一种掩膜版的张网装置、张网方法
【专利摘要】本发明提供一种掩膜版的张网装置、张网方法，属于显示技术领域，其可解决现有的掩膜版由于拉力不均匀而产生褶皱导致红绿蓝器件混色的问题。本发明的掩膜版的张网装置，采用两对第一夹具分别夹住拉伸所述掩膜版的四角，设于相邻的第一夹具之间的多个第二夹具夹住拉伸所述掩膜版的边缘，这样多个第二夹具实现对掩膜版的精确调整和控制，均匀的拉伸，提升张网能力，使掩膜版不易产生褶皱，降低混色，提高显示良率。本发明的掩膜版的张网装置适用于拉伸各种掩膜版，尤其适用于制备小尺寸显示面板的掩膜版。
【专利说明】
一种掩膜版的张网装置、张网方法
技术领域
[0001]本发明属于显示技术领域，具体涉及一种掩膜版的张网装置、张网方法。
【背景技术】
[0002]有机发光二极管(Organic Light Emitting D1de，0LED)显示装置具有轻薄，低功耗，高对比度，高色域，可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。
[0003]OLED显示装置包括被动式有机电激发光二极管(PMOLED)和有源矩阵有机发光二极体(AMOLED)两种，其中AMOLED的实现方式包括:低温多晶硅(LTPS)背板+精细金属掩膜(FMM Mask)方式，和氧化物(Oxide)背板+白色OLED背光(WOLED)+彩膜的方式。前者主要适用于小尺寸面板，多用于移动显示装置和手机；后者主要适用于大尺寸面板，多用于Moni tor和电视等。
[0004]目前LTPS背板+FMMMask的方式已经初步成熟，实现了量产。LTPS背板+FMM Mask是通过蒸镀方式将OLED的材料按照预定程序蒸镀到LTPS背板上，其利用FMM上的图形，在LTPS背板上形成红绿蓝器件。
[0005]发明人发现现有技术中至少存在如下问题:FMM在张网拉伸的过程中经常会由于拉力不均匀而产生褶皱，使得FMM上的图形难以与LTPS背板上预先设定的对应位置精确对位，从而导致形成在LTPS背板上的红绿蓝器件混色，影响显示。
【发明内容】
[0006]本发明针对现有的掩膜版张网过程中由于拉力不均匀而产生褶皱导致红绿蓝器件混色的问题，提供一种掩膜版的张网装置、张网方法。
[0007 ]解决本发明技术问题所采用的技术方案是:
[0008]—种掩膜版的张网装置，包括夹具单元，所述夹具单元包括:
[0009]两对第一夹具，分别用于夹住拉伸所述掩膜版的四角；
[0010]相邻的所述第一夹具之间设有多个第二夹具，用于夹住拉伸所述掩膜版的边缘。
[0011]优选的是，所述第一夹具与所述掩膜版的接触面积大于所述第二夹具与所述掩膜版的接触面积。
[0012]优选的是，所述掩膜版深入所述第二夹具的方向上的尺寸与所述掩膜版深入每个第一夹具的方向上的尺寸相同；在垂直于所述深入的方向上，所述第一夹具的尺寸大于所述第二夹具的尺寸。
[0013]优选的是，所述张网装置还包括测量单元和调整单元:
[0014]所述测量单元用于检测掩膜版的平坦度;并将检测结果反馈调整单元；
[0015]所述调整单元与所述第一夹具和第二夹具连接，并根据所述测量单元反馈的结果，控制所述第一夹具和第二夹具将所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。
[0016]优选的是，所述测量单元为光耦合扫描器。
[0017]优选的是，所述张网装置还包括用于固定掩膜版的加载孔，所述加载孔设于所述掩膜版的上方。
[0018]优选的是，所述相邻的第二夹具之间的掩膜版具有开口，远离所述加载孔的第二夹具的开口小于靠近所述加载孔的第二夹具的开口。
[0019]本发明还提供一种掩膜版的张网方法，采用上述的掩膜版的张网装置进行张网。
[0020]优选的是，所述张网方法包括以下步骤:
[0021 ]采用第一夹具夹住掩膜版的四角对掩膜版进行初拉伸；
[0022]采用第二夹具夹住掩膜版的边缘;所述测量单元检测掩膜版的平坦度，并将检测结果反馈调整单元；
[0023]所述调整单元根据所述检测结果，控制所述第一夹具和第二夹具将所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。
[0024]本发明的掩膜版的张网装置，采用两对第一夹具分别夹住拉伸所述掩膜版的四角，设于相邻的第一夹具之间的多个第二夹具夹住拉伸所述掩膜版的边缘，这样多个第二夹具实现对掩膜版的精确调整和控制，均匀的拉伸，提升张网能力，使掩膜版不易产生褶皱，降低混色，提高显示良率。本发明的掩膜版的张网装置适用于拉伸各种掩膜版，尤其适用于制备小尺寸显示面板的掩膜版。
