一种玻璃的真空镀膜结构装置的制作方法

文档序号:12056981阅读:来源:国知局

技术特征:

1. 一种玻璃的真空镀膜结构装置,其特征在于,包括真空泵腔室和靶材腔室,所述真空泵和靶材通过盖板被分别安装在各自的腔室内,其中,所述靶材腔室的空间大于真空泵腔室的空间。

2.根据权利要求1所述的玻璃的真空镀膜结构装置,其特征在于,所述镀膜室及设置在镀膜室中的隔板,所述每个隔板上均设置有玻璃通道,所述隔板将镀膜室分割成多个腔室。

3. 根据权利要求1所述的玻璃的真空镀膜结构装置,其特征在于,每个腔室上都设置有与盖板相配合的盖板安装孔。

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