技术编号:11762214
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体技术领域,特别涉及一种提拉装置及搬运系统。背景技术在半导体行业中,有一些机台没有自带的机械手臂,因此在机台工作过程中,需要靠工作人员手动不断地搬运装有晶片的片匣,非常的费力且不便捷。在晶片再生制造和对晶片进行清洗的过程中,往往需要工作人员手动在不同的凹槽之间频繁地传递搬运装有晶片的片匣。当片匣装满晶片时,自身重量就会很大,并且对晶片清洗完后片匣上沾满了水,在工作人员搬运的过程中,片匣就容易从手中滑落,导致晶片破碎,存在着一定的风险和不便利。因此如何避免工作人员在搬运片匣的过程...
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