技术总结
本发明涉及一种涂布装置、涂布系统及涂布方法，能够一面进行脱气处理，一面连续地进行涂布处理，从而谋求生产效率的提高。所述涂布装置具备：涂布部，将涂布液涂布于涂布对象；供给部，对所述涂布部供给所述涂布液；第一脱气部及第二脱气部，进行所述涂布液的脱气；以及切换部，以在由所述第一脱气部进行所述脱气期间从所述第二脱气部向所述涂布部供给所述涂布液的方式，对所述第一脱气部及所述第二脱气部进行切换。
技术研发人员：高濑真治
受保护的技术使用者：东京应化工业株式会社
文档号码：201610305545
技术研发日：2016.05.10
技术公布日：2016.11.23