【附图说明】
[0025]图1为本发明的实施例1的掩膜版的张网装置结构示意图；
[0026]图2为本发明的实施例2的掩膜版的张网装置的示意图；
[0027]图3为本发明的实施例2的掩膜版的张网装置的结构示意图；
[0028]图4为本发明的实施例3的掩膜版的张网装置的结构示意图；
[0029]图5为本发明的实施例4的张网方法的流程图；
[0030]其中，附图标记为:1、夹具单元；11、第一夹具；12、第二夹具;2、掩膜版;3、测量单元;4、调整单元;5、加载孔。
【具体实施方式】
[0031]为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细描述。
[0032]实施例1:
[0033]本实施例提供一种掩膜版的张网装置，如图1所示，包括夹具单元I，所述夹具单元I包括:
[0034]两对第一夹具11，分别用于夹住拉伸所述掩膜版2的四角；
[0035]相邻的所述第一夹具11之间设有多个第二夹具12，用于夹住拉伸所述掩膜版2的边缘。
[0036]本实施例的掩膜版的张网装置，采用两对第一夹具11分别夹住拉伸所述掩膜版2的四角，设于相邻的第一夹具11之间的多个第二夹具12夹住拉伸所述掩膜版2的边缘，这样多个第二夹具12实现对掩膜版2的精确调整和控制，均匀的拉伸，提升张网能力，使掩膜版2不易产生褶皱，降低混色，提高显示良率。具体的，拉伸第一夹具11、第二夹具12可采用手动拉伸，也可采用仪器控制进行自动拉伸。本发明的掩膜版的张网装置适用于拉伸各种掩膜版，尤其适用于制备小尺寸显示面板的掩膜版。
[0037]实施例2:
[0038]本实施例提供一种掩膜版的张网装置，如图2所示，包括夹具单元I，测量单元3和调整单元4。
[0039]具体的，所述夹具单元I包括:两对第一夹具11，分别用于夹住拉伸所述掩膜版2的四角；相邻的所述第一夹具11之间设有多个第二夹具12，用于夹住拉伸所述掩膜版2的边缘，其中所述第一夹具11与所述掩膜版2的接触面积大于所述第二夹具12与所述掩膜版2的接触面积。
[0040]也就是说，如图3虚线框起的部分所示，第一夹具11夹住掩膜版2的四个角部，中间部分的多个第二夹具12夹住掩膜版2的四个边缘。其中第二夹具12与掩膜版2的接触面积相较于第一夹具11而言要小，即夹住掩膜版2的四角的第一夹具11与掩膜版2的接触面积更大些，这样有利于第一夹具11承受拉力且不易发生形变。
[0041]优选的是，所述掩膜版2深入所述第二夹具12的方向上的尺寸与所述掩膜版2深入每个第一夹具11的方向上的尺寸相同；在垂直于所述深入的方向上，所述第一夹具11的尺寸大于所述第二夹具12的尺寸。
[0042]也就是说，在此给出一种具体的设计方式:第一夹具11与第二夹具12深入掩膜版2的尺寸相同，而角部的第一夹具11比中部的第二夹具12宽，其中中部的第二夹具12的主要作用是精细调整，所以其受力较小。
[0043]需要说明的是，第二夹具12的宽度应尽量小，这样会大幅的提高第二夹具12的密度，实现高精度的精细拉伸，更有利于控制调整显示区的褶皱。
[0044]具体的，所述测量单元3可以是光耦合扫描器，测量单元3用于检测掩膜版2的平坦度，并将检测结果反馈调整单元4;所述调整单元4与所述第一夹具11和第二夹具12连接，并根据所述测量单元3反馈的结果，控制所述第一夹具11和第二夹具12将所述掩膜版2不平坦的位置拉伸至平坦。
[0045]也就是说，光耦合扫描器先扫描掩膜版2上褶皱的位置处，然后将褶皱的具体位置反馈给调整单元4，调整单元4判断出距离褶皱最近处的第二夹具12，并启动该第二夹具12对掩膜版2进行拉伸。需要说明的是，光耦合扫描器反馈给调整单元4褶皱位置处的同时还将褶皱的大小反馈调整单元4，调整单元4判断出距离褶皱最近处的第二夹具12的同时判断出将褶皱拉平所需要的力。
[0046]实施例3:
[0047]本实施例提供一种掩膜版的张网装置，如图4所示，所述张网装置设有用于固定掩膜版2的加载孔5，所述加载孔5设于掩膜版2的上方。
[0048]也就是说，张网装置上设有加载孔5，其可用于对位，即当加载孔5与掩膜版2预定的位置重合代表掩膜版2已平整。若加载孔5与掩膜版2预定的位置没有重合，则代表掩膜版2上有褶皱。
