涂布装置、涂布系统及涂布方法与流程

本发明涉及一种涂布装置、涂布系统及涂布方法。

背景技术：

以往，已知一种将用以形成覆膜等的涂布液涂布于玻璃基板等被处理基板的涂布装置。例如，在专利文献1中，揭示有一种构成，具备储存浆料的储藏槽、从储藏槽接受浆料的供给且在真空状态下进行浆料的消泡的消泡槽、以及将结束消泡的浆料送往涂敷装置的注射泵。

在专利文献2中，揭示有一种构成，在将涂布液贮存槽内的涂布液经由排气区而送入至涂布液贮存空间，且利用泵使涂布液贮存空间的体积减少，由此从设置在涂布液贮存空间下游侧的喷嘴喷出涂布液的涂布装置中，在排气区与泵之间的配管及泵与喷嘴之间的配管上设置开闭阀，将这些开闭阀间的配管内的空间及泵内的空间作为所述涂布液贮存空间，在构成该涂布液贮存空间的配管的中途设置具备开闭阀的分支配管且与排气槽相连。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平11-333352号公报

[专利文献2]日本专利特开2006-43584号公报

技术实现要素：

[发明所要解决的问题]

然而，在专利文献1中，为如下的构成，即，如果储藏槽内的浆料全部供给至消泡槽内，那么结束浆料的消泡而关闭真空阀，之后消泡槽也与储藏槽一同承担作为压送槽的任务，因此，如果涂布处理未完成，那么便无法进行接下来的消泡。

在专利文献2中，为如下的构成，即，将涂布液从排气区送入至涂布液贮存空间，接下来，将涂布液贮存空间内的涂布液压设为大气压或固定压之后，驱动泵而使涂布液 贮存空间内的体积减少以将涂布液从喷嘴喷出，因此，如果涂布处理未完成，那么便无法进行排气。

在这些引用文献1及2中，在进行脱气处理时必须暂时停止涂布处理，因此无法一面进行脱气处理，一面连续地进行涂布处理，从而在生产效率方面存在问题。

鉴于如上所述的情形，本发明的目的在于提供一种能够一面进行脱气处理、一面连续地进行涂布处理从而能够谋求生产效率提高的涂布装置、涂布系统及涂布方法。

[解决问题的技术手段]

本发明的一形态的涂布装置具备：涂布部，将涂布液涂布于涂布对象；供给部，对所述涂布部供给所述涂布液；第一脱气部及第二脱气部，进行所述涂布液的脱气；以及切换部，以在由所述第一脱气部进行所述脱气期间从所述第二脱气部向所述涂布部供给所述涂布液的方式，对所述第一脱气部及所述第二脱气部进行切换。

根据该构成，通过对第一脱气部及第二脱气部进行切换而能够个别独立地区分进行脱气的路径与供给涂布液的路径，因此能够一面由第一脱气部进行脱气处理，一面由第二脱气部对涂布部供给涂布液而进行涂布处理。因此，在进行脱气处理时无需暂时停止涂布处理。因此，能够一面进行脱气处理，一面连续地进行涂布处理，从而能够谋求生产效率的提高。

所述涂布装置也可还具备除去部，所述除去部将所述涂布液中包含的异物除去。

根据该构成，能够过滤供给至涂布部的涂布液，因此能够涂布将异物除去后的涂布液。

在所述涂布装置中，所述除去部也可具备过滤器，所述过滤器设置在所述供给部与所述第一脱气部及所述第二脱气部之间。

根据该构成，能够在脱气处理之前除去涂布液中包含的异物，因此能够排除在脱气处理之后气泡混入至涂布液中的要因。

所述涂布装置也可还具备真空泵，所述真空泵在真空环境下进行所述脱气。

根据该构成，能够在真空环境下进行脱气处理，因此能够避免在脱气处理中气体溶入至涂布液中。

在所述涂布装置中，所述切换部也可具备三向阀，所述三向阀对从所述供给部向所述第一脱气部或所述第二脱气部的所述涂布液的供给进行切换。

根据该构成，以使用有三向阀的简单构成便能够对第一脱气部及第二脱气部进行切换。

所述涂布装置也可还具备第三脱气部及第四脱气部，所述第三脱气部及第四脱气部 进行所述涂布液的脱气。

根据该构成，能够对第一脱气部、第二脱气部、第三脱气部及第四脱气部进行切换，因此能够一面由第一脱气部、第三脱气部及第四脱气部进行脱气处理，一面由第二脱气部对涂布部供给涂布液而进行涂布处理。另外，也能够一面由第一脱气部及第三脱气部进行脱气处理，一面由第二脱气部及第四脱气部对涂布部供给涂布液而进行涂布处理。进而，还能够一面由第三脱气部及第四脱气部进行脱气处理，一面由第一脱气部及第二脱气部对涂布部供给涂布液而进行涂布处理。因此，能够连续且稳定地进行脱气处理及涂布处理。

在所述涂布装置中，所述切换部也可具备：第一三向阀，对从所述供给部向所述第一脱气部或所述第二脱气部的所述涂布液的供给进行切换；以及第二三向阀，对从所述供给部向所述第三脱气部或所述第四脱气部的所述涂布液的供给进行切换。

根据该构成，以使用有第一三向阀及第二三向阀的简单构成便能够对第一脱气部、第二脱气部、第三脱气部及第四脱气部进行切换。

在所述涂布装置中，所述供给部也可具备：第一供给部，供给第一涂布液；以及第二供给部，供给第二涂布液。

根据该构成，能够使用彼此不同种类的涂布液作为第一涂布液及第二涂布液，因此能够一面进行脱气处理，一面对涂布对象连续地涂布不同种类的涂布液。另外，与仅具备一个供给部的情况相比较，通过使用彼此相同种类的涂布液作为第一涂布液及第二涂布液，能够确保用于涂布处理的涂布液的容量较多。因此，即便在第一供给部的涂布液消失的情况下，也能够供给第二供给部的涂布液，能够一面进行脱气处理，一面对涂布对象连续地涂布相同种类的涂布液。

在所述涂布装置中，所述第一供给部也能够对所述第一脱气部或所述第二脱气部供给所述第一涂布液，所述第二供给部也能够对所述第三脱气部或所述第四脱气部供给所述第二涂布液。

根据该构成，能够一面由第一脱气部进行第一涂布液的脱气处理，一面由第二脱气部对涂布部供给第一涂布液而进行涂布处理，并且一面由第三脱气部进行第二涂布液的脱气处理，一面由第四脱气部对涂布部供给第二涂布液而进行涂布处理。因此，能够连续且稳定地进行脱气处理以及第一涂布液及第二涂布液的涂布处理。

在所述涂布装置中，所述涂布部也可具备喷嘴，所述喷嘴对所述涂布对象喷出所述涂布液。

根据该构成，以使用有喷嘴的简单构成便能够一面进行脱气处理一面连续地进行涂 布处理。

所述涂布装置也可还具备回收部，所述回收部将从所述涂布部喷出的所述涂布液回收。

根据该构成，能够回收从涂布部喷出的涂布液，因此能够对涂布液进行再利用。

所述涂布装置中也可还具备循环部，所述循环部将已由所述回收部回收的所述涂布液供给至所述涂布部。

根据该构成，通过使所回收的涂布液在回收部与涂布部之间循环而能够减小涂布液的粘度，因此能够加快涂布液对涂布部的送液速度而提高涂布效率，并且能够谋求涂布液的粘度的最佳化。

所述涂布装置也可还具备收容部，所述收容部收容所述供给部、所述第一脱气部及所述第二脱气部。

根据该构成，能够将供给部、第一脱气部及第二脱气部汇集在收容部内。另外，在收容有供给部、第一脱气部及第二脱气部的状态下，能够个别独立地区分进行脱气的路径与供给涂布液的路径，因此能够一面在收容部内配置供给部、第一脱气部及第二脱气部，一面在收容部内进行所述路径的布线，能够提高布局的自由度。

在所述涂布装置中，在所述收容部，也可设置载置所述涂布部的载置部。

根据该构成，能够在收容有供给部、第一脱气部及第二脱气部的状态下，将涂布部载置于载置部，因此能够区分供给部、第一脱气部及第二脱气部的配置部位与涂布部的配置部位，从而能够提高涂布部的维护性。

本发明的一形态的涂布系统具备所述涂布装置、保持所述涂布对象的保持部以及将所述涂布部能够装卸地支撑的支撑部。

根据该构成，能够由所述涂布装置一面进行脱气处理，一面连续地进行涂布处理，从而能够谋求生产效率的提高。另外，涂布部对支撑部能够装卸，因此能够提高涂布部的维护性。

在所述涂布系统中，也可为，所述涂布装置具备收容所述供给部、所述第一脱气部及所述第二脱气部的收容部，在所述收容部，设置有载置所述涂布部的载置部，所述涂布系统还具备移动装置，所述移动装置使所述涂布部在所述载置部与所述支撑部之间移动。

