气体供应控制装置的制作方法

本实用新型有关于一种气体供应控制装置，尤指一种可提升特别气体供应简易与精确化的气体供应控制装置。

背景技术：

按、半导体业者于制造晶片时会使用到一特殊的气体，该等特殊气体使用颇大且价格不低。因此特殊气体的使用特殊业者对于该等特殊气体的控制皆非常小心，藉此来控制成本。

因此如何提供一种气体供应控制装置，来提供特殊气体使用厂商能有效的控制特殊气体的使用成本，已为气体供应控制装置制造业亟待解决的课题。

技术实现要素：

本实用新型所解决的技术问题即在提供一种气体供应控制装置，藉此来令特殊气体供应能简易化与精确化等效果。

本实用新型所采用的技术手段如下所述。

提供一种气体供应控制装置，该气体供应控制装置，包括有一本体、一穿设于该本体内的控制阀组、一锁设于该本体底面的底盖、一锁设于该本体顶面的顶盖。

本实用新型所产生的技术效果：藉由本实用新型来令气体供应控制装置可达成简易与精确的供应气体的效果。

附图说明

图1为本实用新型气体供应控制装置的分解图。

图2为本实用新型气体供应控制装置的立体示意图。

图3为本实用新型气体供应控制装置气体关闭示意图。

图4为本实用新型气体供应控制装置的气体供应流动示意图。

图号说明：

1气体供应控制装置

2本体

21气体进入口　　　 22气体流出口

23气体流出道　　　 24控制阀组安装孔

25容置部　　　　 26防漏垫片

27防漏环

3控制阀组

31弹性活动杆件

311螺设杆部　　　　3111螺设孔

312弹性膜部

32塞杆件

321螺杆部　　　　 322塞部

323流通颈部

4底盖

41凸块

42防漏垫片

5顶盖

51通孔。

具体实施方式

首先，请参阅图1、2所示，本实用新型的气体供应控制装置1，包括有一本体2、一穿设于该本体2内的控制阀组3、一锁设于该本体2底面的底盖4、一锁设于该本体2顶面的顶盖5。

如图1、2所示，该本体2为一矩形块体，该本体2于短轴向侧设有一气体进入口21，该本体2于长轴向的二侧方向设有气体流出口22，该两气体流出口22藉由一气体流出道23来连通，该本体2近中央处设有由上向下贯通该气体流出道23的控制阀组安装孔24，该本体2的底部对应于该控制阀组安装孔24设有由底部向上延设的容置部25，该容置部25的下方成开放状，其上方则连通该控制阀组安装孔24，另该容置部25的一侧连通该气体进入口21；该本体2于顶部设有一防漏垫片26；该容置部25上方连通该控制阀组安装孔24处周缘设有一防漏环27。

如图1、2所示，该控制阀组3包括有一弹性活动杆件31及一螺设于该弹性活动杆件31的塞杆件32；该弹性活动杆件31具有一螺设杆部311、一设于该螺设杆部311下端的弹性膜部312，该弹性膜部312可使该控制阀组3受压后自由的作上、下的线性移动，该螺设杆部311内设一螺设孔3111；该塞杆件32具有一螺杆部321及一设于该螺杆部321下端的塞部322，该螺杆部321与该塞部322之间凹设有流通颈部323，该螺杆部321可螺设于该弹性活动杆件31的螺设杆部311的螺设孔3111内，藉此该塞杆件32得以螺设于该弹性活动杆件31上，并被该弹性活动杆件31带动而可作上下线性的移动。

如图1、2所示，该底盖4锁盖设于该本体2的底部上，更明确的说，该底盖4盖设于该本体2容置部25底面上，藉此该底盖4可令该容置部25的底面予以封闭；该底盖4朝该容置部25方向设有一凸块41，另于该凸块41的周缘设有防漏垫片42；该凸块41可供该控制阀组3的塞部322承座用，同时该凸块41亦可作为该控制阀组3线性移动时的最下位置的限制。

如图1、2所示，该顶盖5锁设该本体2的顶部上，更明确的说，该顶盖5锁盖于该本体2的控制阀组安装孔24的上方；该顶盖5设有一通孔51，该通孔51可供该控制阀组3的弹性活动杆件31的螺设杆部311穿设。

如图1、2、3所示，本实用新型的实施，该控制阀组3的塞杆件32穿设于该本体2的控制阀组安装孔24，并使该塞杆件32的螺杆部321穿出该本体2的控制阀组安装孔24外；该底盖4锁设于该本体2的容置部25的底面上，且令该底盖4的凸块41恰位于该控制阀组3塞杆件32的塞部322的底面，该顶盖5锁盖于该本体2的控制阀组安装孔24的上方，且该控制阀组3的弹性活动杆件31穿过该顶盖5的通孔51，并露出该顶盖5外，此即完成本实用新型的气体供应控制装置1的组立工程。

如图3所示，气体供应控制装置1组立当时，藉由该控制阀组3的弹性活动杆件31螺紧该塞杆件32的螺杆部321，来令该塞杆件32作线性的向上移动，进而来使该螺杆部321下端的塞部322抵顶于该容置部25内的防漏环27上，当外部的气体由该本体2的气体进入口21进入该容置部25内时，由于该塞部322的上端面抵顶于该容置部25内的防漏环27上，因此该容置部25与该控制阀组安装孔24及气体流出道23形成短路的封闭，外部的气体则被积留于该容置部25内而无法流出本体2外，意即该气体供应控制装置1呈现不供应气体状态。

如图4所示，承上述，当使用者需要该气体供应控制装置1供应气体时，该使用者只需对于该控制阀组3露出顶盖5外的该控制阀组3弹性活动杆件31施与一定的压力，当该控制阀组3弹性活动杆件31受到一定的压力后，该控制阀组3即可沿该本体2的控制阀组安装孔24向下作线性移动，来使该控制阀组3的塞部322不再顶抵于该容置部25内的防漏环27，此时已充满于该容置部25内的气体，即可沿该控制阀组3的流通颈部323流至该控制阀组安装孔24内，再经该气体流出道23由气体流出口22流出，藉此即可令本实用新型的气体供应控制装置1供应气体。

本实用新型的功效在于，藉由气体供应控制装置1，包括有一本体2、一穿设于该本体2内的控制阀组3、一锁设于该本体2底面的底盖4、一锁设于该本体2顶面的顶盖5，藉此来令气体供应控制装置1来达成简易与精确的供应气体的效果。