缺陷检查用拍摄装置、缺陷检查系统以及膜制造装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12018955

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本实用新型涉及用于检查膜的缺陷的缺陷检查用拍摄装置、缺陷检查系统以及膜制造装置。背景技术已知对偏振膜以及相位差膜等光学膜、电池的隔膜中使用的膜等的缺陷进行检测的缺陷检查系统。这种缺陷检查系统利用搬运机构搬运膜,利用光照射机构向膜的拍摄区域照射光,利用拍摄机构拍摄膜的拍摄区域,并根据所拍摄的图像进行缺陷检查。作为基于这种缺陷检查系统进行的缺陷检查方法的种类,大体分为透射法和反射法。更详细地说,作为透射法,有正透射法、正交偏振(crossednicol)透射法、透射散射法,作为反射法,有正反射法、正...
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