根据该构成，能够将供给部、第一脱气部及第二脱气部汇集在收容部内。另外，能够在收容有供给部、第一脱气部及第二脱气部的状态下，个别独立地区分进行脱气的路径与供给涂布液的路径，因此能够一面在收容部内配置供给部、第一脱气部及第二脱气 部，一面在收容部内进行所述路径的布线，从而能够提高布局的自由度。

另外，在收容有供给部、第一脱气部及第二脱气部的状态下，能够将涂布部载置于载置部，因此能够区分供给部、第一脱气部及第二脱气部的配置部位与涂布部的配置部位，从而能够提高涂布部的维护性。

进而，能够使涂布部在载置部与支撑部之间移动，因此能够容易地进行涂布部对载置部的载置与涂布部对支撑部的装卸。

在所述涂布系统中，所述移动装置也可具备使所述涂布部升降的升降部。

根据该构成，能够使涂布部升降，因此即便在支撑部的高度及载置部的高度互不相同的情况下，也能够容易地进行涂布部对载置部的载置与涂布部对支撑部的装卸。

本发明的一形态的涂布方法包括：涂布步骤，将涂布液涂布于涂布对象；供给步骤，将所述涂布液供给至对所述涂布对象涂布所述涂布液的涂布部；脱气步骤，由第一脱气部及第二脱气部进行所述涂布液的脱气；以及切换步骤，以在由所述第一脱气部进行所述脱气期间从所述第二脱气部向所述涂布部供给所述涂布液的方式，对所述第一脱气部及所述第二脱气部进行切换。

根据该方法，通过对第一脱气部及第二脱气部进行切换，能够个别独立地区分进行脱气的路径与供给涂布液的路径，因此能够一面由第一脱气部进行脱气处理，一面由第二脱气部对涂布部供给涂布液而进行涂布处理。因此，在进行脱气处理时无需暂时停止涂布处理。因此，能够一面进行脱气处理，一面连续地进行涂布处理，从而能够谋求生产效率的提高。

所述涂布方法也可还包括：支撑步骤，支撑所述涂布部；载置步骤，在收容对所述涂布部供给所述涂布液的供给部与所述第一脱气部及所述第二脱气部的收容部的载置部，载置所述涂布部；以及移动步骤，在所述载置步骤与所述支撑步骤之间使所述涂布部移动。

根据该方法，在收容有供给部、第一脱气部及第二脱气部的状态下，能够将涂布部载置于载置部，因此能够区分供给部、第一脱气部及第二脱气部的配置部位与涂布部的配置部位，从而能够提高涂布部的维护性。

另外，能够使涂布部在载置部与支撑部之间移动，因此能够容易地进行涂布部对载置部的载置与涂布部对支撑部的装卸。

[发明的效果]

根据本发明，能够提供一种能够一面进行脱气处理、一面连续地进行涂布处理从而能够谋求生产效率的提高的涂布装置、涂布系统及涂布方法。

附图说明

图1是第一实施方式的涂布装置的示意图。

图2是第一实施方式的涂布装置的立体图。

图3是第一实施方式的涂布系统的立体图。

图4是用以说明第一实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部进行脱气、一面由第二脱气部进行涂布液供给的例子的图。

图5是用以说明第一实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第二脱气部进行脱气、一面由第一脱气部进行涂布液供给的例子的图。

图6是第二实施方式的涂布装置的示意图。

图7是第二实施方式的涂布装置的立体图。

图8是用以说明第二实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部、第三脱气部及第四脱气部进行脱气、一面由第二脱气部进行涂布液供给的例子的图。

图9是用以说明第二实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部及第三脱气部进行脱气、一面由第二脱气部及第四脱气部进行涂布液供给的例子的图。

图10是用以说明第二实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第三脱气部及第四脱气部进行脱气、一面由第一脱气部及第二脱气部进行涂布液供给的例子的图。

图11是第三实施方式的涂布装置的示意图。

图12是第三实施方式的涂布装置的立体图。

图13是用以说明第三实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部进行第一涂布液的脱气并且由第三脱气部及第四脱气部进行第二涂布液的脱气，一面由第二脱气部进行第一涂布液的供给的例子的图。

图14是用以说明第三实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部及第二脱气部进行第一涂布液的脱气并且由第三脱气部进行第二涂布液的脱气，一面由第四脱气部进行第二涂布液的供给的例子的图。

图15是用以说明第三实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第三脱气部及第四脱气部进行第二涂布液的脱气、一面由第一脱气部及第二脱气部进行第一 涂布液的供给的例子的图。

图16是用以说明第三实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部及第二脱气部进行第一涂布液的脱气、一面由第三脱气部及第四脱气部进行第二涂布液的供给的例子的图。

具体实施方式

(第一实施方式)

以下，参照附图，对本发明的第一实施方式进行说明。

图1是第一实施方式的涂布装置1的示意图。图2是第一实施方式的涂布装置1的立体图。图3是第一实施方式的涂布系统100的立体图。

＜涂布装置＞

如图1～图3所示，涂布装置1是对基板70(涂布对象)涂布用以形成覆膜等的涂布液3a。如图1所示，涂布装置1具备涂布部2、供给部3、脱气部4、切换部5、除去部6、真空泵7、回收部8、循环部9、压送泵10、加压槽11、喷出泵12、电磁阀13、三向阀14、维护部16及控制部15。控制部15总括控制涂布装置1的构成要素。

涂布部2具备对基板70喷出涂布液3a的喷嘴2a。喷嘴2a形成为长条状，内部能够收容涂布液3a。例如，喷嘴2a使用狭缝式喷嘴，该狭缝式喷嘴在喷嘴2a的前端(下端)具有喷出涂布液3a的狭缝状的喷出口2b。

供给部3具备贮存用以供给至涂布部2的涂布液3a的贮存槽。贮存槽上连接有能够导入氮气等惰性气体的配管3b。配管3b经由阀而连接于加压源(均未图示)，通过阀的开闭控制来调整贮存槽内的压力。供给部3通过贮存槽内的压力调整而向涂布部2供给特定量的涂布液3a。

例如，涂布液3a使用用以形成树脂基板及层间绝缘膜等的液状体。在本实施方式中，涂布液3a使用包含具有1～10Pa·s左右的粘度的聚酰亚胺的液状体。一般来说，用以形成用于液晶显示装置的TFT(thin-film transistor，薄膜晶体管)及液晶层等的液状体具有0.01Pas以下的粘度。因此，与用以形成TFT及液晶层等的液状体相比较，包含聚酰亚胺的液状体具有较高的粘度。此外，作为涂布液3a，也可使用除包含聚酰亚胺的液状体以外的液状体，例如使用光阻剂等的药液(液体)。

涂布装置1具备形成涂布液3a的流路的多个配管101～122。如上所述，涂布液3a从供给部3向涂布部2流动。以下，在涂布液3a流动的方向上，有时将供给部3侧称 为“上游侧”，将涂布部2侧称为“下游侧”。

脱气部4具备进行涂布液3a的脱气的两个脱气部(第一脱气部41及第二脱气部42)。

切换部5具备三个三向阀5a、5b、5c。

三向阀5a对从配管102侧(供给部3)向配管103侧(第一脱气部41)或配管104侧(第二脱气部42)的涂布液3a的供给进行切换。

三向阀5b对从配管108侧(第一脱气部41)或配管109侧(第二脱气部42)向配管110侧(涂布部2)的涂布液3a的供给进行切换。

三向阀5c对配管106侧(第一脱气部41)或配管107侧(第二脱气部42)的涂布液3a的脱气进行切换。

除去部6具备用以除去涂布液3a中包含的异物的过滤器6a、6b。例如，过滤器6a、6b是由特富龙(注册商标)形成。

过滤器6a设置在供给部3与三向阀5a之间的流路上。此外，过滤器6a也可设置在三向阀5a与第一脱气部41之间以及三向阀5a与第二脱气部42之间。也就是说，过滤器6a只要设置在供给部3与第一脱气部41及第二脱气部42之间即可。

过滤器6b设置在循环部9与三向阀14之间的流路上。

第一脱气部41从上游侧依序经由配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配管103而连接于供给部3。

第二脱气部42从上游侧依序经由配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a及配管104而连接于供给部3。

