一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置。

背景技术：

目前，蒸镀工艺过程中多采用超精细掩膜版来将有机发光材料蒸镀在基板的规定位置，超精细掩膜版的平坦度直接影响蒸镀的效果，面板的分辨率越高，所需的超精细掩膜版越精细，进而，对超精细掩膜版的平坦度要求越高。

现有技术中，如图1所示，超精细掩膜版都是由多个子掩膜版11拼接而成并分别固定在掩膜版框架12上。然而，若希望每个子掩膜版的平坦度较高，需要采用张网方式对每个子掩膜版进行拉伸处理，具体地，现有的子掩膜版张网方式中张网机夹持在子掩膜版的四个夹持区域，通过张网机的水平拉力来拉伸子掩膜版，并用激光将子掩膜版焊接在掩膜版框架上。如图2所示，张网机与子掩膜版21四个边角处的夹持区域A接触，此接触区域A即为子掩膜版21的受力区域，通过对子掩膜版21的受力分析可知，此时子掩膜版21主要受张网机的水平拉力F1以及对向水平拉力F2，拉力在子掩膜版21内通过介质材料的传递扩散，使得子掩膜版21的受力张紧。从图2可以看出，子掩膜版的长边左右两侧受力较大，对应较大的形变，中间受力较小，对应较小的形变，由于长边延伸方向的受力而导致短边延伸方向形变，甚至出现贯通整个子掩膜版的褶皱，严重影响子掩膜版的平坦度，从而对后续蒸镀过程产生影响，降低产品良率。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置，用以解决现有技术中存在的采用现有张网方案而导致子掩膜版出现褶皱的问题。

本发明实施例采用以下技术方案：

一种子掩膜版的张网方法，所述方法包括：

张网机夹持位于待张网的子掩膜版四个边角处的夹持区域，并在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版；

在所述子掩膜版的平坦度达到预设准值时，将所述子掩膜版固定到所述掩膜版框架上，所述张网机停止拉伸。

可选地，在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版，具体包括：

在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向以所述子掩膜版的中心对称拉伸所述子掩膜版。

可选地，在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版，具体包括：

针对至少两个夹持区域，在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向以所述子掩膜版的中心所在轴线对称拉伸所述子掩膜版。

可选地，所述预设拉力在所述子掩膜版的短边延伸方向的分力随着所述子掩膜版的尺寸之比值的减小而减小；

其中，所述子掩膜版的尺寸之比值为所述子掩膜版的短边与长边之比值。

可选地，在拉伸过程中，所述预设拉力在所述子掩膜版的短边延伸方向的分力恒定。

可选地，所述张网机以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版，具体包括：

所述张网机以变化的预设拉力沿着变化的预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版；或者，

所述张网机以固定的预设拉力沿着固定的预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版。

可选地，在拉伸过程中，所述预设拉力在所述子掩膜版的短边延伸方向的分力逐渐减小。

可选地，所述张网机以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版，具体包括：

所述张网机以固定的预设拉力沿着逐渐减小的预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版，或者，

所述张网机以逐渐减小的预设拉力沿着固定的预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版。

可选地，所述预设夹角的取值范围为大于0°小于90°。

一种掩膜版，包括：掩膜版框架，以及固定在所述掩膜版框架上的多个子掩膜版，其中，所述子掩膜版利用所述的张网方法得到。

可选地，所述子掩膜版的材质为金属。

一种基板，利用所述的掩膜版制作而成。

一种显示装置，包括所述的基板。

本发明有益效果如下：

通过该方案，张网机夹持位于待张网的子掩膜版的四个边角处的夹持区域，且在该子掩膜版所在平面以预设拉力沿与该子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸该子掩膜版，从而，保证子掩膜版的短边延伸方向也具有分力，使得子掩膜版不仅在该子掩膜版的长边延伸方向被拉伸，还在该子掩膜版的短边延伸方向被拉伸，进而，减小子掩膜版的褶皱现象，提升子掩膜版的平坦度，且易实现。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中的超精细掩膜版的结构示意图；

图2为现有技术中利用张网方式拉伸子掩膜版的原理示意图；

图3为本发明所涉及的子掩膜版的张网方法的流程图；

图4(a)-4(b)为本发明中利用张网方式拉伸子掩膜版的原理示意图；

图5为本发明任一夹持区域的受力分析示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

下面通过具体的实施例对本发明所涉及的技术方案进行详细描述，本发明包括但并不限于以下实施例。

如图3所示，为本发明所涉及的子掩膜版的张网方法的流程图，该方法主要包括以下步骤：

步骤31：张网机夹持位于待张网的子掩膜版四个边角处的夹持区域，并在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版；

