包含光交联的含氟聚合物的钝化层的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:11934946

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包含光交联的含氟聚合物的钝化层发明领域本公开涉及包含可光交联的含氟聚合物的钝化层、用于形成该钝化层的方法以及包括该钝化层的制品。该含氟聚合物是通过氟化烯烃、烷基乙烯基醚和乙烯基环氧化物的聚合反应制备的共聚物。发明背景聚合物被用于电子设备,以提供绝缘以及用于保护该设备免受物理损害和受潮。如果该聚合物在具有确定尺寸的图案中是可光成像的,即可光交联的,以便提供用于多个电子部件和层的互联的三维框架,则这些聚合物的价值大大增加。随着电子设备的变小、频率的变高以及具有低功耗,通常使用的聚酰亚胺不能满足低介电...
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