一种掩膜盛放盒的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种掩膜盛放盒。
【背景技术】
[0002]在半导体晶片制作工艺过程中，固定晶片镀膜需要用到掩膜，因此掩膜是必不可少的工具，并且需要的数量很大，一般是将掩膜放置在盛放盒中收纳、存放。现有的盛放盒为顶部开口设置的塑料盒体，使用时直接将若干个掩膜并排放置在塑料盒体内，现有的盛放盒虽然能起到归集、收纳掩膜的作用，但是具有以下缺点:一、在盛放掩膜时，掩膜易刮下盒体的塑料颗粒，刮下的塑料颗粒掉到盒体内，会污染放置在盒体内的其它掩膜，从而间接对晶片造成污染，造成晶片电性不良，影响晶片整体良率以及产品品质；二、在使用过程中，掩膜很容易沾上银肩等的污染物，粘附于掩膜上的污染物很难自动掉落，即使掉落到盒体内也会对其它掩膜造成污染，从而间接对晶片造成污染。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型提供了一种掩膜盛放盒，它结构设计合理，使用方便，能够清理粘附于掩膜上的污染物，并且使污染物与掩膜分开，不会使污染物再次影响其它掩膜，解决了现有技术中存在的问题。
[0004]本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是:它包括盒体，盒体的左右两端开口设置，在盒体内设有板体，在板体上设有一组第一网孔，在板体上设有存放盒，在存放盒底部设有一组第二网孔，板体的第一网孔与存放盒的第二网孔相对应设置，在板体下方的盒体内设有集灰盒，集灰盒的顶部开口设置，在盒体侧壁内设有第一进气通道，在盒体顶部设有与第一进气通道相连通的进气腔，在盒体内顶部设有一组与进气腔相连通的出气口，在盒体底部设有与第一进气通道相连通的第一进气口。
[0005]所述存放盒的底部间隔设有一组卡槽，在每个卡槽的槽底设有第二网孔。
[0006]在每个卡槽的侧壁设有一组第三网孔。
[0007]在盒体侧壁内设有与进气腔相连通的第二进气通道，在盒体底部设有与第二进气通道相连通的第二进气口。
[0008]第一进气通道与第二进气通道分别位于盒体相对应两侧壁的外端。
[0009]在盒体底部设有压缩空气存储装置，在压缩空气存储装置顶部设有与第一进气口相配合的出气连接口，出气连接口与第一进气口的位置相对应。
[0010]在存放盒相对应的两端部分别设有第一把手。
[0011]在集灰盒相对应的两端部分别设有第二把手。
[0012]本实用新型采用上述方案，具有以下优点:
[0013]1、使用时，将一定数量的掩膜放置在存放盒内，掩膜上的污染物能够通过存放盒底部的第二网孔、板体的第一网孔筛滤，最后通过集灰盒收集起来，从而保证了产品的质量。
[0014]2、使用时，将盒体底部的第一进气口与压缩空气气源相连，压缩空气通过第一进气口、第一进气通道、进气腔、出气口排出，不断冲入盒体内，把粘附于掩膜上的污染物吹掉，掉落的污染物通过存放盒底部的第二网孔、板体的第一网孔筛滤，最后通过集灰盒收集起来，使污染物与掩膜分开，不会使污染物再次影响其它掩膜。另外，由于盒体并非密封设置，压缩空气不断通过出气口进入到盒体内，再从盒体排出，避免了盒体外部的污染物进入到盒体内将掩膜污染的情况发生。
[0015]3、存放盒的底部间隔设有一组卡槽，在每个卡槽的槽底设有第二网孔。使用时，将每个掩膜放置在一个卡槽内，避免了掩膜之间的相互碰撞、摩擦而造成掩膜的损坏，并且尽量减少了粘附于掩膜上的污染物影响其它掩膜。另外，这种结构设计还有利于掩膜的拿取。
[0016]4、在每个卡槽的侧壁设有一组第三网孔。这种结构设计能够尽量减少掉落的污染物藏匿于存放盒的死角处，从而使污染物尽快通过第三网孔、存放盒底部的第二网孔、板体的第一网孔筛滤，最后通过集灰盒收集起来。
[0017]5、在盒体侧壁内设有与进气腔相连通的第二进气通道，在盒体底部设有与第二进气通道相连通的第二进气口，这种结构设计能够使压缩空气尽快的通过出气口排出。
[0018]6、为了使每个出气口能够均匀的排出压缩空气，第一进气通道与第二进气通道分别位于盒体相对应两侧壁的外端。
[0019]7、在盒体底部设有压缩空气存储装置，在压缩空气存储装置顶部设有与第一进气口相配合的出气连接口，出气连接口与第一进气口的位置相对应。这种结构设计将盒体底部的第一进气口与压缩空气存储装置的出气连接口相连，使压缩空气通过出气连接口、第一进气口、第一进气通道、进气腔、出气口进入到盒体内。
[0020]8、在存放盒相对应的两端部分别设有第一把手，便于将存放盒从盒体的左端或右端拉进或拉出，从而有利于掩膜的存取。
[0021]9、在集灰盒相对应的两端部分别设有第二把手，便于将集灰盒从盒体的左端或右端拉进或拉出，从而有利于集灰盒的清理。
【附图说明】
[0022]图1为本实用新型实施例1的剖视结构示意图。
[0023]图2为图1中A—A向剖视结构示意图。
[0024]图3为图1的仰视结构示意图。
[0025]图4为图1中存放盒的俯视结构示意图。
[0026]图5为本实用新型实施例2的结构示意图。
[0027]图6为压缩空气存储装置的结构示意图。
[0028]图中，1、盒体，2、板体，3、第一网孔，4、存放盒，5、第二网孔，6、集灰盒，7、第一进气通道，8、进气腔，9、出气口，10、第一进气口，11、卡槽，12、第三网孔，13、第二进气口，14、压缩空气存储装置，15、出气连接口，16、第一把手，17、第二把手。
【具体实施方式】
[0029]为能清楚说明本方案的技术特点，下面通过【具体实施方式】，并结合其附图，对本实用新型进行详细阐述。
[0030]实施例1
[0031]如图1?图4所示，本实用新型包括盒体1，盒体I的左右两端开口设置，在盒体I内设有板体2，在板体2上设有一组第一网孔3。在板体2上设有存放盒4，存放盒4的底部间隔设有一组卡槽11，在每个卡槽11的槽底设有第二网孔5，板体2的第一网孔3与存放盒4的第二网孔5相对应设置，在每个卡槽11的侧壁设有一组第三网孔12。在板体2下方