微粒制造装置以及微粒制造方法与流程

本发明涉及例如在锂离子电池的电极材料、面向食品包装的薄膜材料等的涂层材料、或用于电子设备布线等的墨原料等中使用的微粒制造装置以及微粒制造方法。

背景技术：

近年来，正在研究将纳米级的微粒应用在各种设备中。例如，镍的金属微粒目前用于陶瓷电容器，而且正在研究在下一代陶瓷电容器中使用粒径为200纳米以下且分散性良好的微粒。

并且，含氧率比二氧化硅低的一氧化硅(SiO_x：x＝1～1.6)的微粒被有效用作光学透镜的防反射膜、或食品包装用的阻气膜的蒸镀材料。最近，期待将该一氧化硅(SiO_x：x＝1～1.6)的微粒用于锂离子二次电池的负极材料等。

作为这些纳米级的微粒的普遍的制造方法，存在将成为原料的块状材料与陶瓷或氧化锆等的珠粒(beads)一起导入且通过机械粉碎而使材料微粒化的方法、或者使材料熔化以及蒸发且向空气或水中喷射而得到微粒的方法、或者通过电解或还原等化学的方式得到微粒的方法等。其中，从杂质(污染物)少、生产出的微粒的分散性优异、由多种材料构成的复合微粒的合成容易的优点等观点出发，利用高频等离子体或电弧等离子体等热等离子体(约10000℃)而在气相中制作微粒的方法非常有用(例如，参照专利文献1)。

图4示出利用了现有例1的热等离子体的微粒的制造装置的概要剖视图。

在微粒产生室201的顶部具备等离子体产生器202(高频等离子体枪)，微粒产生室201经由配管203而与微粒回收装置204连结。材料在微粒产生室201内导入由等离子体产生器202产生的热等离子体中，从而在微粒产生室201内形成微粒。在微粒产生室201内，从气体供给口205通过冷却气体将微粒冷却后，经由配管203将微粒向旋流器206运送。在旋流器206内，分离微粒以外的未蒸发材料或者较大的颗粒，并将微粒经由配管203向微粒回收装置204运送。在微粒回收装置204内回收微粒。另外，微粒回收装置204经由配管203而与稳压箱207和循环泵208连结，并且通过配管203与气体供给口205连结，而形成气体循环的构造。在循环泵208与气体供给口205之间设有自动压力调节阀209与集气管210，从而使冷却气体量的变动稳定化。在循环泵208的入口侧设有热交换器211，从而抑制气体的温度上升，冷却产生的微粒。

在先技术文献

专利文献1：日本特许第5318463号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

在利用上述的以往的微粒制造装置(参照图4)制造微粒的情况下，通过使气体循环，从而能够抑制气体的使用量，能够降低微粒生产的运行成本。然而，已知在为了产生热等离子体而投入的电力能量中，用于将材料蒸发的能量是2～5％，效率非常低。因此，为了进行大量的微粒形成，必须为热等离子体投入大量的电力，从而难以增加微粒的生产量。

本发明考虑到上述的以往的课题，其目的在于提供通过提高用于对投入电力能量进行处理的能量的效率，能够增加微粒的生产量且以低成本进行生产的微粒制造装置以及微粒制造方法。

用于解决课题的方案

为了实现所述目的，本发明的一个方式所涉及的微粒制造装置具有：真空腔室；材料供给装置，其与所述真空腔室连接，从材料供给口向所述真空腔室内供给材料的颗粒；电极，其配置于所述真空腔室而产生等离子体；以及回收装置，其与所述真空腔室连接，对从所述真空腔室排出的微粒进行回收，所述微粒制造装置利用在所述真空腔室内产生的所述等离子体，由从所述材料供给装置供给的所述材料制造所述微粒，其中，所述回收装置与所述材料供给装置由配管连接，所述微粒制造装置具有材料加热循环装置，所述材料加热循环装置通过所述配管且利用由所述等离子体加热后的所述真空腔室内的气体的热来加热所述材料。

为了实现所述目的，本发明的其他的方式所涉及的微粒制造方法通过设置于真空腔室的电极来生成热等离子体，使由所述热等离子体加热后的气体经由配管而返回所述真空腔室的下侧的材料供给装置，通过返回的所述气体来加热所述材料供给装置内的材料，从所述材料供给装置的在所述真空腔室内配置的材料供给口向所述真空腔室内的所述热等离子体的区域内投入加热后的所述材料，加热后的所述材料在通过所述热等离子体的区域中时蒸发或气化而成为材料气体，并且，在所述材料气体从所述热等离子体的所述区域脱离的瞬间，所述材料气体急剧冷却而生成微粒。

