本实用新型涉及真空镀膜机，具体涉及一种真空镀膜机上料快装结构。
背景技术：
传统的镀膜机都是整体的结构，上料下料都是通过端头的插孔插入或拔出，这种上料或下料方式容易对工件造成磨损，特别是已镀好膜的工件很容易损坏表面的镀膜层，为了解决上述技术问题，人们研制出一种端部可以拆分的镀膜机，但是这种拆分的镀膜机拆卸安装较复杂，降低了镀膜效率，不适合大批量连续生产中使用，并且这种结构方式容易造成镀膜机密闭性不强，影响镀膜机内的真空环境，对镀膜效果造成影响，所以这种镀膜机结构有待改进，避免工件的损坏，提高上下料的便捷性。
技术实现要素：
针对现有技术存在的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机上料快装结构，避免了镀膜机上下料时对工件造成磨损，为换件提供了方便，提高了效率，适合大批量连续生产。
为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：
提出一种真空镀膜机上料快装结构，包括端面盲法兰、腔体外壳、靶源、锁紧螺栓、端面法兰、快锁端盖、 钢化玻璃、高介电常数隔套和支撑密封盘，所述端面盲法兰与腔体外壳紧密相连，所述靶源位于腔体外壳的内表面，腔体外壳与端面法兰之间通过锁紧螺栓相连接，腔体外壳与端面法兰之间设有钢化玻璃，所述支撑密封盘安装工件，所述支撑密封盘通过快锁端盖与端面法兰紧密相连。
进一步，所述端面法兰与快锁端盖衔接处端面法兰的外表面设有外螺纹，所述端面法兰与快锁端盖衔接处快锁端盖内表面设有内螺纹。
进一步，所述钢化玻璃与腔体外壳衔接处设有密封圈一，所述钢化玻璃与端面法兰衔接处设有密封圈一。
进一步，所述钢化玻璃为中间空心的圆环结构，钢化玻璃内环表面设有高介电常数隔套。
进一步，所述支撑密封盘安装在快锁端盖的端头，所述支撑密封盘与端面法兰衔接处设有密封圈二。
进一步，所述支撑密封盘中间与工件衔接处设有轴用密封圈。
本实用新型的有益效果：本实用新型提供一种真空镀膜机上料快装结构，结构简单，操作方便，可以避免常规镀膜机上下料对工件镀膜层表面的损坏，提高生产效率，同时避免由于绝缘器件的失效，器件更换方便，降低了维护费用和成本，拆卸安装方便，密封性良好，适合大批量连续生产。
附图说明
图1为本实用新型一种真空镀膜机上料快装结构的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1所示，一种真空镀膜机上料快装结构，包括端面盲法兰1、腔体外壳2、靶源3、锁紧螺栓5、端面法兰6、快锁端盖8、 钢化玻璃9、高介电常数隔套10和支撑密封盘11，所述端面盲法兰1与腔体外壳2紧密相连，所述靶源3位于腔体外壳2的内表面，腔体外壳2与端面法兰6之间通过锁紧螺栓5相连接，腔体外壳2与端面法兰6之间设有钢化玻璃9，所述支撑密封盘11安装工件4，所述支撑密封盘11通过快锁端盖8与端面法兰6紧密相连。
所述端面法兰6与快锁端盖8衔接处端面法兰6的外表面设有外螺纹，所述端面法兰6与快锁端盖8衔接处快锁端盖8内表面设有内螺纹，可以通过螺纹将端面法兰6与快锁端盖8连接，便于工件4的安装和拆卸。
所述钢化玻璃9与腔体外壳2衔接处设有密封圈一7，钢化玻璃9与端面法兰6衔接处设有密封圈一7，保证了气密性，钢化玻璃9的结构为中间空心的圆环结构，钢化玻璃9内环表面设有高介电常数隔套10。
所述支撑密封盘11安装在快锁端盖8的端头，支撑密封盘11与端面法兰6衔接处设有密封圈二13，将工件4安装在支撑密封盘11的中间，支撑密封盘11中间与工件4衔接处设有轴用密封圈12，保证了镀膜机内的气密性。
具体操作中，首先将待镀膜工件4安装在支撑密封盘11的中间固定孔中，调整好工件4的位置和长度，再将装好工件4的支撑密封盘11通过快锁端盖8的内螺纹和端面法兰6的外螺纹螺纹旋紧连接，将工件4固定在靶源3的轴线上，保证了镀膜机内部的气密性，待工件4安装好后，对镀膜机进行抽真空，使得气压控制在1×10-2Pa以下，再充入氩气，将镀膜机内部气压控制在10～20Pa，利用直流或脉冲电源在零件上施加200～300V的负电压，利用等离子体辉光放电对零件表面进行等离子清洗，通过溅射方式将靶源3的金属材料镀到工件4的待镀区域，镀好膜后，待工件4冷却后，旋开快锁端盖8，然后取出支撑密封盘11中间镀好的工件4，防止工件4磨损，提高了上料和下料的便捷性。
以上所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。