技术总结
本发明提供微粒制造装置以及微粒制造方法，通过由被热等离子体加热后的气体对投入材料进行加热，从而提高材料的蒸发效率而能够实现微粒的生产量的增加与低成本化。该微粒制造装置具有：真空腔室(1)；材料供给装置(10)，其与真空腔室连接，从材料供给口(12)向真空腔室内供给材料颗粒(30)；电极(4)，其设置于真空腔室而产生等离子体；以及回收装置(3)，其与真空腔室连接而回收微粒，该微粒制造装置在真空腔室内生成放电而由所述材料制造微粒，回收装置与材料供给装置由配管(20)连接，该微粒制造装置具有通过配管且利用由等离子体加热后的真空腔室内的气体的热来加热材料的材料加热循环装置(80)。
技术研发人员：永井久雄;小岩崎刚;末次大辅;大熊崇文
受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社
文档号码：201610884273
技术研发日：2016.10.10
技术公布日：2017.05.24