技术编号:12048165
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及例如在锂离子电池的电极材料、面向食品包装的薄膜材料等的涂层材料、或用于电子设备布线等的墨原料等中使用的微粒制造装置以及微粒制造方法。背景技术近年来,正在研究将纳米级的微粒应用在各种设备中。例如,镍的金属微粒目前用于陶瓷电容器,而且正在研究在下一代陶瓷电容器中使用粒径为200纳米以下且分散性良好的微粒。并且,含氧率比二氧化硅低的一氧化硅(SiOx:x=1~1.6)的微粒被有效用作光学透镜的防反射膜、或食品包装用的阻气膜的蒸镀材料。最近,期待将该一氧化硅(SiOx:x=1~1.6)的微粒用...
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