技术编号：11724917
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种集成电路直流测试探针基座和测试平台设计，适用于GaAs、GaN等化合物半导体器件直流测试，属于半导体生产、制造领域。背景技术当前，集成电路的发展趋势：体积越来越小，功能越来越多，更高的集成度导致芯片面积越来越小，所需测试尤其是PCM（ProcessControlandMonitor）图形扎针图形（PAD）越来越小，测试要求探针越来越细，各个探针间距越来越近，对集成电路测试，尤其是研发阶段大量应用的手动测试、在片测试提出新的挑战。与全自动测试相比，手动测试无需购买探针卡，无需进行...
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