技术编号:12056981
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于真空镀膜技术领域,特涉及一种玻璃的真空镀膜结构装置。背景技术目前,现有的装置将原生产线中镀膜工艺室中的隔板拆除,重新按新生产线工艺要求焊接安装隔板,这就增加了生产成本,降低了生产效率。发明内容针对现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种玻璃的真空镀膜结构装置。本发明的技术方案为:一种玻璃的真空镀膜结构装置,其特征在于,包括真空泵腔室和靶材腔室,所述真空泵和靶材通过盖板被分别安装在各自的腔室内,其中,所述靶材腔室的空间大于真空泵腔室的空间;所述镀膜室及设置在镀膜室中的隔板,所述每个隔...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。