在脱气部4，连接有在真空状态下进行涂布液3a的脱气的真空泵7。

第一脱气部41从真空泵7侧依序经由配管105、三向阀5c及配管106而连接于真空泵7。

第二脱气部42从真空泵7侧依序经由配管105、三向阀5c及配管107而连接于真空泵7。

通过三向阀5c的切换而进行配管106侧(第一脱气部41)或配管107侧(第二脱气部42)的涂布液3a的脱气。

电磁阀13具有使脱气部4与涂布部2之间的流路开闭的多个(例如本实施方式中为四个)电磁阀13a～13d。

第一脱气部41从上游侧依序经由配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a及配管111而连接于压送泵10。

第二脱气部42从上游侧依序经由配管109、三向阀5b、配管110、电磁阀13a及配 管111而连接于压送泵10。

通过三向阀5b的切换而从配管108侧(第一脱气部41)或配管109侧(第二脱气部42)向配管110侧(涂布部2)供给涂布液3a。

涂布部2从上游侧依序经由配管112、电磁阀13b、配管113、加压槽11、配管114、三向阀14、配管115、电磁阀13c、配管116、喷出泵12、配管117、电磁阀13d及配管118而连接于压送泵10。在压送泵10与涂布部2之间的流路上配置加压槽11及喷出泵12，由此，即便在使用有高粘度的涂布液3a的情况下，也能够使涂布液3a顺利地流向涂布部2。

此外，加压槽11也可经由未图示的阀及配管3b而连接于供给部3的贮存槽。由此，通过阀的开闭控制来调整贮存槽内的压力。另外，由喷出泵12及供给部3共用加压槽11，由此，与个别地设置有供给部3用的加压源的情况相比较，能够削减零件数，从而能够谋求装置构成的简化。

维护部16具备喷嘴前端管理部16a，该喷嘴前端管理部16a通过清洗喷嘴2a的前端、或从喷嘴2a的喷出口预备喷出涂布液3a而整顿喷嘴前端的状况。喷嘴前端管理部16a具备废液收容部，该废液收容部收容从喷嘴2a排出的涂布液3a及喷嘴2a的清洗中使用过的清洗液等。

此外，维护部16也可具备喷嘴待机部，该喷嘴待机部具有：浸渍部，以不使喷嘴2a的前端干燥的方式使前端浸渍；以及排出部，在要更换喷嘴2a的情况下及要更换供给至喷嘴2a的涂布液3a的情况下，将喷嘴2a内所保持的涂布液3a排出。

喷嘴前端管理部16a经由配管119、回收部8、配管120、循环部9、配管121、过滤器6b及配管122而连接于三向阀14。

回收部8将从涂布部2喷出的涂布液3a回收。在本实施方式中，回收部8将从涂布部2喷出的涂布液3a中的要再利用的部分回收。此外，从涂布部2喷出的涂布液3a中的不会再利用的部分被贮存在未图示的废液贮存部。例如，废液贮存部经由阀而连接于从配管119分支的配管(均未图示)。

循环部9将已由回收部8回收的涂布液3a供给至涂布部2。例如，将三向阀14的配管114侧设为“闭”，将配管122侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，且使配管122与配管115连通。另外，将电磁阀13c及电磁阀13d设为“开”。由此，所回收的涂布液3a通过配管120、循环部9、配管121、过滤器6b、配管122、三向阀14、配管115、电磁阀13c、配管116、喷出泵12、配管117、电磁阀13b及配管118而供给至涂布部2。而且，从涂布部2喷出的涂布液3a经由喷嘴前端管理部16a、配管119而被回收至回收 部8。如此一来，所回收的涂布液3a在闭合的流路内在回收部8与涂布部2之间循环。

如图2所示，涂布装置1还具备收容部20，该收容部20收容供给部3、过滤器6a、第一脱气部41及第二脱气部42。收容部20呈长方体的箱状。在收容部20内，引绕有将涂布装置1的构成要素加以连结的多个配管(例如将供给部3、过滤器6a、第一脱气部41及第二脱气部42加以连结的配管101、102、103、104、108、109、110等)。为方便起见，图2中省略图示，但在收容部20内，也收容真空泵7、三向阀5a、5b、5c及将它们加以连结的配管105、106、107等。

在收容部20，设置有载置涂布部2的俯视长方形状的载置部20a(顶板)。在载置部20a，设置有具有与载置部20a的长边方向的长度大致相同长度的呈长方体状的基台21。在基台21的中央部，能够装卸地设置有保持涂布部2及喷出泵12的矩形板状的板部件22。例如，板部件22通过未图示的螺钉等而能够装卸地安装在基台21。

在载置部20a的基台21的侧方，配置有加压槽11。与加压槽11的上游侧相连的配管113等通过形成于载置部20a的未图示的开口而收容在收容部20内。为方便起见，在图2中，图示与加压槽11的下游侧相连的配管114、喷出泵12、配管117等，省略三向阀114、配管115、电磁阀13c等的图示。

＜涂布系统＞

如图3所示，涂布系统100具备涂布装置1、保持部71、支撑部72及移动装置60。

保持部71具备第一搬送臂71a及第二搬送臂71b。第一搬送臂71a及第二搬送臂71b呈在沿矩形板状的基板70的一边的方向延伸的长方体状，且以隔着基板70相互对向的方式配置。例如，在第一搬送臂71a及第二搬送臂71b之间，设置有用以搬送基板70的多个辊(未图示)。此外，在第一搬送臂71a及第二搬送臂71b之间，也可设置使基板70上浮而搬送的未图示的上浮搬送部。另外，在第一搬送臂71a及第二搬送臂71b之间，也可设置载置基板70的未图示的平台，且搬送载置有基板70的平台。

支撑部72具备第一支撑部72a、第二支撑部72b及连结部72c。

第一支撑部72a呈具有与第一搬送臂71a的厚度大致相同厚度的长方体状，且能够沿第一搬送臂71a移动地安装在第一搬送臂71a。

第二支撑部72b呈具有与第二搬送臂71b的厚度大致相同厚度的长方体状，且能够沿第二搬送臂71b移动地安装在第二搬送臂71b。

连结部72c呈以架设在第一支撑部72a与第二支撑部72b之间的方式在与第一搬送臂71a及第二搬送臂71b的长边方向正交的方向延伸的长方体状，且将第一支撑部72a与第二支撑部72b连结。在连结部72c的中央部，能够装卸地支撑有保持涂布部2及喷 出泵12的矩形板状的板部件22。例如，板部件22通过未图示的螺钉等而能够装卸地安装于连结部72c。

移动装置60具备臂部61、升降部62、车轮支撑部63及车轮64。

臂部61具备第一臂部61a、第二臂部61b及连结板61c。第一臂部61a及第二臂部61b呈相互平行地延伸的棱柱状，且能够从下方支撑板部件22地空开间隔而配置。连结板61c呈以架设在第一臂部61a与第二臂部61b之间的方式在与第一臂部61a及第二臂部61b的长边方向正交的方向延伸的长方形的板状，且将第一臂部61a与第二臂部61b连结。

升降部62呈在上下延伸的长方体状，且能够升降地支撑臂部61的连结板61c。例如，升降部62具备沿升降部62的长边方向设置的导轨及使臂部61沿导轨而上下移动(升降)的驱动机构(均未图示)。

车轮支撑部63具备第一支撑部63a、第二支撑部63b及第三支撑部63c。第一支撑部63a及第二支撑部63b呈相互平行地延伸的棱柱状，且空开比第一臂部61a及第二臂部61b的分离间隔小车轮64的宽度量的间隔而配置。在第一支撑部63a及第二支撑部63b，旋转自如地各安装有一个车轮64。

第三支撑部63c呈以架设在第一支撑部63a与第二支撑部63b之间的方式在与第一支撑部63a及第二支撑部63b的长边方向正交的方向延伸的棱柱状，且将第一支撑部63a与第二支撑部63b连结。在第三支撑部63c的中央部，固定有升降部62的下端部。在第三支撑部63c，在升降部62的下端部的侧方，旋转自如地安装有两个车轮64。

例如，移动装置60通过远程操作而能够在涂布装置1与支撑部72之间移动。另外，移动装置60的升降部62能够使涂布部2在涂布装置1的载置部20a与支撑部72的连结部72c之间升降。因此，可通过移动装置60的远程操作使涂布部2在涂布装置1的载置部20a与支撑部72的连结部72c之间移动。

此外，也可在移动装置60设置未图示的操纵席，作业者通过一面坐在操纵席、一面操作移动装置60而使涂布部2在涂布装置1的载置部20a与支撑部72的连结部72c之间移动。另外，作业者也可通过以手动方式操作移动装置60而使涂布部2在涂布装置1的载置部20a与支撑部72的连结部72c之间移动。