发明效果

根据本发明的所述方式，利用通过材料加热循环装置而在配管内循环的气体将材料加热并导入真空腔室内，从而能够减少利用热等离子体的材料蒸发所需的能量。因此，能够提供具有如下效果的微粒制造装置以及微粒制造方法，即，利用热等离子体的材料的蒸发效率提高，能够大量地处理材料，也能够提高微粒的生成量，并且能够削减气体的使用量从而能够以低成本进行生产。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的微粒制造装置的概要剖视图。

图2是本发明的第一实施方式的微粒制造装置的概要剖面俯视图。

图3是本发明的第一实施方式中的工序流程的图。

图4是利用现有例1的气体循环的微粒制造装置的概要剖视图。

附图标记说明

1 反应室

2 绝热件

3 微粒回收部

4 电极

5 交流电源

10 材料供给装置

11 材料供给管

12 材料供给口

13 罩

14 气体供给管

15 气体供给管

16 未处理材料贮存部

20 气体配管

21 压力调节阀

22 循环泵

23 气体分压分析装置

24 气体分压调节器

25 温度调节器

26 流量调节器

27 气体供给装置

30 材料颗粒

31 电弧放电

32 微粒

80 材料加热循环装置

100 控制装置

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。

(第一实施方式)

图1表示第一实施方式所涉及的微粒制造装置的概要纵剖视图。图2表示在第一实施方式所涉及的微粒制造装置中在电极部分处沿横向切断后的状态下的概要剖面俯视图。图3表示第一实施方式中的工序流程。利用图1～图3，将制造硅的纳米级的微粒的示例作为一例进行说明。

第一实施方式所涉及的微粒制造装置构成为至少具备：作为真空腔室的一例的反应室1；材料供给装置10；生成电弧放电的电极，例如多根电极4；作为对生成的微粒进行回收的回收装置的一例的微粒回收部3、以及材料加热循环装置80。材料供给装置10配置在反应室1的底部下方，向反应室1内供给材料。微粒回收部3配置为与反应室1的上端连接，对在反应室1内生成的微粒进行回收。多根电极4在反应室1的中央部的侧部以前端向内部突出的方式空出规定间隔而配置，在反应室1内产生等离子体，通过产生的等离子体，由从材料供给装置10供给的材料制作微粒。

多根电极4上分别连接有供给相位不同的电力的交流电源5，分别能够施加使相位例如各错开60°的60Hz的交流电压。各电极4分别独立，且为通过由马达等构成的电极驱动装置4a而相对于反应室1的中心沿放射线方向前后移动的可动式。

具体而言，在该第一实施方式中，微粒制造装置中设有：材料供给管11，其连接材料供给装置10与反应室1；以及上侧以及下侧的气体供给管15、14，其从连接微粒回收部3与材料供给装置10的气体配管20分支地连接，向反应室1内的上下分别供给气体以控制投入的材料以及生成的微粒的流动。

材料供给装置10通过材料供给管11与反应室1连接，将来自材料供给装置10的材料从反应室1的底部侧向反应室1内供给。材料供给管11从材料供给装置10的底部至中央部附近为止，从下方向铅垂方向的上方延伸地立起设置。下侧的气体供给管14在材料供给管11的附近从材料供给装置10的底部沿着材料供给管11的长边方向(换言之，沿着铅垂方向)配置有多根，从而能够从材料供给口12的铅垂方向的下侧向铅垂方向的上方供给气体。上侧的气体供给管15在材料供给装置10的上部朝向上部中央配置有多根，从而能够朝向上部中央供给气体。

材料加热循环装置80包括：将反应室1与各装置或者各部连接的气体配管20、在气体配管20的中途的微粒回收部3的后级配置的循环泵22。具体而言，由气体配管20连接反应室1、微粒回收部3、循环泵22、上侧与下侧的气体供给管15、14以及材料供给装置10，反应室1的由等离子体加热的气体从反应室1经由微粒回收部3向气体配管20排出，将该排出的气体以通过循环泵22循环的方式送出，并再次经由材料供给装置10以及上下的气体供给管15、14向反应室1供给，从而形成整体上能够循环那样的结构。其结果是，能够通过驱动循环泵22使气体经由气体配管20循环，将通过反应室1内的等离子体加热后的气体向材料供给装置10供给，将材料颗粒(材料的颗粒)30在材料供给装置10内进行加热后向反应室1内供给，另一方面，将通过反应室1内的等离子体加热后的气体经由上侧以及下侧的气体供给管15、14向反应室1供给。

