技术编号:11792358
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种涂布装置、涂布系统及涂布方法。背景技术以往,已知一种将用以形成覆膜等的涂布液涂布于玻璃基板等被处理基板的涂布装置。例如,在专利文献1中,揭示有一种构成,具备储存浆料的储藏槽、从储藏槽接受浆料的供给且在真空状态下进行浆料的消泡的消泡槽、以及将结束消泡的浆料送往涂敷装置的注射泵。在专利文献2中,揭示有一种构成,在将涂布液贮存槽内的涂布液经由排气区而送入至涂布液贮存空间,且利用泵使涂布液贮存空间的体积减少,由此从设置在涂布液贮存空间下游侧的喷嘴喷出涂布液的涂布装置中,在排气区与泵之间的配...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。