＜涂布方法＞

接下来，对本实施方式的涂布方法进行说明。本实施方式中，使用所述涂布装置1或涂布系统100将涂布液3a涂布于基板70。在涂布装置1、涂布系统100的各部执行的动作是由控制部15控制。

本实施方式的涂布方法包括涂布步骤、供给步骤、脱气步骤及切换步骤。

在涂布步骤中，涂布部2将涂布液3a涂布于基板70。

在供给步骤中，供给部3对涂布部2供给涂布液3a。

在脱气步骤中，第一脱气部41及第二脱气部42进行涂布液3a的脱气。

在切换步骤中，切换部5以在由第一脱气部41进行脱气期间从第二脱气部42向涂布部2供给涂布液3a的方式，对第一脱气部41及第二脱气部42进行切换。

图4是用以说明第一实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部41进行脱气、一面由第二脱气部42进行涂布液3a的供给的例子的图。

如图4所示，在切换步骤中，控制部15将三向阀5a的配管102侧设为“开”，将配管103侧设为“闭”，将配管104侧设为“开”，且使配管102与配管104连通。

由此，来自供给部3的涂布液3a通过配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a及配管104而供给至第二脱气部42。此时，三向阀5a的配管103侧关闭，因此未对第一脱气部41供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5b的配管108侧设为“闭”，将配管109侧设为“开”，将配管110侧设为“开”，且使配管109与配管110连通。

另外，控制部15将电磁阀13a～13d设为“开”，并且将三向阀14的配管114侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，将配管122侧设为“闭”，且使配管110、配管111、配管112、配管113、配管114、配管115、配管116、配管117及配管118连通。

由此，供给至第二脱气部42的涂布液3a通过配管109、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10、配管112、电磁阀13b、配管113、加压槽11、配管114、三向阀14、配管115、电磁阀13c、配管116、喷出泵12、配管117、电磁阀13d及配管118而供给至涂布部2。

此时，三向阀5b的配管108侧关闭，因此未对第一脱气部41供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5c的105侧设为“开”，将配管106侧设为“开”，将配管107侧设为“闭”，且使配管105与配管106连通。

由此，如果驱动真空泵7，那么进行第一脱气部41的涂布液3a的脱气。此时，三向阀5c的配管107侧关闭，因此未进行第二脱气部42的涂布液3a的脱气。

这样，通过对第一脱气部41及第二脱气部42进行切换，在闭合的流路内由第一脱气部41进行脱气期间，从第二脱气部42对涂布部2供给涂布液3a。

图5是用以说明第一实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第二脱气部42进行脱气、一面由第一脱气部41进行涂布液3a的供给的例子的图。

如图5所示，在切换步骤中，控制部15将三向阀5a的配管102侧设为“开”，将配管103侧设为“开”，将配管104侧设为“闭”，且使配管102与配管103连通。

由此，来自供给部3的涂布液3a通过配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a及配管103而供给至第一脱气部41。此时，三向阀5a的配管104侧关闭，因此未对第二脱气部42供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5b的配管108侧设为“开”，将配管109侧设为“闭”，将配管110侧设为“开”，且使配管108与配管110连通。

另外，控制部15将电磁阀13a～13d设为“开”，并且将三向阀14的配管114侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，将配管122侧设为“闭”，且使配管110、配管111、配管112、配管113、配管114、配管115、配管116、配管117及配管118连通。

由此，供给至第一脱气部41的涂布液3a通过配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10、配管112、电磁阀13b、配管113、加压槽11、配管114、三向阀14、配管115、电磁阀13c、配管116、喷出泵12、配管117、电磁阀13d及配管118而供给至涂布部2。

此时，三向阀5b的配管109侧关闭，因此未对第二脱气部42供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5c的105侧设为“开”，将配管106侧设为“闭”，将配管107侧设为“开”，且使配管105与配管107连通。

由此，如果驱动真空泵7，那么进行第一脱气部42的涂布液3a的脱气。此时，三向阀5c的配管106侧关闭，因此未进行第一脱气部41的涂布液3a的脱气。

这样，通过对第一脱气部41及第二脱气部42进行切换，在闭合的流路内由第二脱气部42进行脱气期间，从第一脱气部41对涂布部2供给涂布液3a。

接下来，对使用所述移动装置60使涂布部2在涂布装置1的载置部20a与支撑部72的连结部72c之间移动的方法进行说明。在图3中，图示出两个涂布装置1，且将其中一个涂布装置1设为驱动状态，将另一个涂布装置1设为待机状态。

此处，所谓驱动状态是指在基板70上涂布有涂布液3a的状态。所谓待机状态是指涂布液3a未涂布于基板70的状态，也就是指将涂布部2载置于载置部20a的状态。

本实施方式的涂布方法还包括支撑步骤、载置步骤及移动步骤。

在支撑步骤中，支撑部72支撑涂布部2。例如，将保持有涂布部2及喷出泵12的板部件22(以下称为“涂布单元”)通过未图示的螺钉等而能够装卸地安装于支撑部72的连结部72c。

在载置步骤中，将涂布部2载置于收容部20的载置部20a。例如，将涂布单元通过 未图示的螺钉等而能够装卸地安装于载置部20a的基台21。

在移动步骤中，在载置步骤与支撑步骤之间使涂布部2移动。例如，使移动装置60移动至载置部20a的近前之后，将涂布单元从基台21卸下，之后，由臂部61从下方支撑涂布单元。之后，在由臂部61支撑涂布单元的状态下，使移动装置60朝支撑部72移动。使移动装置60移动至支撑部72的近前之后，将涂布单元安装于支撑部72的连结部72c。

此外，也可通过驱动移动装置60的升降部62而使涂布单元在涂布装置1的载置部20a的近前或支撑部72的连结部72c的近前升降。

经过这些步骤，能够使涂布部2在涂布装置1的载置部20a与支撑部72的连结部72c之间移动。

如以上所述，根据本实施方式，通过对第一脱气部41及第二脱气部42进行切换，能够个别独立地区分进行脱气的路径与供给涂布液3a的路径，因此能够一面由第一脱气部41进行脱气处理，一面由第二脱气部42对涂布部2供给涂布液3a而进行涂布处理。因此，在进行脱气处理时无需暂时停止涂布处理。因此，能够一面进行脱气处理，一面连续地进行涂布处理，从而能够谋求生产效率的提高。

另外，涂布装置1还具备将涂布液3a中包含的异物除去的除去部6，由此能够过滤供给至涂布部2的涂布液3a，因此能够涂布将异物除去后的涂布液3a。

另外，除去部6具备设置在供给部3与第一脱气部41及第二脱气部42之间的过滤器6a，由此能够在脱气处理之前将涂布液3a中包含的异物除去，因此能够排除在脱气处理之后气泡混入至涂布液3a中的要因。

另外，涂布装置1还具备在真空环境下进行脱气的真空泵7，由此能够在真空环境下进行脱气处理，因此能够避免在脱气处理中气体溶入至涂布液3a中。

另外，切换部5具备三向阀5a、5b、5c，这些三向阀5a、5b、5c对从供给部3向第一脱气部41或第二脱气部42的涂布液3a的供给进行切换，因此以使用有三向阀5a、5b、5c的简单构成便能够对第一脱气部41及第二脱气部42进行切换。

另外，涂布部2具备对基板70喷出涂布液3a的喷嘴2a，因此以使用有喷嘴2a的简单构成便能够一面进行脱气处理，一面连续地进行涂布处理。

另外，涂布装置1还具备将从涂布部2喷出的涂布液3a回收的回收部8，由此能够回收从涂布部2喷出的涂布液3a，因此能够对涂布液3a进行再利用。

另外，涂布装置1还具备循环部9，该循环部9将已由回收部8回收的涂布液3a供给至涂布部2，由此，通过使所回收的涂布液3a在回收部8与涂布部2之间循环而能够 减小涂布液3a的粘度，因此能够加快涂布液3a对涂布部2的送液速度而提高涂布效率，并且能够谋求涂布液3a的粘度的最佳化。通过谋求涂布液3a的粘度的最佳化，即便在使用高粘度的涂布液3a的情况下，也能够使涂布液3a顺利地流向涂布部2。

另外，涂布装置1还具备收容供给部3、第一脱气部41及第二脱气部42的收容部20，由此，能够将供给部3、第一脱气部41及第二脱气部42汇集在收容部20内。另外，在收容有供给部3、第一脱气部41及第二脱气部42的状态下，能够个别独立地区分进行脱气的路径与供给涂布液3a的路径，因此能够一面在收容部20内配置供给部3、第一脱气部41及第二脱气部42，一面在收容部20内进行所述路径的布线，从而能够提高布局的自由度。

