承载装置及具有该承载装置的曝光设备的制作方法

本发明涉及一种承载装置及具有该承载装置的曝光设备。

背景技术：

在现有的曝光设备、烘烤设备等具有承载装置的设备中，承载装置破片一直影响着设备的稼动率(稼动率是指设备在所能提供的时间内为了创造价值而占用的时间所占的比重，或者是指一台设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值)，从而对各生产商造成了很大地困扰。

究其承载装置的易破片的原因，其中对承载装置承载的基板破真空不完全是最主要的原因。

技术实现要素：

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能够在破真空时避免破片的承载装置及具有该承载装置的曝光设备。

根据本发明的一方面，提供了一种承载装置，其包括：承载板、多个支撑针以及多个通气管，所述承载板包括多个区部，所述区部具有多个针通孔和多个气通孔，所述支撑针与所述针通孔一一对应，所述区部与所述通气管一一对应，所述通气管用于通过其对应的所述区部的多个气通孔输送气体或抽取气体。

进一步地，所述多个通气管用于同时输送气体或抽取气体，且所述多个通气管彼此独立地用于输送气体或者抽取气体。

进一步地，所述承载装置还包括：与所述区部相应的多个连接管，所述多个连接管与所述区部对应的所述通气管连通，所述连接管与所述区部的所述气通孔一一对应。

进一步地，所述多个区部包括：第一区部；包围所述第一区部且位于所述第一区部以外的第二区部；包围所述第二区部且位于所述第二区部以外的第三区部；分别设置于所述第三区部的相对两侧的第四区部；以及分别设置于所述第三区部的另外相对两侧的第五区部。

进一步地，所述多个区部包括：第一区部；包围所述第一区部且位于所述第一区部以外的第二区部；包围所述第二区部且位于所述第二区部以外的第三区部；包围所述第三区部且位于所述第三区部以外的第四区部；以及包围所述第四区部且位于所述第四区部以外的第五区部。

进一步地，所述第一区部对应的支撑针的高度、所述第二区部对应的支撑针的高度、所述第三区部对应的支撑针的高度、所述第四区部对应的支撑针的高度及所述第五区部对应的支撑针的高度依次增大。

进一步地，当上升顶起承载的基板时，所述第五区部对应的支撑针、所述第四区部对应的支撑针、所述第三区部对应的支撑针、所述第二区部对应的支撑针的高度以及所述第一区部对应的支撑针依序上升顶起所述基板。

根据本发明的另一方面，还提供了一种承载装置，其包括：承载板以及多个支撑针，所述承载板包括n个区部，第i个区部包括第i-1个区部且位于第i-1个区部以外，每个区部具有多个针通孔和多个气通孔，每个针通孔对应一个支撑针，所述第1个区部对应的支撑针的高度至所述第n个区部对应的支撑针的高度依次增大，其中，2≤i≤n。

进一步地，当上升顶起承载的基板时，所述第n个区部对应的支撑针至所述第1个区部对应的支撑针依序上升顶起所述基板。

根据本发明的又一方面，又提供了一种曝光设备，其包括上述的承载装置。

本发明的有益效果：本发明的承载装置可以使基板与承载板之间的真空彻底被破除，从而避免破真空时破片现象的出现。

附图说明

通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：

图1是根据本发明的第一实施例的用于曝光设备的承载装置的俯视示意图；

图2是根据本发明的第一实施例的用于曝光设备的承载装置的侧视示意图；

图3是根据本发明的第二实施例的用于曝光设备的承载装置的俯视示意图。

具体实施方式

以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。

在附图中，为了清楚器件，夸大了层和区域的厚度。相同的标号在整个说明书和附图中表示相同的元器件。

图1是根据本发明的第一实施例的用于曝光设备的承载装置的俯视示意图。图2是根据本发明的第一实施例的用于曝光设备的承载装置的侧视示意图。

参照图1和图2，根据本发明的第一实施例的承载装置包括：承载板100、多个支撑针200以及多个通气管300。

具体地，承载板100包括多个区部。每个区部中具有多个针通孔120和多个气通孔130。一个针通孔120对应一个支撑针200，支撑针200可以在针通孔120中自由上下，以上升顶起被处理的基板(未示出)或者下降将被处理的基板承载至承载板100上。一个区部对应一个通气管300，也就是说，该一个区部对应的一个通气管300连通该一个区部内的多个气通孔130。每个通气管用于通过其对应的区部的多个气通孔130传送气体(即输送气体或者抽取气体)。在本实施例中，该气体可以是压缩的干燥空气。

