技术特征：
技术总结
本发明提供了一种承载装置，其包括：承载板、多个支撑针以及多个通气管，所述承载板包括多个区部，所述区部具有多个针通孔和多个气通孔，所述支撑针与所述针通孔一一对应，所述区部与所述通气管一一对应，所述通气管用于通过其对应的所述区部的多个气通孔输送气体或抽取气体。本发明还提供了一种具有该承载装置的曝光设备。本发明可以使基板与承载板之间的真空被均匀且彻底地破除，从而避免破真空时破片现象的出现。
技术研发人员：魏德萌
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.07.28
技术公布日：2017.10.20