气体配管20构成为由绝热件覆盖，以避免加热后的气体的温度大幅度降低。

需要说明的是，循环泵22设为能够在制造动作开始时对反应室1内、微粒回收部3内、以及材料供给装置10内进行抽真空而排气。

并且，具体而言，循环泵22的后级侧即下游侧经由气体配管20与材料供给装置10连接，且循环泵22的前级侧即上游侧经由气体配管20与微粒回收部3连接。

在循环泵22的前级且微粒回收部3的后级安装有压力调节阀21，该压力调节阀21调节向气体配管20内供给的气体的整体的压力，并且使该气体循环。

并且，为了防止循环的气体的分压变化，本发明的微粒制造装置构成为具备：作为气体分析装置的一例的气体分压分析装置23，其用于对气体进行测定而分析气体分压或者比例；以及气体分压调节器24，其根据气体分压分析装置23的分析结果，从气体配管20排出气体、或从气体供给装置27向气体配管20导入气体，从而对气体分压进行调节。即，气体分压分析装置23与气体分压调节器24依次配置在循环泵22与材料供给装置10之间的循环泵22的后级侧即下游侧。气体分压调节器24上连接有包含多个储气瓶等的多个气体供给装置27，根据由气体分压分析装置23得到的分析结果，由气体分压调节器24对从多个气体供给装置27分别供给的气体的压力进行调节。

在将微粒回收部3与材料供给装置10连接的配管20上，在气体分压调节器24的后级进一步配置温度调节器25，从而对在配管20内流动的气体的温度进行调节。

分别在温度调节器25与上下的气体供给管15、14和材料供给装置10之间的配管20上配置有对各自的气体的流量进行调节的流量调节器26。

控制装置100分别与微粒回收部3、材料供给装置10、材料加热循环装置80(循环泵22)、气体分压分析装置23、气体分压调节器24、温度调节器25、流量调节器26、交流电源5以及电极驱动装置4a连接，而对各自进行动作控制。

以下，沿着图3的工序流程对微粒制造装置的制造动作进行说明。

(步骤S1)进行材料设置以及抽真空。

首先，在材料供给装置10内设置材料，并且通过循环泵22对反应室1内、微粒回收部3内以及材料供给装置10内进行排气，使气压达到例如几10Pa来降低大气中的氧的影响。

(步骤S2)进行气体导入以及压力调节。

接下来，从多个气体供给装置27分别向材料供给装置10、下侧的气体供给管14、上侧的气体供给管15一边分别借助流量调节器26进行流量调节一边供给气体。通过在循环泵22的前级安装的压力调节阀21对供给的气体的整体的压力进行调节，并且使气体循环。下侧的气体供给管14配置为，在反应室1的下部贯穿材料供给管11的下部周围的圆锥状的罩13而朝向铅垂方向的上方立起设置有多根，从而朝向铅垂方向的上方供给气体。上侧的气体供给管15设置在反应室1的上端附近的侧壁上，为了使制成的微粒32冷却而向反应室1内导入气体。

在该第一实施方式的第一实施例中，作为一例，为了制造硅的微粒，从气体供给装置27经由两个气体供给管14、15而向反应室1内供给氩，将反应室1内维持在氩的非活性气体气氛的大气压附近的压力，从而进行以下的微粒制造工序。为了促进材料的还原，也可以从气体供给装置27经由气体供给管14、15而向反应室1内混合导入氢气以及微量的碳化类气体。

(步骤S3)开始放电。

接下来，为了保持电弧放电(等离子体)的热，作为一例，在圆筒状的侧壁内部具有未图示的水冷机构的反应室1的侧壁的内表面成为被由碳材料形成的绝热件2覆盖的构造。作为一例，如图2所示，生成电弧放电的金属制的电极4在前端沿横向(例如相对于水平方向抬起5～30°的方向)向反应室1内突出的状态下，在反应室1的圆周壁上以60°间隔将6根电极4配置为放射线状。对于电极4，为了减少金属材料的蒸发，虽未具体图示，然而使冷却水以及冷却气体流经内部来冷却金属电极。

