一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置与流程

文档序号:11811007阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种子掩膜版的张网方法,其特征在于,所述方法包括:

张网机夹持位于待张网的子掩膜版四个边角处的夹持区域,并在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版;

在所述子掩膜版的平坦度达到预设准值时,将所述子掩膜版固定到所述掩膜版框架上,所述张网机停止拉伸。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版,具体包括:

在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向以所述子掩膜版的中心对称拉伸所述子掩膜版。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版,具体包括:

针对至少两个夹持区域,在所述子掩膜版所在平面以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向以所述子掩膜版的中心所在轴线对称拉伸所述子掩膜版。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设拉力在所述子掩膜版的短边延伸方向的分力随着所述子掩膜版的尺寸之比值的减小而减小;

其中,所述子掩膜版的尺寸之比值为所述子掩膜版的短边与长边之比值。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在拉伸过程中,所述预设拉力在所述子掩膜版的短边延伸方向的分力恒定。

6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述张网机以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版,具体包括:

所述张网机以变化的预设拉力沿着变化的预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版;或者,

所述张网机以固定的预设拉力沿着固定的预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版。

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在拉伸过程中,所述预设拉力在所述子掩膜版的短边延伸方向的分力逐渐减小。

8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述张网机以预设拉力沿与所述子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版,具体包括:

所述张网机以固定的预设拉力沿着逐渐减小的预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版,或者,

所述张网机以逐渐减小的预设拉力沿着固定的预设夹角的方向拉伸所述子掩膜版。

9.如权利要求1-8任一项所述的方法,其特征在于,所述预设夹角的取值范围为大于0°小于90°。

10.一种掩膜版,其特征在于,包括:掩膜版框架,以及固定在所述掩膜版框架上的多个子掩膜版,其中,所述子掩膜版利用权利要求1-9任一项所述的张网方法得到。

11.如权利要求10所述的掩膜版,其特征在于,所述子掩膜版的材质为金属。

12.一种基板,其特征在于,利用权利要求10或11所述的掩膜版制作而成。

13.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求12所述的基板。

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