技术编号:12001497
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种槽体盖板,尤其涉及一种碱蚀刻机蚀刻槽用槽体盖板的改良结构,属于碱性蚀刻设备的结构改良技术领域。背景技术在电子线路板的制备过程中蚀刻工艺是必不可少的一项工艺流程,通常包括酸性蚀刻、碱性蚀刻和微蚀刻等,但由于受到目前所采用掩膜种类的限制,市面上大多采用碱性蚀刻工艺。碱性蚀刻的过程是在碱蚀刻机的蚀刻槽中进行的,通常为在蚀刻槽中盛放有碱性蚀刻液,为防止碱性蚀刻液的挥发和蚀刻槽中掉落入杂物,蚀刻槽的开口处设有槽体盖板,当需要将工件放入蚀刻时,打开槽体盖板放入,然后再将槽体盖板盖好。当前所...
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