技术编号:11891306
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开内容的实施方式一般涉及用于光刻图案化的设备与方法,且更具体地,涉及用于遭受偏移与定位误差的大型基板的光刻图案化的设备与方法。背景技术大面积基板通常用于制造液晶显示器(LCD)。LCD或平板显示器通常用于有源矩阵显示器,例如电脑、触控面板器件、个人数字助理(PDA)、手机、电视监视器等。通常,平板显示器可包括形成像素的液晶材料层,液晶材料层夹于两个板之间。当来自电源的电力施加跨越液晶材料时,通过液晶材料的光的量可在促成影像产生的像素位置处受到控制。光刻技术通常用于产生被并入作为形成像素的液晶...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。