作为一例，各电极4的前端从一个横向的平面方向朝上抬起5～30°地配置。在第一实施例中，将6根电极4配置为放射状，然而只要电极数是6的倍数，则也可以增加电极根数、或者不仅配置在相同平面内而设为两层或三层等多层化的电极配置。通过多层化配置电极4，能够在铅垂方向上进一步扩大作为使材料蒸发的热源的电弧放电，从而有利于大量的微粒生成。另外，作为电极4的材料的一例而使用作为高熔点金属的钨电极，然而也可以使用由钽等其他的高熔点金属或者碳材料构成的电极。

如图1以及图2所示，在使电弧放电点火时，通过电极驱动装置4a使任意的两根电极4向反应室1的中心侧移动。在电弧放电点火后，一边以向各电极4施加的电流变得恒定的方式进行调节，一边通过电极驱动装置4a使电极4沿放射线方向(从配置成放射状的电极4的中心位置朝向外侧的方向)移动，使电极4的前端从电极4的中心位置远离至壁附近的位置。由此，例如约10000℃的作为热等离子体的电弧放电的面积变大，能够使处理量增加。作为各电极驱动装置4a的一例，是通过马达使滚珠丝杠正反转，从而使与螺合于滚珠丝杠的螺母构件连结的电极4沿轴向进退的驱动装置。在本实施例中，以利用多个电极4的电弧放电而形成的热等离子体为例进行了说明，然而也可以采用使用了4MHz或者13.56MHz等高频电源的感应耦合型等离子体(ICP等离子体)。

(步骤S4)对材料进行加热。

接下来，如上所述，当在反应室1内开始电弧放电31时，从反应室1排出的气体变得高温。在通过材料加热循环装置80的循环泵22将该变得高温而从反应室1排出的气体经由气体配管20从反应室1向反应室1的后级运送，并通过温度调节器25进行了温度调节后，经由流量调节器26并通过材料供给装置10与气体供给管14、15而再次返回反应室1。此时，通过高温的气体与材料供给装置10中设置的材料颗粒30直接接触，能够加热材料颗粒30。

并且，通过材料加热循环装置80的循环泵22的驱动，从而将由热等离子体在反应室1内加热后的气体通过气体配管20以及在气体材料供给口12的铅垂方向的下侧设有开口的气体供给管14供给。通过像这样供给气体，能够直至到达电弧放电31而对材料颗粒30进行加热、或者能够减慢材料颗粒30的温度降低速度。由此，能够在保持材料颗粒30的加热温度的状态下向电弧放电31导入，因此能够提高蒸发效率。

(步骤S5)开始材料供给。

接下来，当材料供给装置10的材料颗粒30的温度达到所期望的温度后，与通过热等离子体加热后的气体一起开始材料颗粒30的供给。加热温度也取决于材料颗粒30的种类，然而优选为100℃以上且小于材料颗粒30的熔点的0.8倍的温度。通过将加热温度设为100℃以上，能够使附着于材料颗粒30的水成分蒸发，从而提高材料颗粒30的流动性，能够进行材料颗粒30的稳定供给。另外，有这样的报告：材料颗粒30的流动性相对于材料颗粒30的熔点在0.6倍以上且小于0.8倍的温度范围内较佳，在0.8倍以上的温度下变得恶化。因此，优选材料颗粒30的加热温度小于投入的材料颗粒30的熔点的0.8倍。

作为一例，成为微粒32的原料的材料颗粒30使用约16微米的硅粉末，且设置在材料供给装置10内。在第一实施例中使用了16微米的颗粒，然而虽然也取决于等离子体的条件，但只要是大于1微米且在100微米以下的粒径，即能够通过热等离子体蒸发而制造纳米级的微粒32。若使用粒径大于100微米的材料颗粒30，则有时会无法使材料颗粒30完全蒸发，从而导致生成的微粒32变大。作为一例，材料供给装置10能够使用局部流动式粉末供给装置。在该局部流动式粉末供给装置中，通过载气的流量与导入材料颗粒30的容器的转速来控制材料颗粒30的供给量，从而能够以恒定的比例向材料供给管11运送作为粉末材料的材料颗粒30。作为材料供给装置10的其他的示例，存在利用激光等对粉末材料的表面与喷嘴之间的距离进行控制的表面仿形式粉末供给器、或者从料斗等向槽供给定量的粉末材料且进行吸引的定量式粉末供给器等。可以使用任一方式的粉末材料供给装置，根据供给的粉末材料的量而区分使用。

