一种用于固定掩膜版的框架的制作方法

文档序号:11626275阅读:923来源:国知局
一种用于固定掩膜版的框架的制造方法与工艺

本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种用于固定掩膜版的框架。



背景技术:

现有oled(organiclight-emittingdiode,有机发光二极管)显示屏的有机发光层是采用固定到框架(frame)上的掩膜版(mask)作为模具,使有机材料高温挥发以分子状态透过掩膜版的开口蒸镀到玻璃基板上形成的。

现有框架1的结构如图1和图2所示,框架1的顶面11用于固定安装掩膜版2,顶面11安装有掩膜版2的框架1如图1结构所示,在进行蒸镀过程中,框架1的底面12支撑于载台上,玻璃基板设置于掩膜版2的上部,掩膜版2下侧设置有蒸发源,蒸发源对蒸镀材料进行加热,使蒸镀材料受热以分子状态挥发并穿过掩膜版的开口蒸镀到玻璃基板上形成预定图案。

但是,如图3结构所示,目前用于固定掩膜版2的框架1的底面12和外周面13的相交边均为直角边14,在搬运过程中,框架1的底面12的直角边14容易发生磕碰或刮蹭等损伤。当框架1的底面12的直角边14出现损伤后,如图4结构所示,掉落的框架碎屑15形成杂质颗粒,并且框架碎屑15粘连到框架1的底面12边缘时,当框架1被装载到张网机台或者检测机台时,由于底面12不平坦,而使得张网或检测的ccd(图像传感器)在检测框架1表面或者掩膜版2表面时无法对焦,影响张网和检测,易造成掩膜版2和玻璃基板对位不良,进而造成蒸镀不良;另外,如图5结构所示,损伤的直角边14易形成参差不齐的锯齿边16,锯齿边16易将无尘服或无尘布等划伤,从而引入难以去除的线性杂质颗粒,造成蒸镀不良。



技术实现要素:

本发明提供了一种用于固定掩膜版的框架,该框架通过增设在外周面和底面之间的防撞结构,解决了现有框架直角边容易发生磕碰或刮蹭等损伤导致蒸镀不良的问题。

为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:

一种用于固定掩膜版的框架,包括用于固定掩膜版的顶面、与所述顶面相对设置的底面、连接所述顶面与所述底面的内周面、以及与所述内周面相对设置且连接在所述顶面与所述底面之间的外周面;所述内周面围绕形成贯穿所述顶面和底面的通孔;

所述框架设置有连接所述外周面与所述底面的防撞结构,所述防撞结构用于防止所述外周面与所述底面相连的边缘发生损伤。

由于上述框架设置有连接外周面与底面的防撞结构,因此,在制备oled显示屏的蒸镀过程中,上述框架通过防撞结构的避让或保护,能够防止框架下表面的直角边发生磕碰或剐蹭等损伤,在防止框架本身形成杂质颗粒的情况下,还能防止损伤的直角边划伤其它部件而产生更多难以去除的杂质颗粒,进而减小产生蒸镀不良的几率,所以,能够解决了现有框架直角边容易发生磕碰或刮蹭等损伤导致蒸镀不良的问题。

优选地,所述防撞结构为倒角或倒圆。

优选地,所述倒角与所述底面之间形成的开口朝向所述内周面的夹角为110~160°。

优选地,所述夹角为135°

优选地,所述倒角的参数为:2mm~15mm×45°;所述倒圆的半径为2~25mm。

优选地,所述框架在所述底面的投影形状为“回”字形。

优选地,所述框架在所述底面的投影的外轮廓形状为矩形、且尺寸为800mm×900mm。

优选地,所述框架在所述底面的投影的内轮廓形状为矩形、且尺寸为610mm×718mm。

优选地,所述框架采用金属材料制成。

优选地,所述框架采用因瓦合金、不锈钢或镍铁合金制成。

本发明的有益效果:

上述框架通过设置的防撞结构,能够防止框架下表面的直角边发生磕碰或剐蹭等损伤,在防止框架本身形成杂质颗粒的情况下,还能防止损伤的直角边划伤其它部件而产生更多难以去除的杂质颗粒,进而减小产生蒸镀不良的几率。该框架能够解决现有框架直角边容易发生磕碰或刮蹭等损伤导致蒸镀不良的问题。

附图说明

图1为现有技术中固定有掩膜版的框架的结构示意图;

图2为图1中框架的结构示意图;

图3为图1中框架在a-a、b-b处的截面示意图;

图4为现有框架的直角边在损伤后的一种结构示意图;

图5为现有框架的直角边在损伤后的另一种结构示意图;

图6为本发明一种实施例提供的框架的结构示意图;

图7为图6中框架在c-c、d-d处的一种截面示意图;

图8为图6中框架在c-c、d-d处的另一种截面示意图;

图9为图6中框架在c-c、d-d处的另一种截面示意图。

附图标记:

现有技术部分:

1-框架

2-掩膜版

11-顶面

12-底面

13-外周面

14-直角边

15-框架碎屑

16-锯齿边

本发明实施例部分

100-框架

111-顶面

112-底面

113-内周面

1141-第一外周面

1142-台阶面

1143-第二外周面

115-防撞结构

120-通孔

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供了一种用于固定掩膜版的框架,该框架通过增设在外周面和底面之间的防撞结构,解决了现有框架直角边容易发生磕碰或刮蹭等损伤导致蒸镀不良的问题。

