技术编号：11907397
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型有关于一种气体供应控制装置，尤指一种可提升特别气体供应简易与精确化的气体供应控制装置。背景技术按、半导体业者于制造晶片时会使用到一特殊的气体，该等特殊气体使用颇大且价格不低。因此特殊气体的使用特殊业者对于该等特殊气体的控制皆非常小心，藉此来控制成本。因此如何提供一种气体供应控制装置，来提供特殊气体使用厂商能有效的控制特殊气体的使用成本，已为气体供应控制装置制造业亟待解决的课题。实用新型内容本实用新型所解决的技术问题即在提供一种气体供应控制装置，藉此来令特殊气体供应能简易化与精确化等效果...
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