[0049]优选的是，所述相邻的第二夹具之间的掩膜版2具有开口，远离所述加载孔的第二夹具的开口小于靠近所述加载孔5的第二夹具的开口。
[0050]也就是说，第二夹具12开口根部区域之间互相构成一个弧形。如图4中弧形虚线部分所示，该圆弧越靠近加载孔处的弧度越大。这样的弧形设计的作用是:利于减小显示区的褶皱。
[0051 ]显然，上述各实施例的【具体实施方式】还可进行许多变化;例如:第二夹具的宽度及相邻的第二夹具之间的距离在此不做限定，可以根据具体的生产情况进行调整。加载孔的数量，以及加载孔的具体位置可以根据不同大小的掩膜版进行调整。
[0052]实施例4:
[0053]本实施例提供一种掩膜版的张网方法，采用上述实施例的掩膜版的张网装置进行张网。
[0054]优选的是，如图5所示，所述张网方法包括以下步骤:
[0055]SOl、采用第一夹具夹住掩膜版的四角，先采用第一夹具11进行初拉伸，由于第一夹具11与掩膜版2的接触面积更大些因此，先拉伸第一夹具11使得掩膜版张开的速度更快。
[0056]S02、采用第二夹具夹住掩膜版的边缘，然后所述测量单元检测掩膜版的平坦度，并将检测结果反馈调整单元;具体的，光耦合扫描器测量掩膜版2上褶皱位置以及褶皱的大小并反馈调整单元4。
[0057]S03、所述调整单元根据所述检测结果，控制所述第一夹具和第二夹具将所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。也就是说，调整单元4通过控制与褶皱同一条线附近的第二夹具12进行精细拉伸。
[0058]S04、重复上述的S02-S03步，直到掩膜版2各个位置均被拉伸平坦为止。
[0059]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种掩膜版的张网装置，其特征在于，包括夹具单元，所述夹具单元包括: 两对第一夹具，分别用于夹住拉伸所述掩膜版的四角； 相邻的所述第一夹具之间设有多个第二夹具，用于夹住拉伸所述掩膜版的边缘。2.根据权利要求1所述的掩膜版的张网装置，其特征在于，所述第一夹具与所述掩膜版的接触面积大于所述第二夹具与所述掩膜版的接触面积。3.根据权利要求2所述的掩膜版的张网装置，其特征在于，所述掩膜版深入所述第二夹具的方向上的尺寸与所述掩膜版深入每个第一夹具的方向上的尺寸相同；在垂直于所述深入的方向上，所述第一夹具的尺寸大于所述第二夹具的尺寸。4.根据权利要求1所述的掩膜版的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括测量单元和调整单元: 所述测量单元用于检测掩膜版的平坦度;并将检测结果反馈调整单元； 所述调整单元与所述第一夹具和第二夹具连接，并根据所述测量单元反馈的结果，控制所述第一夹具和第二夹具将所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。5.根据权利要求4所述的掩膜版的张网装置，其特征在于，所述测量单元为光耦合扫描器。6.根据权利要求1所述的掩膜版的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括用于固定掩膜版的加载孔，所述加载孔设于所述掩膜版的上方。7.根据权利要求6所述的掩膜版的张网装置，其特征在于，所述相邻的第二夹具之间的掩膜版具有开口，远离所述加载孔的第二夹具的开口小于靠近所述加载孔的第二夹具的开□ O8.—种掩膜版的张网方法，其特征在于，采用权利要求1-7任一项所述的掩膜版的张网装置进行张网。9.根据权利要求8所述的掩膜版的张网方法，其特征在于，所述掩膜版的张网装置为权利要求4所述的掩膜版的张网装置，所述方法包括以下步骤: 采用第一夹具夹住掩膜版的四角对掩膜版进行初拉伸； 采用第二夹具夹住掩膜版的边缘;所述测量单元检测掩膜版的平坦度，并将检测结果反馈调整单元； 所述调整单元根据所述检测结果，控制所述第一夹具和第二夹具将所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。
【文档编号】C23C14/04GK106086784SQ201610537988
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年7月8日
【发明人】孙朴
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司