提拉装置及搬运系统的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种提拉装置及搬运系统。

背景技术：

在半导体行业中，有一些机台没有自带的机械手臂，因此在机台工作过程中，需要靠工作人员手动不断地搬运装有晶片的片匣，非常的费力且不便捷。

在晶片再生制造和对晶片进行清洗的过程中，往往需要工作人员手动在不同的凹槽之间频繁地传递搬运装有晶片的片匣。当片匣装满晶片时，自身重量就会很大，并且对晶片清洗完后片匣上沾满了水，在工作人员搬运的过程中，片匣就容易从手中滑落，导致晶片破碎，存在着一定的风险和不便利。

因此如何避免工作人员在搬运片匣的过程中，片匣容易从手中滑落的问题成了本领域技术人员需要解决的一个问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种提拉装置及搬运系统，以解决工作人员在搬运片匣的过程中，片匣容易从手中滑落的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种提拉装置，协助工作人员方便安全的搬运装有晶片的片匣，所述提拉装置包括：

主体，所述主体上设有凹槽，所述凹槽啮合所述片匣的手柄；

连接杆，所述连接杆固定在所述主体上。

可选的，在所述提拉装置中，所述提拉装置还包括支撑条，所述支撑条固定于所述主体的第一表面，所述主体的第一表面与所述片匣相对。

可选的，在所述提拉装置中，所述支撑条设置在所述主体第一表面的底端。

可选的，在所述提拉装置中，所述连接杆上设有把手，所述把手位于所述连接杆的顶端。

可选的，在所述提拉装置中，所述提拉装置还包括支撑柄，所述连接杆上具有防滑结构。

可选的，在所述提拉装置中，所述提拉装置的材料是特氟龙。

本实用新型还提供了一种搬运系统，用于搬运晶片，所述搬运系统包括片匣和提拉装置，其中，

所述片匣包括本体，所述本体的一侧设有手柄；

所述提拉装置包括主体和连接杆，所述主体设有凹槽，所述凹槽啮合所述片匣上的手柄；所述连接杆固定在所述主体上。

可选的，在所述搬运系统中，所述提拉装置还包括支撑条，所述支撑条固定于所述主体的第一表面，所述主体的第一表面与所述片匣相对。

可选的，在所述搬运系统中，所述支撑条设置在所述主体第一表面的的底端。

可选的，在所述搬运系统中，所述连接杆上设有把手，所述把手位于所述连接杆的顶端。

可选的，在所述搬运系统中，所述连接杆上设有防滑结构。

可选的，在所述搬运系统中，制作所述搬运系统的材料是特氟龙。

在本实用新型提供的提拉装置中，所述提拉装置包括主体，所述主体上设有凹槽，用于啮合片匣的手柄，由此可以使得所述片匣能够嵌入贴合在所述主体中；所述提拉装置还包括设置在所述主体上的连接杆，工作人员通过握住所述连接杆能够很方便的提力拿起所述片匣，提高了搬运片匣的便捷性和安全性；进一步的，本实用新型还提供了搬运系统，包括片匣和上述提拉装置，所述片匣包括本体，所述本体的一侧设有手柄；所述提拉装置包括主体和连接杆，所述主体设有凹槽，所述凹槽啮合所述片匣上的手柄；所述连接杆固定在所述主体上；将晶片装在所述片匣的本体中，通过握住所述提拉装置上的连接杆能够安全地搬运晶片。

附图说明

图1是片匣的结构示意图；

图2是本实用新型提供的提拉装置结构示意图；

图3是本实用新型提供的搬运系统结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的提拉装置及搬运系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

在现在半导体行业中，工作人员用于手动装运晶片的片匣1结构示意图如图1所示，所述片匣1包括本体10，所述本体10是一个容器结构，用于承载晶片；所述片匣1还包括手柄11，所述手柄11设置在所述本体10上，工作人员通过抓住所述手柄11来搬运所述片匣1。进一步的，所述本体10只有一侧设置有所述手柄11。当所述本体10中装满晶片时，所述片匣1的自重非常大，因此当握住手柄11时，容易发生所述本体10倾斜，进而导致晶片滑落等问题；此外，当片匣上沾满水时，也容易使得工作人员不能抓牢片匣，从而导致片匣滑落、晶片破损等问题。

对于现在已经在半导体行业中被广泛运用的片匣1，本实用新型提供了一种提拉装置2，具体结构示意图如图2所示，使工作人员在晶片再生制造和清洗的过程中方便安全的搬运所述片匣1。