步骤32：在所述子掩膜版平坦度达到预设准值时，将所述子掩膜版固定到所述掩膜版框架上，所述张网机停止拉伸。

其中，平坦度的预设准值可以根据经验值设定，而对于子掩膜版的平坦度，可实时进行监测，即在施力过程中，通过传感器实时获取施力所造成的子掩膜版的表面的平坦度，分析比较是否达到预设准值，若是，则说明子掩膜版的平坦度已经达到饱和，下垂以及褶皱现象已经被减小到最低，因此，可以通过激光将子掩膜版焊接固定到掩膜版框架上。随后，按照现有的方式切割夹持区域，并进行修整。若否，则需要进一步执行施力操作，直至平坦度达到预设准值位置。

需要说明的是，本发明所涉及的张网机可以为现有技术中的张网机，而张网机用于夹持子掩膜版的四个夹持区域的夹持机构，可以由能够改变方向的转轴控制，以实现预设拉力的方向的改变。

参照图4(a)所示，张网机夹持位于待张网的子掩膜版41的四个边角处的夹持区域A，且在该子掩膜版41所在平面以预设拉力F沿与该子掩膜版41的长边延伸方向(X方向)具有预设夹角θ的方向拉伸该子掩膜版41，从而，保证子掩膜版41的短边延伸方向(Y方向)也具有分力，使得子掩膜版41不仅在该子掩膜版41的长边延伸方向被拉伸，还在该子掩膜版41的短边延伸方向被拉伸，进而，减小子掩膜版41的褶皱现象，提升子掩膜版的平坦度。

在上述张网方案中，每个夹持区域的施力情况可以不同，然而，为了提升张网后的平坦度，可选地，步骤31具体执行为：在子掩膜版所在平面以预设拉力沿与子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向以子掩膜版的中心对称拉伸子掩膜版。其中，对称拉伸是指每个夹持区域的预设拉力都相同，且预设夹角也相同。其实，考虑到精细掩膜版的类型，其厚度相对轻薄，在拉伸过程中，对称拉伸能够更好的保证张网实现，且避免出现不均匀拉伸而导致的断裂等问题。

此外，步骤31还可以执行为：针对至少两个夹持区域，在子掩膜版所在平面以预设拉力沿与子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向以子掩膜版的中心所在轴线对称拉伸子掩膜版。例如，参照图4(b)所示，仅对子掩膜版的左边两个夹持区域进行具有预设夹角的拉伸操作，且以子掩膜版的中心所在轴线M对称拉伸，而右边两个夹持区域按照现有技术进行拉伸。或者，仅对子掩膜版的上边两个夹持区域进行具有预设夹角的拉伸操作，且以子掩膜版的中心所在轴线(Y方向轴线)对称拉伸，而下边两个夹持区域按照现有技术进行拉伸。考虑到子掩膜版的厚度较薄，因此，可合理设置预设拉力大小以避免子掩膜版在拉伸过程中发生断裂。

另外，考虑到不同精细掩膜版的尺寸不同，其涵盖的子掩膜版的尺寸也不相同。因此，可选地，预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力随着子掩膜版的尺寸之比值的减小而减小；其中，子掩膜版的尺寸之比值为子掩膜版的短边与长边之比值。举例说明，针对短边与长边之比为1/5的子掩膜版，在夹持区域施加的较为合适的预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力为f1；针对短边与长边之比为1/6的子掩膜版，在夹持区域施加的较为合适的预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力为f1*4/5。或者，针对短边与长边之比为1/5的子掩膜版，在夹持区域施加的较为合适的预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力为f1；针对短边与长边之比为1/6的子掩膜版，在夹持区域施加的较为合适的预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力为f1*5/6。其中，这里列举的数值仅是为了示意，其具体的比例关系需要根据子掩膜版实际的尺寸以及材质来确定。

在本发明实施例中，通过上述方案可知，只要是至少一个夹持区域的预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向有分力，即可改善子掩膜版在张网过程中产生的褶皱问题。优选地，可以使得四个夹持区域的预设拉力都在子掩膜版的短边延伸方向产生分力，这样，可更为有效的提升改善效果。具体地，实现的方式较为灵活，可以为：张网机以不变的预设拉力沿着变化的预设夹角拉伸子掩膜版，或者，张网机以变化的预设拉力沿着不变的预设夹角拉伸子掩膜版，或者，张网机以变化的预设拉力沿着变化的预设夹角拉伸子掩膜版，或者，张网机以不变的预设拉力沿着不变的预设夹角拉伸子掩膜版。其中，预设拉力的不变或者变化均指预设拉力的大小；而且，张网机的预设拉力可以预先设定一个起始值，变化的预设拉力在该起始值下开始变大或变小；预设夹角类似，也可以预先设定一个起始值。

一种较佳的实现方案，无论是不对称拉伸还是对称拉伸，在拉伸过程中，预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力恒定。从而，保证拉伸平稳性。

具体地，若希望预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力恒定，则可以通过以下两种方式实现：

方式一：张网机以变化的预设拉力沿着变化的预设夹角的方向拉伸子掩膜版。

具体地，参照如图5所示的任一夹持区域的受力分析示意图，张网机控制其施加的预设拉力F的大小，其变化趋势可以为逐渐变大，或，逐渐变小，或不规则变化；相应的，预设拉力F与子掩膜版的长边延伸方向的预设夹角θ需要与预设拉力F相互配合，以保证预设拉力F在子掩膜版的短边延伸方向的分力fy恒定。其实，可以存在以下公式：

