技术编号:11944863
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及一种薄膜温度传感器及制备方法。背景技术传感器技术是与通信技术和计算机技术构成现代信息产业的三大支柱,是一项当今世界令人瞩目的迅猛发展的高新技术,同时又是一项相对通信和计算机技术整体落后的瓶颈工业。传统的传感器因功能、特性、体积等难以满足现代计算机技术和通信技术对传感器的精度、可靠性、抗环境性、信息处理能力等要求而被逐渐淘汰。温度传感器是感受温度并转换成可用输出信号的传感器,主要包括热电阻、热敏电阻、热电偶以及集成P-N温度传感器。随着技术的发展,红外辐射和光纤温...
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