技术编号：11897346
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉高分子材料技术领域，尤其是一种稀土研磨液。背景技术超精密加工是现代尖端产业重要的生产技术，其不仅要求高精度、高质量，而且要求低成本和高的再现性。而超精密研磨抛光由于具有独特的加工原理和对加工设备、环境因素要求不高等特点，可以实现纳米级甚至原子级的加工，已成为超精密加工技术中的一个重要部分，实现超精密研磨抛光的关键材料是精密研磨制品。目前，用磨粒去除材料的去除单位已达到纳米甚至是亚纳米数量级，要达到这样高的表面光洁度，可以使用含有磨料的研磨液，或者使用磨料固定在薄膜上的抛光膜，分粗磨、中磨...
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