1.一种微粒制造装置，具有：
真空腔室；
材料供给装置，其与所述真空腔室连接，从材料供给口向所述真空腔室内供给材料的颗粒；
电极，其配置于所述真空腔室而产生等离子体；以及
回收装置，其与所述真空腔室连接，对从所述真空腔室排出的微粒进行回收，
所述微粒制造装置利用在所述真空腔室内产生的所述等离子体，由从所述材料供给装置供给的所述材料制造所述微粒，其中，
所述回收装置与所述材料供给装置由配管连接，所述微粒制造装置具有材料加热循环装置，所述材料加热循环装置通过所述配管且利用由所述等离子体加热后的所述真空腔室内的气体的热来加热所述材料。
2.根据权利要求1所述的微粒制造装置，其中，
所述微粒制造装置还具备温度调节器，所述温度调节器设置在将所述回收装置与所述材料供给装置连接的所述配管上，对在所述配管内流动的所述气体的温度进行调节。
3.根据权利要求1所述的微粒制造装置，其中，
在将所述回收装置与所述材料供给装置连接的所述配管上具备下侧的气体供给管，所述下侧的气体供给管经由流量调节器且以与所述真空腔室的多个部位连接的方式分支地连接，所述下侧的气体供给管从所述材料供给口的铅垂方向的下侧向所述真空腔室内，通过所述配管以及所述下侧的气体供给管而供给由所述等离子体加热后的所述真空腔室内的气体。
4.根据权利要求1所述的微粒制造装置，其中，
产生所述等离子体的电极为配置于所述真空腔室且前端向所述真空腔室内突出而产生等离子体的多根电极。
5.根据权利要求4所述的微粒制造装置，其中，
所述微粒制造装置还具备分别与所述多根电极连接而分别供给相位不同的电力的交流电源，从所述交流电源向所述多根电极的每一根供给所述相位不同的电力，从而生成电弧放电而产生所述等离子体。
6.根据权利要求1所述的微粒制造装置，其中，
所述微粒制造装置还具备：
气体分析装置，其配置在将所述回收装置与所述材料供给装置连接的所述配管上，对各气体种类的分压或比例进行分析；和
气体分压调节器，其配置在所述配管上，且根据所述气体分析装置的分析结果，对所述配管进行气体的排出或气体的导入来调节气体分压。
7.一种微粒制造方法，其中，
通过设置于真空腔室的电极来生成热等离子体，
使由所述热等离子体加热后的气体经由配管而返回所述真空腔室的下侧的材料供给装置，通过返回的所述气体来加热所述材料供给装置内的材料，
从所述材料供给装置的在所述真空腔室内配置的材料供给口向所述真空腔室内的所述热等离子体的区域内投入加热后的所述材料，
加热后的所述材料在通过所述热等离子体的区域中时蒸发或气化而成为材料气体，并且，在所述材料气体从所述热等离子体的所述区域脱离的瞬间，所述材料气体急剧冷却而生成微粒。
8.根据权利要求7所述的微粒制造方法，其中，
所述电极为多根电极，
所述热等离子体为将相位互不相同的电力从交流电源向所述多根电极分别供给而脉冲性地放电的电弧放电。
9.根据权利要求7所述的微粒制造方法，其中，
在由所述热等离子体加热后的所述气体经由所述配管而循环时，
通过气体分压分析装置对所述配管内的气体种类的分压进行分析，根据所述分析的结果，对所述配管进行气体的排出或气体的供给而调节所述气体的分压，然后经由所述配管使所述气体返回所述材料供给装置以及所述真空腔室的双方或某一方。