此外，在本实施例中，每个通气管300的始端可以安装调压阀400，这样多个通气管300分别向各自对应的区部传送气体，从而可以确保整个承载板100的供气量均匀，进而可以避免破真空时破片的现象。

进一步地，在本实施例中，多个通气管300用于同时输送气体或抽取气体，且多个通气管300彼此独立地用于输送气体或者抽取气体，但本发明并不限制于此。此外，每个通气管300可以单独控制气体传送量。

为了使每个区域110对应的一个通气管300与该每个区域110内的多个气通孔130连通，在本实施例中，承载装置还包括：与每个区部相应的多个连接管400，每个区部相应的多个连接管400与该每个区域110对应的一个通气管300连通，每个区域110对应的连接管400与该每个区域110的气通孔130一一对应连通。

多个区部包括：第一区部110a；包围第一区部110a且位于第一区部110a以外的第二区部110b；包围第二区部110b且位于第二区部110b以外的第三区部110c；分别设置于第三区部110c的相对两侧的第四区部110d；以及分别设置于第三区部110c的另外相对两侧的第五区部110e。应当理解的是，这里将承载板100划分为五个区部只是本发明的一种实施方式，本发明并不限制于此。

图3是根据本发明的第二实施例的用于曝光设备的承载装置的俯视示意图。

在本发明的第二实施例中，与本发明的第一实施例的相同之处在此不再赘述，仅描述与本发明的第一实施例的不同之处。参照图3，在本发明的第二实施例中，多个区部包括：第一区部110a；包围第一区部110a且位于第一区部110a以外的第二区部110b；包围第二区部110b且位于第二区部110b以外的第三区部110c；包围第三区部110c’且位于第三区部110c以外的第四区部110d；以及包围第四区部110d且位于第四区部110d以外的第五区部110e。应当理解的是，这里将承载板100划分为五个区部只是本发明的一种实施方式，本发明并不限制于此。

进一步地，第一区部110a对应的支撑针200的高度、第二区部110b对应的支撑针200的高度、第三区部110c对应的支撑针200的高度、第四区部110d对应的支撑针200的高度及第五区部110e对应的支撑针200的高度依次增大。也就是说，第一区部110a对应的支撑针200的高度＜第二区部110b对应的支撑针200的高度＜第三区部110c对应的支撑针200的高度＜第四区部110d对应的支撑针200的高度＜第五区部110e对应的支撑针200的高度。具体地，第一区部110a对应的支撑针200的高度比第二区部110b对应的支撑针200的高度小0.5mm，第二区部110b对应的支撑针200的高度比第三区部110c对应的支撑针200的高度小0.5mm，第三区部110c对应的支撑针200的高度比第四区部110d对应的支撑针200的高度小0.5mm，第四区部110d对应的支撑针200的高度比第五区部110e对应的支撑针200的高度小0.5mm。

当需要上升顶起承载的基板时，气通孔130首先传送气体，从而先对基板进行破真空，而后第五区部110e对应的支撑针200、第四区部110d对应的支撑针200、第三区部110c对应的支撑针200、第二区部110b对应的支撑针200以及第一区部110a对应的支撑针200依序上升顶起所述基板。这样，最外侧的支撑针200先将基板顶起，则空气会先从外侧进入基板边缘，当内侧的支撑针200再顶起基板时，则空气再向内侧移动，直到最内的支撑针200顶起。这样的好处是：使基板与承载板100之间的真空彻底释放，防止因局部真空未破除而造成破片现象。

此外，还与本发明的第一实施例不同的是：在第二实施例中，各区部的所有气通孔130可以对应一个通气管300，即采用一个通气管300通过承载板100上所有的气通孔130传送气体。当然，应当理解的是，采用第一实施例的多个通气管300的方式也可以。

综上所述，根据本发明的各实施例的承载装置，可以使基板与承载板之间的真空彻底被破除，从而避免破真空时破片现象的出现。

虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。