技术编号:11937670
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置及方法,属于热丝化学气相沉积技术领域。背景技术上世纪80年代初,欧美日等发达国家掀起了化学气相沉积合成金刚石膜新材料的研究,到90年代,从理论上基本上摸清了化学气相沉积金刚石膜的生长机制,进入21世纪,无论从沉积技术,加工技术还是应用方面都取得了极大的进展。这期间,人们开发了热丝CVD法,直流等离子CVD法,射频等离子CVD法,微波等离子CVD法,直流电弧等离子CVD法,火焰燃烧CVD法,甚至激光CVD法等,经过20多年的发展,就其产业化规模和影响力...
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