技术编号：11800485
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于金属合金的超精密加工技术领域，涉及金属合金研磨和化学机械抛光的超精密加工方法，特别涉及钛合金研磨及超精密抛光方法。背景技术钛合金由于具有比重轻、比强度高、耐腐蚀性强及生物相容性好等优点，广泛应用于航空、航天、海洋、电力、石油化工、通讯、轻工、医疗等领域。钛与氧、氮、碳有极强的亲和性，容易形成钝化膜，化学性质稳定。由于与氧元素的亲和力强，钛合金的加工容易发生氧化，形成表层的陶瓷膜，加剧刀具磨损；此外，容易与高速钢等含C元素的切削刀具以及金刚石砂轮反应，使得刀具和砂轮磨损加剧，导致加工精度...
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