抽气或进气设计实...
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