技术编号:11836277
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体生产设备技术领域,具体为一种高温扩散设备。背景技术随着经济的繁荣昌盛,人们生活水平的不断的提高,生产技术的发展越来越好,人们对自己时间的利用越来越苛刻,生活中,我们对于设备的要求越来越高,希望能够通过对设备的创新来提高设备的工作效率,减少工作时间,提高使用效率,使之发挥出最大的价值,随着科技的发展,半导体的应用越来越加广泛,主要是制成有特殊功能的元器件,比如晶体管、集成电路、整流器、激光器以及各种光电探测器件和微波器件等,半导体的发展在近些年有着十分迅猛的趋势,它的使用不仅能够提...
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