技术编号：11772517
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种承载装置及具有该承载装置的曝光设备。背景技术在现有的曝光设备、烘烤设备等具有承载装置的设备中，承载装置破片一直影响着设备的稼动率(稼动率是指设备在所能提供的时间内为了创造价值而占用的时间所占的比重，或者是指一台设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值)，从而对各生产商造成了很大地困扰。究其承载装置的易破片的原因，其中对承载装置承载的基板破真空不完全是最主要的原因。发明内容为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能够在破真空时避免破片的承载装置及具有该承载装置的曝光设...
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