技术编号:11836581
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于碳化硅晶体生长加工装置领域,尤其涉及一种蒸发法孕育碳化硅晶体生长装置。背景技术随着现在社会科技的不断发展,人们对于自身的衣食住行均提出越来越高的要求,晶体作为现在装饰用品的重要用品,相比于黄金等贵金属,晶体具有优良的美观性,收到人们的广泛喜爱。且不仅是宝石碳化硅晶体,对于一些特殊的晶体结构,由于现在的科技水平的不断成熟,也逐渐被人们所熟知,SiC作为C和Si唯一稳定的化合物,其晶格结构由致密排列的两个亚晶格组成,每个si(或c)原子与周边包围的C(si)原子通过定向的强四面体SP3...
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