另外，在收容部20，设置有载置涂布部2的载置部20a，由此，能够在收容有供给部3、第一脱气部41及第二脱气部42的状态下，将涂布部2载置于载置部20a，因此能够区分供给部3、第一脱气部41及第二脱气部42的配置部位与涂布部2的配置部位，从而能够提高涂布部2的维护性。

另外，涂布系统100具备所述涂布装置1、保持基板70的保持部71及将涂布部2能够装卸地支撑的支撑部72，由此，能够由所述涂布装置1一面进行脱气处理，一面连续地进行涂布处理，从而能够谋求生产效率的提高。另外，涂布部2对于支撑部72能够装卸，因此能够提高涂布部2的维护性。

另外，涂布系统100还具备使涂布部2在载置部20a与支撑部72之间移动的移动装置60，由此，能够使涂布部2在载置部20a与支撑部72之间移动，因此能够容易地进行涂布部2对载置部20a的载置与涂布部2对支撑部72的装卸。

另外，移动装置60具备使涂布部2升降的升降部62，由此，能够使涂布部2升降，因此即便在支撑部72的高度及载置部20a的高度互不相同的情况下，也能够容易地进行涂布部2对载置部20a的载置与涂布部2对支撑部72的装卸。

(第二实施方式)

接下来，使用图6～图10对本发明的第二实施方式进行说明。

图6是第二实施方式的涂布装置201的示意图。图7是第二实施方式的涂布装置201的立体图。

相对于第一实施方式，第二实施方式中还具备第三脱气部43及第四脱气部44，该点尤其不同。在图6及图7中，对与第一实施方式相同的构成标注同一符号并省略其详细的说明。

＜涂布装置＞

如图6所示，本实施方式的涂布装置201具备脱气部204及切换部205。

脱气部204具备进行涂布液3a的脱气的四个脱气部(第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44)。

切换部205具备三向阀5a、5b、5c、第一三向阀51及第二三向阀52。

三向阀5a对从配管102侧(供给部3)向配管103侧(第一脱气部41或第二脱气部42)或配管104侧(第三脱气部43或第四脱气部44)的涂布液3a的供给进行切换。

三向阀5b对从配管108侧(第一脱气部41或第二脱气部42)或配管109侧(第三脱气部43或第四脱气部44)向配管110侧(涂布部2)的涂布液3a的供给进行切换。

三向阀5c对配管106侧(第一脱气部41或第二脱气部42)或配管107侧(第三脱气部43或第四脱气部44)的涂布液3a的脱气进行切换。

第一三向阀51具备第一三向阀51a、51b、51c。

第一三向阀51a对从配管103侧(供给部3)向配管103a侧(第一脱气部41)或配管103b侧(第二脱气部42)的涂布液3a的供给进行切换。

第一三向阀51b对从配管108a侧(第一脱气部41)或配管108b侧(第二脱气部42)向配管108侧(涂布部2)的涂布液3a的供给进行切换。

第一三向阀51c对配管106a侧(第一脱气部41)或配管106b侧(第二脱气部42)的涂布液3a的脱气进行切换。

第二三向阀52具备第二三向阀52a、52b、52c。

第二三向阀52a对从配管104侧(供给部3)向配管104a侧(第三脱气部43)或配管104b侧(第四脱气部44)的涂布液3a的供给进行切换。

第二三向阀52b对从配管109a侧(第三脱气部43)或配管109b侧(第四脱气部44)向配管109侧(涂布部2)的涂布液3a的供给进行切换。

第二三向阀52c对配管107a侧(第三脱气部43)或配管107b侧(第四脱气部44)的涂布液3a的脱气进行切换。

第一脱气部41从上游侧依序经由配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配管103、第一三向阀51a及配管103a而连接于供给部3。

第二脱气部42从上游侧依序经由配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配管103、第一三向阀51a及配管103b而连接于供给部3。

第三脱气部43从上游侧依序经由配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配管104、第二三向阀52a及配管104a而连接于供给部3。

第四脱气部44从上游侧依序经由配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配 管104、第二三向阀52a及配管104b而连接于供给部3。

在脱气部204，连接有在真空状态下进行涂布液3a的脱气的真空泵7。

第一脱气部41从真空泵7侧依序经由配管105、三向阀5c、配管106、第一三向阀51c及配管106a而连接于真空泵7。

第二脱气部42从真空泵7侧依序经由配管105、三向阀5c、配管106、第一三向阀51c及配管106b而连接于真空泵7。

第三脱气部43从真空泵7侧依序经由配管105、三向阀5c、配管107、第二三向阀52c及配管107a而连接于真空泵7。

第四脱气部44从真空泵7侧依序经由配管105、三向阀5c、配管107、第二三向阀52c及配管107b而连接于真空泵7。

通过三向阀5c的切换而进行配管106侧(第一脱气部41或第二脱气部42)或配管107侧(第三脱气部43或第四脱气部44)的涂布液3a的脱气。

第一脱气部41从上游侧依序经由配管108a、第一三向阀51b、配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a及配管111而连接于压送泵10。

第二脱气部42从上游侧依序经由配管108b、第一三向阀51b、配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a及配管111而连接于压送泵10。

第三脱气部43从上游侧依序经由配管109a、第二三向阀52b、配管109、三向阀5b、配管110、电磁阀13a及配管111而连接于压送泵10。

第四脱气部44从上游侧依序经由配管109b、第二三向阀52b、配管109、三向阀5b、配管110、电磁阀13a及配管111而连接于压送泵10。

通过三向阀5b的切换，从配管108侧(第一脱气部41或第二脱气部42)或配管109侧(第三脱气部43或第四脱气部44)向配管110侧(涂布部2)供给涂布液3a。

如图7所示，在收容部20内，引绕有将涂布装置201的构成要素加以连结的多个配管(例如将供给部3、过滤器6a、第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44加以连结的配管101、102、103、103a、103b、104、104a、104b、108、108a、108b、109、109a、109b、110等)。为方便起见，图7中省略图示，但在收容部20内，也收容真空泵7、三向阀5a、5b、5c、第一三向阀51a、51b、51c、第二三向阀52a、52b、52c及将它们加以连结的配管105、106、106a、106b、107、107a、107b等。

＜涂布方法＞

接下来，对本实施方式的涂布方法进行说明。本实施方式中，使用所述涂布装置201将涂布液3a涂布于基板70。在涂布装置201的各部执行的动作是由控制部15控制。此 外，在本实施方式的涂布方法中，对与第一实施方式相同的方法省略其详细的说明。

图8是用以说明第二实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部41、第三脱气部43及第四脱气部44进行脱气、一面由第二脱气部42进行涂布液3a的供给的例子的图。

如图8所示，在切换步骤中，控制部15将三向阀5a的配管102侧设为“开”，将配管103侧设为“开”，将配管104侧设为“闭”，且使配管102与配管103连通。

另外，控制部15将第一三向阀51a的配管103侧设为“开”，将配管103a侧设为“闭”，将配管103b侧设为“开”，且使配管103与配管103b连通。

由此，来自供给部3的涂布液3a通过配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配管103、第一三向阀51a及配管103b而供给至第二脱气部42。

此时，三向阀5a的配管104侧关闭，因此未对第三脱气部43及第四脱气部44供给涂布液3a。另外，第一三向阀51a的配管103a侧关闭，因此也未对第一脱气部41供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将第一三向阀51b的配管108a侧设为“闭”，将配管108b侧设为“开”，将配管108侧设为“开”，且使配管108b与配管108连通。

另外，控制部15将三向阀5b的配管108侧设为“开”，将配管109侧设为“闭”，将配管110侧设为“开”，且使配管108与配管110连通。

另外，控制部15将电磁阀13a～13d设为“开”，并且将三向阀14的配管114侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，将配管122侧设为“闭”，且使配管110～118连通。

由此，供给至第二脱气部42的涂布液3a通过配管108b、第一三向阀51b、配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111及压送泵10等而供给至涂布部2。

此时，第一三向阀51b的配管108a侧关闭，因此未对第一脱气部41供给涂布液3a。另外，三向阀5b的配管109侧关闭，因此未对第三脱气部43及第四脱气部44供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5c的105侧设为“开”，将配管106侧设为“开”，将配管107侧设为“开”，且使配管105、配管106及配管107连通。

另外，控制部15将第一三向阀51c的配管106侧设为“开”，将配管106a侧设为“开”，将配管106b侧设为“闭”，且使配管106与配管106a连通。

另外，控制部15将第二三向阀52c的配管107侧设为“开”，将配管107a侧设为“开”，将配管107b侧设为“开”，且使配管107、配管107a及配管107b连通。