(步骤S6)形成微粒。

接下来，如图1所示，将加热后的材料颗粒30与加热了的气体一起从材料供给装置10向材料供给管11运送，从材料供给管11的上端的材料供给口12与气体一起向反应室1内导入。与气体一起导入至反应室1内的材料颗粒30在通过电弧放电31的内部时，蒸发或者气化(以下，代表性地称为“蒸发”。)，从而材料颗粒30气化。此时，由于使用加热后的材料颗粒30，因此与未加热材料颗粒30时相比，为了使材料颗粒30上升至沸点以上的温度所需的能量更小。由此，与不加热的情况相比，在通过材料供给装置10预先加热材料颗粒30的情况下，处理效率提高，能够使更多的颗粒蒸发。

由于因电弧放电31的热而产生的上升气流或者来自气体供给管14的气流，使材料颗粒30蒸发而成的材料气体在反应室1内上升，在从电弧放电31的区域脱离的瞬间，材料气体急剧冷却，从而生成球状的微粒32。在材料供给管11的下部周围的罩13上，设有用于将材料颗粒30或者通过电弧放电31生成的微粒32沿恒定方向(朝向铅垂方向的上方)运送的多根气体供给管14，从气体供给管14将气氛气体沿所述恒定方向(朝向铅垂方向的上方)供给。材料供给管11以及材料供给口12设有未图示的加热机构以防止材料颗粒30冷却，且设置在比多个电极4的中心位置靠铅垂方向的下侧的位置。特别是，材料供给口12的上端的材料供给口12以位于比电弧放电31的区域靠下方的位置的方式配置。

另外，一般对材料颗粒30所供给的位置的电弧放电31而言，材料颗粒30的蒸发吸收等离子体的热量，因此材料颗粒30蒸发后的位置的电弧放电的温度下降。以往，在向一般的感应耦合型等离子体(ICP)炬等的连续放电中连续地投入材料颗粒30的情况下，因材料颗粒30的蒸发导致等离子体的温度下降，无法使材料颗粒30完全蒸发，从而生成较大的微粒，导致粒径分布恶化。另外，为了制造具有期望的粒径的微粒32、或者使制造出的微粒32的粒径分布优化，只好限制材料颗粒30的投入量，从而导致处理量降低。

对此，由在第一实施例中使用的多个电极4生成的电弧放电31将能够供给相位互不相同的电力、例如使相位错开60°的60Hz的电力的交流电源5分别用作多个电极4的电源。因此，放电成为脉冲状，始终能够生成高温的热等离子体。

电弧放电31或者ICP炬等热等离子体是粘性气体，因此若不是具有某种速度的材料颗粒30，则无法进入电弧放电31中而无法被处理。在材料供给装置10以及材料供给口12设置在电弧放电31的铅垂方向的下侧，从电弧放电31的铅垂方向的下侧供给材料粒子30的本装置中，被电弧放电31弹出的未处理的材料粒子30因重力而向铅垂方向的下侧落下，从而能够与位于电弧放电31的上方且被处理后的微粒32可靠地分离。这些未处理的材料颗粒30在反应室1的底部且在材料供给口12的下侧设置的未处理材料贮存部16中存积。该未处理材料贮存部16中存积的材料也能够向材料供给装置10返回而再利用，从而能够提高材料利用效率。

(步骤S7)停止放电，回收微粒。

接下来，如图1所示，通过来自气体供给管14的气体的气流或者来自气体供给管15的冷却气体的气流，使得由电弧放电31生成且比重力轻的微粒32被微粒回收部3回收。虽然未图示，然而在微粒回收部3内安装有能够对任意的微粒直径以上进行分级的旋流器、和能够对期望的微粒进行回收的袋式过滤器。对用于回收微粒的袋式过滤器而言，为了使高温的气体循环，作为一例，可以采用使用耐热性高的二氧化硅纤维的过滤器。另外，在将回收的微粒向大气导出时，有可能起火，因此在包含1％左右的大气(含氧的气体)的气氛下放置几小时后，进行缓慢氧化处理而向大气中导出。由此，硅微粒的表面例如以1～2纳米程度的厚度氧化，从而能够安全地导出。通过这些所述的工序，能够从袋式过滤器回收例如10～300纳米的硅微粒。

