一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置与流程技术资料下载

技术编号:11811007

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本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置。背景技术目前,蒸镀工艺过程中多采用超精细掩膜版来将有机发光材料蒸镀在基板的规定位置,超精细掩膜版的平坦度直接影响蒸镀的效果,面板的分辨率越高,所需的超精细掩膜版越精细,进而,对超精细掩膜版的平坦度要求越高。现有技术中,如图1所示,超精细掩膜版都是由多个子掩膜版11拼接而成并分别固定在掩膜版框架12上。然而,若希望每个子掩膜版的平坦度较高,需要采用张网方式对每个子掩膜版进行拉伸处理,具体地,现有的子掩膜版张网方式中张网...
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