由此，如果驱动真空泵7，那么进行第一脱气部41、第三脱气部43及第四脱气部 44的涂布液3a的脱气。

此时，第一三向阀51c的配管106b侧关闭，因此未进行第二脱气部42的涂布液3a的脱气。

这样，通过对第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44进行切换，在闭合的流路内由第一脱气部41、第三脱气部43及第四脱气部44进行脱气期间，从第二脱气部42对涂布部2供给涂布液3a。

图9是用以说明第二实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部41及第三脱气部43进行脱气、一面由第二脱气部42及第四脱气部44进行涂布液3a的供给的例子的图。

如图9所示，在切换步骤中，控制部15将三向阀5a的配管102侧设为“开”，将配管103侧设为“开”，将配管104侧设为“开”，且使配管102、配管103及配管104连通。

另外，控制部15将第一三向阀51a的配管103侧设为“开”，将配管103a侧设为“闭”，将配管103b侧设为“开”，且使配管103与配管103b连通。

另外，控制部15将第二三向阀52a的配管104侧设为“开”，将104a侧设为“闭”，将配管104b侧设为“开”，且使配管104与配管104b连通。

由此，来自供给部3的涂布液3a通过配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配管103、第一三向阀51a及配管103b而供给至第二脱气部42。另外，来自供给部3的涂布液3a通过配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配管104、第二三向阀52a及配管104b而供给至第四脱气部44。

此时，第一三向阀51a的配管103a侧关闭，因此未对第一脱气部41供给涂布液3a。另外，第二三向阀52a的配管104a侧关闭，因此也未对第三脱气部43供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将第一三向阀51b的配管108a侧设为“闭”，将配管108b侧设为“开”，将配管108侧设为“开”，且使配管108b与配管108连通。

另外，控制部15将第二三向阀52b的配管109a侧设为“闭”，将配管109b侧设为“开”，将配管109侧设为“开”，且使配管109b与配管109连通。

另外，控制部15将三向阀5b的配管108侧设为“开”，将配管109侧设为“开”，将配管110侧设为“开”，且使配管108、配管109及配管110连通。

另外，控制部15将电磁阀13a～13d设为“开”，并且将三向阀14的配管114侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，将配管122侧设为“闭”，且使配管110～118连通。

由此，供给至第二脱气部42的涂布液3a通过配管108b、第一三向阀51b、配管108、 三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

另外，供给至第四脱气部44的涂布液3a通过配管109b、第二三向阀52b、配管109、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

此时，第一三向阀51b的配管108a侧关闭，因此未对第一脱气部41供给涂布液3a。另外，第二三向阀52b的配管109a侧关闭，因此也未对第三脱气部43供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5c的105侧设为“开”，将配管106侧设为“开”，将配管107侧设为“开”，且使配管105、配管106及配管107连通。

另外，控制部15将第一三向阀51c的配管106侧设为“开”，将配管106a侧设为“开”，将配管106b侧设为“闭”，且使配管106与配管106a连通。

另外，控制部15将第二三向阀52c的配管107侧设为“开”，将配管107a侧设为“开”，将配管107b侧设为“闭”，且使配管107与配管107a连通。

由此，如果驱动真空泵7，那么进行第一脱气部41及第三脱气部43的涂布液3a的脱气。

此时，第一三向阀51c的配管106b侧关闭，因此未进行第二脱气部42的涂布液3a的脱气。另外，第二三向阀52c的配管107b侧关闭，因此也未进行第四脱气部44的涂布液3a的脱气。

这样，通过对第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44进行切换，在闭合的流路内由第一脱气部41及第三脱气部43进行脱气期间，从第二脱气部42及第四脱气部44对涂布部2供给涂布液3a。

图10是用以说明第二实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第三脱气部43及第四脱气部44进行脱气、一面由第一脱气部41及第二脱气部42进行涂布液3a的供给的例子的图。

如图10所示，在切换步骤中，控制部15将三向阀5a的配管102侧设为“开”，将配管103侧设为“开”，将配管104侧设为“闭”，且使配管102与配管103连通。

另外，控制部15将第一三向阀51a的配管103侧设为“开”，将配管103a侧设为“开”，将配管103b侧设为“开”，且使配管103、配管103a及配管103b连通。

由此，来自供给部3的涂布液3a通过配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配管103、第一三向阀51a及配管103a而供给至第一脱气部41。

另外，来自供给部3的涂布液3a通过配管101、过滤器6a、配管102、三向阀5a、配管103、第一三向阀51a及配管103b而供给至第二脱气部42。

此时，三向阀5a的配管104侧关闭，因此未对第三脱气部43及第四脱气部44供 给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将第一三向阀51b的配管108a侧设为“开”，将配管108b侧设为“开”，将配管108侧设为“开”，且使配管108a、配管108b及配管108连通。

另外，控制部15将三向阀5b的配管108侧设为“开”，将配管109侧设为“闭”，将配管110侧设为“开”，且使配管108与配管110连通。

另外，控制部15将电磁阀13a～13d设为“开”，并且将三向阀14的配管114侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，将配管122侧设为“闭”，且使配管110～118连通。

由此，供给至第一脱气部41的涂布液3a通过配管108a、第一三向阀51b、配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

另外，供给至第二脱气部42的涂布液3a通过配管108b、第一三向阀51b、配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

此时，三向阀5b的配管109侧关闭，因此未对第三脱气部43及第四脱气部44供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5c的105侧设为“开”，将配管106侧设为“闭”，将配管107侧设为“开”，且使配管105与配管107连通。

另外，控制部15将第二三向阀52c的配管107侧设为“开”，将配管107a侧设为“开”，将配管107b侧设为“开”，且使配管107、配管107a及配管107b连通。

由此，如果驱动真空泵7，那么进行第三脱气部43及第四脱气部44的涂布液3a的脱气。

此时，三向阀5c的配管106侧关闭，因此未进行第一脱气部41及第二脱气部42的涂布液3a的脱气。

这样，通过对第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44进行切换，在闭合的流路内由第三脱气部43及第四脱气部44进行脱气期间，从第一脱气部41及第二脱气部42对涂布部2供给涂布液3a。

如以上所述，根据本实施方式，还具备进行涂布液3a的脱气的第三脱气部43及第四脱气部44，由此，能够对第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44进行切换，因此能够一面由第一脱气部41、第三脱气部43及第四脱气部44进行脱气处理，一面由第二脱气部42对涂布部2供给涂布液3a而进行涂布处理。另外，也能够一面由第一脱气部41及第三脱气部43进行脱气处理，一面由第二脱气部42及第四脱气部44对涂布部2供给涂布液3a而进行涂布处理。进而，还能够一面由第三脱气部及第四脱气部进行脱气处理，一面由第一脱气部41及第二脱气部42对涂布部2供给 涂布液3a而进行涂布处理。因此，能够连续且稳定地进行脱气处理及涂布处理。

另外，切换部205具备对从供给部3向第一脱气部41或第二脱气部42的涂布液3a的供给进行切换的第一三向阀51以及从供给部3向第三脱气部43或第四脱气部44的涂布液3a的供给进行切换的第二三向阀52，因此，以使用有第一三向阀51及第二三向阀52的简单构成便能够对第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44进行切换。

(第三实施方式)

接下来，使用图11～图16对本发明的第三实施方式进行说明。

图11是第三实施方式的涂布装置301的示意图。图12是第三实施方式的涂布装置301的立体图。

相对于第二实施方式，第三实施方式中供给部303具备第一供给部31及第二供给部32，该点尤其不同。在图11及图12中，对与第二实施方式相同的构成标注同一符号并省略其详细的说明。

＜涂布装置＞

如图11所示，本实施方式的涂布装置301具备供给部303、切换部305及除去部306。

供给部303具备第一供给部31及第二供给部32。

第一供给部31具备贮存用以供给至涂布部2的第一涂布液31a的贮存槽。在贮存槽上连接有能够导入氮气等惰性气体的配管31b。配管31b经由阀而连接于加压源(均未图示)，且通过阀的开闭控制来调整贮存槽内的压力。第一供给部31通过贮存槽内的压力调整而向涂布部2供给特定量的第一涂布液31a。第一供给部31能够对第一脱气部41或第二脱气部42供给第一涂布液31a。

第二供给部32具备贮存用以供给至涂布部2的第二涂布液32a的贮存槽。在贮存槽上连接有能够导入氮气等惰性气体的配管32b。配管32b经由阀而连接于加压源(均未图示)，且通过阀的开闭控制来调整贮存槽内的压力。第二供给部32通过贮存槽内的压力调整而向涂布部2供给特定量的第二涂布液32a。第二供给部32能够对第三脱气部43或第四脱气部44供给第二涂布液32a。

