一种玻璃的真空镀膜结构装置的制作方法

文档序号:12056981阅读:202来源:国知局

本发明属于真空镀膜技术领域,特涉及一种玻璃的真空镀膜结构装置。



背景技术:

目前,现有的装置将原生产线中镀膜工艺室中的隔板拆除,重新按新生产线工艺要求焊接安装隔板,这就增加了生产成本,降低了生产效率。



技术实现要素:

针对现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种玻璃的真空镀膜结构装置。

本发明的技术方案为:一种玻璃的真空镀膜结构装置,其特征在于,包括真空泵腔室和靶材腔室,所述真空泵和靶材通过盖板被分别安装在各自的腔室内,其中,所述靶材腔室的空间大于真空泵腔室的空间;所述镀膜室及设置在镀膜室中的隔板,所述每个隔板上均设置有玻璃通道,所述隔板将镀膜室分割成多个腔室;每个腔室上都设置有与盖板相配合的盖板安装孔。

本发明的优点:

本发明设计合理,结构简单,具有动态的安全性、可靠性、稳定性,可循环寿命。。

附图说明

下面结合附图及实施方式对本发明作进一步详细的说明。

1为玻璃的真空镀膜结构装置的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示,本发明的技术方案为:一种玻璃的真空镀膜结构装置,其特征在于,包括真空泵腔室和靶材腔室,所述真空泵和靶材通过盖板被分别安装在各自的腔室内,其中,所述靶材腔室的空间大于真空泵腔室的空间;所述镀膜室及设置在镀膜室中的隔板,所述每个隔板上均设置有玻璃通道,所述隔板将镀膜室分割成多个腔室;每个腔室上都设置有与盖板相配合的盖板安装孔。

本发明设计合理,结构简单,具有动态的安全性、可靠性、稳定性,可循环寿命。

最后应当说明的是,以上实施例仅用于说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制,尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的实质和范围。

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