在第一实施例中，对制造硅(Si)的纳米级的微粒的方法进行了说明，然而也可以将镍(Ni)、银(Ag)或铜(Cu)等金属或者玻璃(SiO₂)、氮化硅(SiN)、氧化铝(Al₂O₃)等无机类的材料作为微粒生成用材料来生成微粒。另外，也可以通过与向反应室1导入的气体反应，从而例如利用硅材料来生成一氧化硅(SiO_x：x＝1～1.6)、氮化硅(SiN_x：x＝0.1～1.3)或者碳化硅(SiC_x)的微粒。此外，也可以用于生成由内侧具有硅的核、外侧被氧化铝或碳化硅等覆盖那样的多种材料构成的复合材料。

另外，如图1所示，在气体的循环中，在循环泵22的后级安装有气体分压分析装置23与气体分压调节器24，用于使用两种以上的气体的情况。作为一例，为了促进还原反应，有时向通常使用的氩气中添加氢气而进行处理。作为一例，气体分压分析装置23使用四极质谱分析装置(QMS)。QMS通过在前端安装的纤丝使通过气体配管20而来的气体的一部分离子化，通过对四极施加电场，能够使质量不同的离子分离。因此，能够把握向气体分压分析装置23导入的气体中的气体的种类，能够估算各气体种类的分压。根据该气体分压分析装置23的测量结果，由气体分压调节器24进行调节，以使微粒制造条件下设定的气体分压(例如氩与氢的比例)成为恒定。在通过气体分压分析装置23得到的气体分压测量的结果是偏离了所期望的设定的气体分压的情况下，通过气体分压调节器24从与气体分压调节器24连接的气体供给装置27追加不足的气体，从而进行控制以使气体分压(例如氩与氢的比例)成为恒定。由此，能够进行长时间且稳定的处理。

作为气体分压分析装置23的一例而使用了QMS，然而也可以使用能够以光学的方式分析气体的种类的傅立叶变换型红外分光(FTIR)装置。另外，对使用了两种气体的微粒形成进行了说明，然而也可以混合3种以上的气体。例如，在为了使硅材料还原而向氩气氛中添加少量的氢以及碳化气体时，还原反应得到进一步促进。在这种情况下，利用所述相同的方法调节各气体的比例，将气体向材料供给装置10与气体供给管14、15供给，也能够进行稳定的处理。

根据所述第一实施方式，利用通过材料加热循环装置80而在气体配管20内循环的气体将材料加热并导入反应室1内，通过由热等离子体产生的热来加热材料颗粒30，从而能够减少利用热等离子体的材料蒸发所需的能量。因此，热等离子体导入时的材料颗粒30的蒸发效率提高，能够处理大量的材料颗粒。由此，可提供能够提高微粒的生成量且能够削减气体的使用量从而能够以低成本进行生产的微粒制造装置以及微粒制造方法。

另外，根据所述第一实施方式，能够在多根电极4上分别连接交流电源5而生成电弧放电31，因此与其他的方法相比，能够增大使材料颗粒30蒸发的电弧放电31所形成的热等离子体的面积，从而能够处理大量的材料。

另外，根据所述第一实施方式，由于对由热等离子体产生的热进行再利用，因此能量利用效率提高。另外，通过对气体进行再利用能够降低气体的使用量，能够以低成本生产微粒。

另外，根据所述第一实施方式，通过在气体的循环时对气体种类的分压进行分析，并调节气体分压，能够进行长时间稳定的处理。

需要说明的是，本发明并不限定于所述实施方式，可以通过其它各种方式来实施。例如，也可以在材料供给装置10内的贮存材料颗粒30的材料贮存部中具备利用电阻加热而对材料颗粒30进行直接加热的辅助材料加热机构。例如，在最初驱动微粒制造装置而使得在反应室1内未被充分加热的气体在气体配管20内循环时、或者从气体供给装置27向气体配管20内供给气体时，两种情况下的气体的温度均较低，因此也可以通过辅助材料加热机构辅助性地加热气体。由此，材料颗粒30的温度控制变得更容易。

需要说明的是，通过适当组合所述各种实施方式或变形例中的任意实施方式或者变形例，能够起到各自所具有的效果。另外，能够将实施方式彼此组合或者将实施例彼此组合或者将实施方式与实施例组合，并且也能够将不同的实施方式或者实施例中的特征彼此组合。

工业实用性

本发明的微粒制造装置以及微粒制造方法通过在材料加热中对来自等离子体的废热进行再利用，由此能够高效且大量地处理材料，能够提高微粒的生成量并且以低成本进行生产。因此，本发明作为在锂离子二次电池或者陶瓷电容器等迫切期望大量生产的设备中使用的微粒的微粒制造装置以及微粒制造方法而有用。