技术总结
在本实用新型提供了一种提拉装置，所述提拉装置包括主体，所述主体上设有凹槽，用于啮合片匣的手柄，由此可以使得所述片匣能够嵌入贴合在所述主体中；所述提拉装置还包括设置在所述主体上的连接杆，工作人员通过握住所述连接杆能够很方便的提力拿起所述片匣，提高了搬运片匣的便捷性和安全性；进一步的，本实用新型还提供了搬运系统，包括片匣和上述提拉装置，所述片匣包括本体，所述本体的一侧设有手柄；所述提拉装置包括主体和连接杆，所述主体设有凹槽，所述凹槽啮合所述片匣上的手柄；所述连接杆固定在所述主体上；将晶片装在所述片匣的本体中，通过握住所述提拉装置上的连接杆能够安全地搬运晶片。
技术研发人员：张治俊;汤敬计
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201720232905
技术研发日：2017.03.10
技术公布日：2017.10.20