一种稀土研磨液的制作方法

文档序号:11897346阅读:398来源:国知局

本发明涉高分子材料技术领域,尤其是一种稀土研磨液。



背景技术:

超精密加工是现代尖端产业重要的生产技术,其不仅要求高精度、高质量,而且要求低成本和高的再现性。而超精密研磨抛光由于具有独特的加工原理和对加工设备、环境因素要求不高等特点,可以实现纳米级甚至原子级的加工,已成为超精密加工技术中的一个重要部分,实现超精密研磨抛光的关键材料是精密研磨制品。目前,用磨粒去除材料的去除单位已达到纳米甚至是亚纳米数量级,要达到这样高的表面光洁度,可以使用含有磨料的研磨液,或者使用磨料固定在薄膜上的抛光膜,分粗磨、中磨、精磨、抛光等数步进行,也可以把研磨液和抛光膜结合起来交叉使用。

目前还没有一种生产工艺简单,不会对环境造成影响的可批量化生产的专门用于 抛光的稀土研磨液。



技术实现要素:

本发明要解决的技术问题是:克服现有技术中的不足,提供一种稀土研磨液。

为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案如下:

一种稀土研磨液,其质量份组成如下:稀土10-20份、软化剂2-6份、螯合剂1.2-4.8份、表面活性剂2.4-6.4份、丙酮20-50份、刚玉颗粒2.4-6份、氨水8-15份。

优选的,所述稀土元素的含量满足以下要求CaO+AlO ≤1.2% ,CeO ≥ 65% ,Nd2O3≥ 0.5% , La2O3 ≥ 29% , Pr2O3 ≥5.1%。

优选的,所述软化剂选用硬脂酸和吡啶的混合物,其质量比为1:1.1-1.8。

优选的,所述硬脂酸和吡啶的质量比为1:1.5。

优选的,所述螯合剂选用EDTA。

优选的,所述表面活性剂选用高碳脂肪醇聚氧乙烯醚和失水山梨醇酯的混合物,其质量比为1:1.1-1.8。

优选的,所述高碳脂肪醇聚氧乙烯醚和失水山梨醇酯的质量比为1:1.6。

优选的,所述氨水的质量百分数为10-15%。

优选的,所述氨水的质量百分数为12%。

优选的,其质量份组成如下:稀土15份、软化剂4份、螯合剂3份、表面活性剂4.2份、丙酮35份、刚玉颗粒4.2份、氨水10份。

采用本发明的技术方案的有益效果是:

采用本发明所述技术方案生产的稀土研磨液生产工艺简单,不含机械杂质,具有 较高的分散性和吸附性,能够长久保持状态稳定,同时,组份中的软化剂可使工件表面氧化膜软化,使之容易被研磨去除,而且在将工件表面的物料研磨下来后会被螯合剂转化为螯合物,从而抑制其再附着在金属表面,提高了研磨精度。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本发明作进一步说明。

实施例1

一种稀土研磨液,其质量份组成如下:稀土10份、软化剂2份、螯合剂1.2份、表面活性剂2.4份、丙酮20份、刚玉颗粒2.4份、氨水8份。

其中,稀土元素的含量满足以下要求CaO+AlO ≤1.2% ,CeO ≥ 65% ,Nd2O3 ≥ 0.5% , La2O3 ≥29% , Pr2O3≥5.1%。

其中,软化剂选用硬脂酸和吡啶的混合物,其质量比为1:1.1。

其中,螯合剂选用EDTA。

其中,表面活性剂选用高碳脂肪醇聚氧乙烯醚和失水山梨醇酯的混合物,其质量比为1:1.1。

其中,氨水的质量百分数为10%。

实施例2

一种稀土研磨液,其质量份组成如下:稀土12份、软化剂3份、螯合剂1.5份、表面活性剂2.6份、丙酮21份、刚玉颗粒2.6份、氨水8.5份。

其中,稀土元素的含量满足以下要求CaO+AlO ≤1.2% ,CeO ≥ 65% ,Nd2O3 ≥ 0.5% , La2O3 ≥ 29% , Pr2O3 ≥5.1%。

其中,软化剂选用硬脂酸和吡啶的混合物,其质量比为1:1.2。

其中,螯合剂选用EDTA。

其中,表面活性剂选用高碳脂肪醇聚氧乙烯醚和失水山梨醇酯的混合物,其质量比为1:1.2。

其中,氨水的质量百分数为11%。

实施例3

一种稀土研磨液,其质量份组成如下:稀土15份、软化剂4份、螯合剂3份、表面活性剂4.2份、丙酮35份、刚玉颗粒4.2份、氨水10份。

其中,稀土元素的含量满足以下要求CaO+AlO ≤1.2% ,CeO ≥ 65% ,Nd2O3 ≥ 0.5% , La2O3 ≥ 29% , Pr2O3 ≥5.1%。

其中,软化剂选用硬脂酸和吡啶的混合物,其质量比为1:1.1-1.8。

其中,螯合剂选用EDTA。

其中,表面活性剂选用高碳脂肪醇聚氧乙烯醚和失水山梨醇酯的混合物,其质量比为1:1.2。

其中,氨水的质量百分数为13%。

实施例4

一种稀土研磨液,其质量份组成如下:稀土18份、软化剂5份、螯合剂4.5份、表面活性剂6.2份、丙酮48份、刚玉颗粒5份、氨水13份。

其中,稀土元素的含量满足以下要求CaO+AlO ≤1.2% ,CeO ≥ 65% ,Nd2O3 ≥ 0.5% , La2O3 ≥ 29% , Pr2O3 ≥5.1%。

其中,软化剂选用硬脂酸和吡啶的混合物,其质量比为1:1.6。

其中,螯合剂选用EDTA。

其中,表面活性剂选用高碳脂肪醇聚氧乙烯醚和失水山梨醇酯的混合物,其质量比为1:1.6。

其中,氨水的质量百分数为14%。

实施例5

一种稀土研磨液,其质量份组成如下:稀土20份、软化剂6份、螯合剂4.8份、表面活性剂6.4份、丙酮50份、刚玉颗粒6份、氨水15份。

其中,稀土元素的含量满足以下要求CaO+AlO ≤1.2% ,CeO ≥ 65% ,Nd2O3 ≥ 0.5% , La2O3 ≥ 29% , Pr2O3 ≥5.1%。

其中,软化剂选用硬脂酸和吡啶的混合物,其质量比为1:1.8。

其中,螯合剂选用EDTA。

其中,表面活性剂选用高碳脂肪醇聚氧乙烯醚和失水山梨醇酯的混合物,其质量比为1:1.8。

其中,氨水的质量百分数为15%。

实施例3为优选实施方式。

实施例1-5采用传统的制备方法制得。

以上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

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