预设拉力F在子掩膜版的短边延伸方向的分力：fy＝F*sinθ；

预设拉力F在子掩膜版的长边延伸方向的分力：fx＝F*cosθ。

在本申请中，对于分力fx并不关心，其大小可以恒定，也可以不恒定，并不会影响改善短边延伸方向出现的褶皱现象。因而，对于fy＝F*sinθ而言，若希望fy恒定，F与sinθ成反比，在方式一中，由于预设拉力与预设夹角都是变化的，且考虑到两者之间的反比关系，因此，F与sinθ始终相互配合变化，例如，若预设拉力由F变为F/2，则预设夹角的正弦值变为2sinθ。另外，由于预设拉力以及预设夹角可以随机定义初始值，因此，需要注意的是，在这种情况下，则必须确定一基准参数，例如，可以先设定预设拉力为某一初始值，那么，预设夹角的初始值就可以根据预设拉力选取的初始值进行选取。

通过该方式一，可实现多种方式的张网施力方式，提升张网方案的灵活性，同时，减小了张网后子掩膜版的褶皱问题，提升子掩膜版的平坦度。

方式二：张网机以固定的预设拉力沿着固定的预设夹角的方向拉伸子掩膜版。

如图5所示，对于fy＝F*sinθ而言，若希望fy恒定，F与sinθ成反比，在方式二中，由于预设拉力与预设夹角都是固定不变的，且考虑到两者之间的反比关系，因此，F与sinθ始终相互配合变化，例如，若确定预设拉力为F/2，则预设夹角的正弦值选取为2sinθ，且在整个张网过程中不改变预设拉力的大小及方向。但是，针对不同的子掩膜版所进行张网时施加的预设拉力可以不同，但是，一旦张网所进行的拉伸操作开始，预设拉力以及预设夹角就不会变化。

该方式二所涉及的张网方式较为简单，且易实现子掩膜版的张网的量产，同时，减小了张网后子掩膜版的褶皱问题，提升子掩膜版的平坦度。

另一种较佳的实现方案，在拉伸过程中，预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力逐渐减小。其实，考虑到拉伸过程是一个逐渐趋于完成的过程，因此，拉伸所需的预设拉力应在该过程中逐渐减小，才符合拉伸规律，而且，由于子掩膜版逐渐变薄，后面拉伸所需的预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力可根据平坦度的提升而逐渐减小，从而，避免拉伸过度而导致子掩膜版断裂。

具体地，仍参照公式fy＝F*sinθ，若希望预设拉力在子掩膜版的短边延伸方向的分力逐渐减小，则可以通过以下两种方式实现：

方式三：张网机以固定的预设拉力沿着逐渐减小的预设夹角的方向拉伸子掩膜版。

参照图5所示，张网机施加的预设拉力的大小不变，仍以预设拉力大小是F为例；初始时的预设夹角可以在取值范围内任意设置，例如，可以设置初始预设夹角θ为60°，该预设夹角以相同步长或不同步长逐渐减小。从而，有利用于寻找预设夹角与子掩膜版之间的关系，简化操作及设备结构，降低张网成本。另外，该方案保证子掩膜版的短边方向的拉伸均匀减小至消失，避免子掩膜版断裂。

方式四：张网机以逐渐减小的预设拉力沿着固定的预设夹角的方向拉伸子掩膜版。

参照图5所示，张网机施加的预设拉力的大小以相同步长或不同步长逐渐减小；预设夹角则不发生变化。例如，可以通过经验值或随机设定预设夹角为一个固定角度θ，预设拉力则由F开始减小。该方式四保证子掩膜版的长边以及短边两个方向的拉伸都均匀的减小至消失，进而，避免子掩膜版在拉伸已经较为充分的情况下由于继续增大拉伸力而发生断裂。

可选地，考虑到需要在子掩膜版的短边延伸方向产生分力，因此，预设夹角的取值范围为大于0°小于90°。需要说明的是，此处的预设夹角均指锐角，不考虑长边延伸的左右两个方向，仅考虑与长边具有锐角形式的预设夹角。

此外，本发明实施例还提供了一种掩膜版，该掩膜版主要包括：掩膜版框架，以及固定在掩膜版框架上的多个子掩膜版，其中，子掩膜版利用上述任一种张网方法得到。

可选地，考虑到蒸镀所需的精细掩膜版多采用延展性较好的金属，因此，本发明所涉及的子掩膜版的材质为金属。

另外，还提供了一种面板，该面板利用上述所提供的掩膜版制作而成。可选地，该面板为OLED显示面板。

由于上述掩膜版在张网过程中采用了预设夹角的张网方式，使得在子掩膜版的短边延伸方向也存在分力，从而，减小了子掩膜版的褶皱现象，提升了掩膜版的平坦度，进而，保证利用该掩膜版制作而成的面板的各个膜层的蒸镀品质。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。