其中,请参考图6、图7、图8以及图9,本发明一种实施例提供的用于固定掩膜版的框架100,包括用于固定掩膜版的顶面111、与顶面111相对设置的底面112、连接顶面111与底面112的内周面113、以及与内周面113相对设置且连接在顶面111与底面112之间的外周面;内周面113围绕形成贯穿顶面111和底面112的通孔120;如图6以及图7结构所示,框架100包括顶面111、与顶面111相对设置的底面112、连接顶面111一端和底面112一端的内周面113、连接顶面111另一端和底面112另一端的外周面;内周面113围绕形成使蒸镀材料通过的通孔120;外周面可以由第一外周面1141、台阶面1142和第二外周面1143构成,外周面的具体结构可以根据实际需要进行设置,并不限于图7中的结构形式;

框架100设置有连接外周面与底面112的防撞结构115,防撞结构115用于防止外周面与底面112相连的边缘发生损伤;框架100设置有连接第二外周面1143与底面112的防撞结构115,防撞结构115可以为图7结构所示的倒角等斜面结构,也可以为图8结构所示的倒圆等弧面结构,还可以为图9结构式所示的护角等防护结构或缓冲结构。

上述框架100在用于蒸镀过程中,根据预设图案,在框架100的顶面111固定设置多个掩膜版,框架100的底面112可以放置在运输车等输送系统的载台上,并将框架100放置到蒸镀设备中,在框架100下部设置蒸发源,在掩膜版上侧放置欲进行蒸镀的玻璃基板,蒸发源对蒸镀材料进行加热,高温挥发的蒸镀材料通过掩膜版的开口蒸镀到玻璃基板上以形成预定图案。

由于上述框架100设置有连接外周面与底面112的防撞结构115,因此,在制备oled显示屏的蒸镀过程中,上述框架100可以通过倒角、斜面、倒圆或弧面等防撞结构115进行避让,也可以通过增设对直角边的保护结构或对碰撞等进行缓冲的缓冲结构进行保护,能够防止框架100下表面的直角边发生磕碰或剐蹭等损伤,在防止框架100本身形成杂质颗粒的情况下,还能防止损伤的直角边划伤其它部件而产生更多难以去除的杂质颗粒,进而减小产生蒸镀不良的几率,所以,能够解决了现有框架100直角边容易发生磕碰或刮蹭等损伤导致蒸镀不良的问题。

一种具体的实施方式中,如图7或图8结构所示,防撞结构115可以为倒角或倒圆,在实现本发明要解决的技术问题的情况下,也可以采用连接底面112和第二外周面1143的斜面来代替倒角,同理,还可以采用连接底面112和第二外周面1143的弧面来代替倒圆。同时,还不限于上述斜面、倒角、弧面、倒圆等形式,只要是能够避免形成直角边即可。

具体地,倒角与底面112之间形成的开口朝向内周面113的夹角a为110°~160°。

上述倒角与地面112之间形成的开口朝向内周面113的夹角a为110°~160°,例如,夹角a可以为110°、120°、130°、135°、140°、150°、160°,优选夹角为135°。

当上述防撞结构115采用倒角等斜面时,倒角的参数可以为2mm~15mm×45°,例如:2mm×45°、3mm×45°、4mm×45°、5mm×45°、6mm×45°、7mm×45°、8mm×45°、9mm×45°、10mm×45°、11mm×45°、12mm×45°、13mm×45°、14mm×45°、15mm×45°,倒角的具体参数可以根据框架100的实际尺寸来选择;

并且,当防撞结构115采用倒圆等弧面时,倒圆或弧面的半径可以为2~25mm,例如:2mm、3mm、4mm、5mm、6mm、7mm、8mm、9mm、10mm、11mm、12mm、13mm、14mm、15mm、16mm、17mm、18mm、19mm、20mm、21mm、22mm、23mm、24mm、25mm。

参考图6和图7,框架100在底面112的投影形状为“回”字形,即,构成框架100的四条边框均为相同结构,每条边框的尺寸均可以相同、也可以不同,每条边框的横截面结构可以参考图7、图8和图9。

框架100在底面112的投影的外轮廓形状为矩形、且尺寸为800mm×900mm,即,框架100的长度为800mm或900mm、且框架100的宽度为900mm或800mm,框架100的长度和宽度并不限于前面所列的尺寸,这只是框架100在具体使用过程中的一种具体尺寸,框架100的具体尺寸可以根据实际蒸镀需要进行设计。

同理,框架100在底面112的投影的内轮廓形状为矩形、且尺寸为610mm×718mm,即,通孔120的长度可以为610mm或718mm、且通孔120的宽度可以为718mm或610mm,通孔120的长度和宽度并不限于前面所列的尺寸,这只是在具体使用过程中的一种具体尺寸,通孔120的具体尺寸可以根据实际蒸镀需要进行设计。

在上述各种实施例的基础上,上述框架100可以采用金属材料制成,如因瓦合金、不锈钢或镍铁合金等金属材料,也可以采用非金属材料制成,如陶瓷等材料。

显然,本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

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