可选的，请继续参阅图2，所述提拉装置2包括主体21，在所述主体21上设有凹槽211，如图2所示，所述凹槽211设置在所述主体21的上表面，所述凹槽211用于啮合所述片匣1的所述手柄11，这样所述片匣1就能够牢固的嵌入贴合在所述主体21中，即使在晶片再生制造和对晶片进行清洗的过程中，所述片匣1的所述本体10中装满了晶片，由于所述凹槽211对于所述片匣1的啮合，所述片匣1也不会从所述凹槽211上滑落，避免了装在所述片匣1中的晶片掉落以致被污染甚至破碎的问题。

在对所述片匣1中的晶片进行清洗时，需要将所述片匣1放入在装有清洗液的清洗池中，可选的，如图2所示，所述主体21的厚度X为4cm～4.5cm，从而使得所述提拉装置2提住所述片匣1后能够方便的放进所述清洗池中。

所述提拉装置2还包括连接杆22，所述连接杆22固定在所述主体21上。在对晶片进行清洗的过程中，需要对所述清洗液进行加热升温，为了避免所述高温清洗液溅到工作人员的皮肤，工作人员可以通过握住所述连接杆22，将所述提拉装置2上的所述片匣1置于所述清洗池中，从而可以远离所述清洗池中的高温清洗液。可选的，所述连接杆22的长度为25cm～30cm。

进一步的，为了使工作人员能够更加牢固的握住所述连接杆22，在所述连接杆22上设有防滑结构(图中未示出)。所述防滑结构可以是设置于连接杆22上的若干个凸起，也可以是多道沿连接杆22的宽度方向延伸且并排分布的筋条，还可以是套设于所述连接杆22上的塑胶套。所述防滑结构可增大所述连接杆22在工作人员手中的摩擦力，防止所述片匣1中的晶片过多，自身重量过大导致工作人员难以紧握住所述连接杆22，从而从工作人员的手中滑落的问题。

可选的，所述提拉装置2还包括支撑条212，所述支撑条212固定在所述主体21上。所述支撑条212设置在所述主体21的第一表面，并且位于所述主体21第一表面的底端，具体结构示意图请继续参阅图2。在所述片匣1嵌入贴合在所述主体21上的所述凹槽211中时，所述第一表面就会与所述片匣1相对；同时，所述支撑条212会紧贴在所述片匣1设有所述手柄11的侧面上，减少了所述提拉装置2与所述片匣1之间的间隙，从而使所述片匣1完全紧贴在所述提拉装置2上不会产生晃动。工作人员在晶片再生制造和对晶片的清洗过程中，使用所述提拉装置2搬运装有晶片的所述片匣1时，即使发生轻微的晃动，所述片匣1仍然能够嵌入在所述凹槽211中，并且与所述提拉装置2相紧贴，这样大大降低了所述片匣1从所述提拉装置2上滑落的可能性，从而避免了装在所述片匣1中的晶片被污染甚至破碎。

进一步的，在所述连接杆22上设有把手221，从而使得工作人员能够更加牢固的提住所述提拉装置2。请继续参阅图2，所述把手221设置在所述连接杆22的顶端，工作人员可以握住所述把手221，然后对所述提拉装置2进行操作。

在本申请实施例中，所述提拉装置2的材料优选为特氟龙。在使用高温清洗液对所述片匣1中的晶片进行清洗，通常需要将所述提拉装置2置于清洗池中的高温清洗液，因此制成所述提拉装置2的材料优选为具有耐高温的特性。更进一步的，所述片匣1在装满晶片后自身具有一定的重量，因此制成所述提拉装置2的材料具有相当的硬度。因此，优选特氟龙这种耐高温、硬度大的材料来制造所述提拉装置2。

本实用新型还提供了一种搬运系统3，用于搬运晶片，具体结构如图3所示。请结合参考图1至图3，所述搬运系统3包括：片匣1和提拉装置2。其中，所述片匣1包括本体10，请参阅图3，在所述本体10的一侧设有手柄11。所述提拉装置2包括主体21和连接杆22，在所述主体21的上表面设有凹槽211，所述凹槽211用于啮合所述片匣1上一侧的手柄11，所述片匣1就能够牢固的嵌入贴合在所述提拉装置2中。由此使得在晶片再生制造和对晶片进行清洗的过程中，所述片匣1上的所述本体10中装满了晶片，所述片匣1也不会从所述凹槽211上滑落，避免了装在所述片匣1中的晶片掉落以致被污染甚至破碎的问题。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。