例如，第一涂布液31a及第二涂布液32a使用用以形成树脂基板及层间绝缘膜等的液状体。在本实施方式中，使用彼此不同种类的涂布液作为第一涂布液31a及第二涂布液32a。此外，也可使用彼此相同种类的涂布液作为第一涂布液31a及第二涂布液32a。

涂布装置301具备形成第一涂布液31a及第二涂布液32a的流路的多个配管101a、 101b、102a、102b等。如上所述，第一涂布液31a从第一供给部31向涂布部2流动，第二涂布液32a从第二供给部32向涂布部2流动。以下，在第一涂布液31a及第二涂布液32a流动的方向上，有时将第一供给部31及第二供给部32侧称为“上游侧”，将涂布部2侧称为“下游侧”。

切换部305具备三向阀5b、5c、第一三向阀51及第二三向阀52。本实施方式的切换部305不具备三向阀5a。

第一三向阀51具备第一三向阀51a、51b、51c。

第一三向阀51a对从配管102a侧(第一供给部31)向配管103a侧(第一脱气部41)或配管103b侧(第二脱气部42)的第一涂布液31a的供给进行切换。

第一三向阀51b对从配管108a侧(第一脱气部41)或配管108b侧(第二脱气部42)向配管108侧(涂布部2)的第一涂布液31a的供给进行切换。

第一三向阀51c对配管106a侧(第一脱气部41)或配管106b侧(第二脱气部42)的第一涂布液31a的脱气进行切换。

第二三向阀52具备第二三向阀52a、52b、52c。

第二三向阀52a对从配管102b侧(第二供给部32)向配管104a侧(第三脱气部43)或配管104b侧(第四脱气部44)的第二涂布液32a的供给进行切换。

第二三向阀52b对从配管109a侧(第三脱气部43)或配管109b侧(第四脱气部44)向配管109侧(涂布部2)的第二涂布液32a的供给进行切换。

第二三向阀52c对配管107a侧(第三脱气部43)或配管107b侧(第四脱气部44)的第二涂布液32a的脱气进行切换。

除去部306具备第一过滤器306a及第二过滤器306b。

第一过滤器306a是除去第一涂布液31a中包含的异物，且设置在第一供给部31与第一三向阀51a之间的流路上。

第二过滤器306b是除去第二涂布液32a中包含的异物，且设置在第二供给部32与第二三向阀52a之间的流路上。

第一脱气部41从上游侧依序经由配管101a、第一过滤器306a、配管102a、第一三向阀51a及配管103a而连接于第一供给部31。

第二脱气部42从上游侧依序经由配管101a、第一过滤器306a、配管102a、第一三向阀51a及配管103b而连接于第一供给部31。

第三脱气部43从上游侧依序经由配管101b、第二过滤器306b、配管102b、第二三向阀52a及配管104a而连接于第二供给部32。

第四脱气部44从上游侧依序经由配管101b、第二过滤器306b、配管102b、第二三向阀52a及配管104b而连接于第二供给部32。

在脱气部204，连接有在真空状态下进行第一涂布液31a及第二涂布液32a的脱气的真空泵7。

通过三向阀5c的切换，进行配管106侧(第一脱气部41或第二脱气部42)的第一涂布液31a或配管107侧(第三脱气部43或第四脱气部44)的第二涂布液32a的脱气。

通过三向阀5b的切换，向配管110侧(涂布部2)供给配管108侧(第一脱气部41或第二脱气部42)的第一涂布液31a或配管109侧(第三脱气部43或第四脱气部44)的第二涂布液32a。

如图12所示，在收容部20内，引绕有将涂布装置301的构成要素加以连结的多个配管(例如将第一供给部31、第二供给部32、第一过滤器306a、第二过滤器306b、第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44加以连结的配管101a、101b、102a、102b、103a、103b、104a、104b、108、108a、108b、109、109a、109b、110等)。为方便起见，图12中省略图示，但在收容部20内，也收容真空泵7、三向阀5b、5c、第一三向阀51a、51b、51c、第二三向阀52a、52b、52c及将它们加以连结的配管105、106、106a、106b、107、107a、107b等。

＜涂布方法＞

接下来，对本实施方式的涂布方法进行说明。本实施方式中，使用所述涂布装置301对基板70涂布第一涂布液31a及第二涂布液32a。在涂布装置301的各部执行的动作是由控制部15控制。此外，在本实施方式的涂布方法中，对与第一实施方式相同的方法省略其详细的说明。

图13是用以说明第三实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部41进行第一涂布液31a的脱气并且由第三脱气部43及第四脱气部44进行第二涂布液32a的脱气，一面由第二脱气部42进行第一涂布液31a的供给的例子的图。

如图13所示，在切换步骤中，控制部15将第一三向阀51a的配管102a侧设为“开”，将配管103a侧设为“闭”，将配管103b侧设为“开”，且使配管102a与配管103b连通。

由此，来自第一供给部31的第一涂布液31a通过配管101a、第一过滤器306a、配管102a、第一三向阀51a及配管103b而供给至第二脱气部42。

此时，第一三向阀51a的配管103a侧关闭，因此未对第一脱气部41供给涂布液3a。

在切换步骤中，控制部15将第一三向阀51b的配管108a侧设为“闭”，将配管108b侧设为“开”，将配管108侧设为“开”，且使配管108b与配管108连通。

另外，控制部15将三向阀5b的配管108侧设为“开”，将配管109侧设为“闭”，将配管110侧设为“开”，且使配管108与配管110连通。

另外，控制部15将电磁阀13a～13d设为“开”，并且将三向阀14的配管114侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，将配管122侧设为“闭”，且使配管110～118连通。

由此，供给至第二脱气部42的第一涂布液31a通过配管108b、第一三向阀51b、配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

此时，第一三向阀51b的配管108a侧关闭，因此未对第一脱气部41供给第一涂布液31a。另外，三向阀5b的配管109侧关闭，因此也未对第三脱气部43及第四脱气部44供给第一涂布液31a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5c的105侧设为“开”，将配管106侧设为“开”，将配管107侧设为“开”，且使配管105、配管106及配管107连通。

另外，控制部15将第一三向阀51c的配管106侧设为“开”，将配管106a侧设为“开”，将配管106b侧设为“闭”，且使配管106与配管106a连通。

另外，控制部15将第二三向阀52c的配管107侧设为“开”，将配管107a侧设为“开”，将配管107b侧设为“开”，且使配管107、配管107a及配管107b连通。

由此，如果驱动真空泵7，那么进行第一脱气部41的第一涂布液31a的脱气，并且进行第三脱气部43及第四脱气部44的第二涂布液32a的脱气。

此时，第一三向阀51c的配管106b侧关闭，因此未进行第二脱气部42的第一涂布液31a的脱气。

这样，通过对第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44进行切换，在闭合的流路内由第一脱气部41进行第一涂布液31a的脱气并且由第三脱气部43及第四脱气部44进行第二涂布液32a的脱气期间，从第二脱气部42对涂布部2供给第一涂布液31a。

图14是用以说明第三实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部41及第二脱气部42进行第一涂布液31a的脱气并且由第三脱气部43进行第二涂布液32a的脱气，一面由第四脱气部44进行第二涂布液32a的供给的例子的图。

如图14所示，在切换步骤中，控制部15将第二三向阀52a的配管102b侧设为“开”，将104a侧设为“闭”，将配管104b侧设为“开”，且使配管102b与配管104b连通。

由此，来自第二供给部32的第二涂布液32a通过配管101b、第二过滤器306b、配管102b、第二三向阀52a及配管104b而供给至第四脱气部44。

此时，第二三向阀52a的配管104a侧关闭，因此未对第三脱气部43供给第二涂布 液32a。

在切换步骤中，控制部15将第二三向阀52b的配管109a侧设为“闭”，将配管109b侧设为“开”，将配管109侧设为“开”，且使配管109b与配管109连通。

另外，控制部15将三向阀5b的配管108侧设为“闭”，将配管109侧设为“开”，将配管110侧设为“开”，且使配管109与配管110连通。

另外，控制部15将电磁阀13a～13d设为“开”，并且将三向阀14的配管114侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，将配管122侧设为“闭”，且使配管110～118连通。

由此，供给至第四脱气部44的第二涂布液32a通过配管109b、第二三向阀52b、配管109、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

此时，三向阀5b的配管108侧关闭，因此未对第一脱气部41及第二脱气部42供给第二涂布液32a。另外，第二三向阀52b的配管109a侧关闭，因此未对第三脱气部43供给第二涂布液32a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5c的105侧设为“开”，将配管106侧设为“开”，将配管107侧设为“开”，且使配管105、配管106及配管107连通。

