技术总结
本发明公开了一种玻璃的真空镀膜结构装置，其特征在于，包括真空泵腔室和靶材腔室，所述真空泵和靶材通过盖板被分别安装在各自的腔室内，其中，所述靶材腔室的空间大于真空泵腔室的空间；所述镀膜室及设置在镀膜室中的隔板，所述每个隔板上均设置有玻璃通道，所述隔板将镀膜室分割成多个腔室；每个腔室上都设置有与盖板相配合的盖板安装孔。本发明设计合理，结构简单，具有动态的安全性、可靠性、稳定性，可循环寿命。
技术研发人员：刘业茂
受保护的技术使用者：刘业茂
文档号码：201510789979
技术研发日：2015.11.17
技术公布日：2017.05.24