另外，控制部15将第一三向阀51c的配管106侧设为“开”，将配管106a侧设为“开”，将配管106b侧设为“开”，且使配管106、配管106a及配管106b连通。

另外，控制部15将第二三向阀52c的配管107侧设为“开”，将配管107a侧设为“开”，将配管107b侧设为“闭”，且使配管107与配管107a连通。

由此，如果驱动真空泵7，那么进行第一脱气部41及第二脱气部42的第一涂布液31a的脱气，并且进行第三脱气部43的第二涂布液32a的脱气。

此时，第二三向阀52c的配管107b侧关闭，因此未进行第四脱气部44的第二涂布液32a的脱气。

这样，通过对第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44进行切换，在闭合的流路内由第一脱气部41及第二脱气部42进行第一涂布液31a的脱气并且由第三脱气部43进行第二涂布液32a的脱气期间，从第四脱气部44对涂布部2供给第二涂布液32a。

图15是用以说明第三实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第三脱气部43及第四脱气部44进行第二涂布液32a的脱气、一面由第一脱气部41及第二脱气部42进行第一涂布液31a的供给的例子的图。

如图15所示，在切换步骤中，控制部15将第一三向阀51a的配管102a侧设为“开”，将配管103a侧设为“开”，将配管103b侧设为“开”，且使配管102a、配管103a及配 管103b连通。

由此，来自第一供给部31的第一涂布液31a通过配管101a、第一过滤器306a、配管102a、第一三向阀51a及配管103a而供给至第一脱气部41。

另外，来自第一供给部31的第一涂布液31a通过配管101a、第一过滤器306a、配管102a、第一三向阀51a及配管103b而供给至第二脱气部42。

在切换步骤中，控制部15将第一三向阀51b的配管108a侧设为“开”，将配管108b侧设为“开”，将配管108侧设为“开”，且使配管108a、配管108b及配管108连通。

另外，控制部15将三向阀5b的配管108侧设为“开”，将配管109侧设为“闭”，将配管110侧设为“开”，且使配管108与配管110连通。

另外，控制部15将电磁阀13a～13d设为“开”，并且将三向阀14的配管114侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，将配管122侧设为“闭”，且使配管110～118连通。

由此，供给至第一脱气部41的第一涂布液31a通过配管108a、第一三向阀51b、配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

另外，供给至第二脱气部42的第一涂布液31a通过配管108b、第一三向阀51b、配管108、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

此时，三向阀5b的配管109侧关闭，因此未对第三脱气部43及第四脱气部44供给第一涂布液31a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5c的105侧设为“开”，将配管106侧设为“闭”，将配管107侧设为“开”，且使配管105与配管107连通。

另外，控制部15将第二三向阀52c的配管107侧设为“开”，将配管107a侧设为“开”，将配管107b侧设为“开”，且使配管107、配管107a及配管107b连通。

由此，如果驱动真空泵7，那么进行第三脱气部43及第四脱气部44的第二涂布液32a的脱气。

此时，三向阀5c的配管106侧关闭，因此未进行第一脱气部41及第二脱气部42的第一涂布液31a的脱气。

这样，通过对第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44进行切换，在闭合的流路内由第三脱气部43及第四脱气部44进行第二涂布液32a的脱气期间，从第一脱气部41及第二脱气部42对涂布部2供给第一涂布液31a。

图16是用以说明第三实施方式的涂布方法的切换步骤的图，且是表示一面由第一脱气部41及第二脱气部42进行第一涂布液31a的脱气、一面由第三脱气部43及第四脱气部44进行第二涂布液32a的供给的例子的图。

如图16所示，在切换步骤中，控制部15将第二三向阀52a的配管102b侧设为“开”，将配管104a侧设为“开”，将配管104b侧设为“开”，且使配管102b、配管104a及配管104b连通。

由此，来自第二供给部32的第二涂布液32a通过配管101b、第二过滤器306b、配管102b、第二三向阀52a及配管104a而供给至第三脱气部43。

另外，来自第二供给部32的第二涂布液32a通过配管101b、第二过滤器306b、配管102b、第二三向阀52a及配管104b而供给至第四脱气部44。

在切换步骤中，控制部15将第二三向阀52b的配管109a侧设为“开”，将配管109b侧设为“开”，将配管109侧设为“开”，且使配管109a、配管109b及配管109连通。

另外，控制部15将三向阀5b的配管108侧设为“闭”，将配管109侧设为“开”，将配管110侧设为“开”，且使配管109与配管110连通。

另外，控制部15将电磁阀13a～13d设为“开”，并且将三向阀14的配管114侧设为“开”，将配管115侧设为“开”，将配管122侧设为“闭”，且使配管110～118连通。

由此，供给至第三脱气部43的第二涂布液32a通过配管109a、第二三向阀52b、配管109、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

另外，供给至第四脱气部44之第二涂布液32a通过配管109b、第二三向阀52b、配管109、三向阀5b、配管110、电磁阀13a、配管111、压送泵10等而供给至涂布部2。

此时，三向阀5b的配管108侧关闭，因此未对第一脱气部41及第二脱气部42供给第二涂布液32a。

在切换步骤中，控制部15将三向阀5c的105侧设为“开”，将配管106侧设为“开”，将配管107侧设为“闭”，且使配管105与配管106连通。

另外，控制部15将第一三向阀51c的配管106侧设为“开”，将配管106a侧设为“开”，将配管106b侧设为“开”，且使配管106、配管106a及配管106b连通。

由此，如果驱动真空泵7，那么进行第一脱气部41及第二脱气部42的第一涂布液31a的脱气。

此时，三向阀5c的配管107侧关闭，因此未进行第三脱气部43及第四脱气部44的第二涂布液32a的脱气。

这样，通过对第一脱气部41、第二脱气部42、第三脱气部43及第四脱气部44进行切换，在闭合的流路内由第一脱气部41及第二脱气部42进行第一涂布液31a的脱气期间，从第三脱气部43及第四脱气部44对涂布部2供给第二涂布液32a。

如以上所述，根据本实施方式，供给部303具备供给第一涂布液31a的第一供给部 31及供给第二涂布液32a的第二供给部32，由此能够使用彼此不同种类的涂布液作为第一涂布液31a及第二涂布液32a，因此，能够一面进行脱气处理，一面对基板70连续地涂布不同种类的涂布液。另外，通过使用彼此相同种类的涂布液作为第一涂布液31a及第二涂布液32a，与仅具备一个供给部的情况相比较，能够确保用于涂布处理的涂布液的容量较多。因此，即便在第一供给部31的涂布液消失的情况下，也能够供给第二供给部32的涂布液，从而能够一面进行脱气处理，一面对基板70连续地涂布相同种类的涂布液。

另外，第一供给部31能够对第一脱气部41或第二脱气部42供给第一涂布液31a，第二供给部32能够对第三脱气部43或第四脱气部44供给第二涂布液32a，因此，能够一面由第一脱气部41进行第一涂布液31a的脱气处理，一面由第二脱气部42对涂布部2供给第一涂布液31a而进行涂布处理，并且一面由第三脱气部43进行第二涂布液32a的脱气处理，一面由第四脱气部44对涂布部2供给第二涂布液32a而进行涂布处理。因此，能够连续且稳定地进行脱气处理以及第一涂布液31a及第二涂布液32a的涂布处理。

此外，在上述例子中所示的各构成部件的各形状或组合等为一例，能够根据设计要求等而进行多种变更。

例如，在所述实施方式中，使用狭缝型的喷嘴2a作为涂布部2，但并不限于此，也可使用中央滴下型的涂布部，还可使用喷墨型的涂布部。另外，也可为使用刮刀等使配置在基板70上的液状体扩散而进行涂布的构成。

另外，在所述实施方式中，使用两个或四个脱气部作为脱气部，但并不限于此，也可使用六个以上的多个脱气部。但是，从以使用有三向阀的简单构成对脱气部进行切换的观点来说，优选使用两个或四个脱气部。

此外，在以上所述中作为实施方式或其变化例记载的各构成要素能够在不脱离本发明主旨的范围内适当组合，而且，也能够不适当使用所组合的多个构成要素中的一部分构成要素。

[符号的说明]

1、201、301 涂布装置

2 涂布部

2a 喷嘴

3、303 供给部

5 切换部

5a、5b、5c 三向阀

6、306 除去部

6a 过滤器

7 真空泵

8 回收部

9 循环部

20 收容部

20a 载置部

31 第一供给部

32 第二供给部

41 第一脱气部

42 第二脱气部

43 第三脱气部

44 第四脱气部

51 第一三向阀

52 第二三向阀

60 移动装置

62 升降部

70 基板(涂布对象)

71 保持部

72 支撑部

100 涂布系统。